[发明专利]碳同素异形体复合物场效应人造极光发生装置在审
| 申请号： | 201810461678.8 | 申请日： | 2018-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN108471668A | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 刘铁林;刘南林 | 申请（专利权）人： | 刘铁林;刘南林 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518017 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 碳同素异形体复合物场效应人造极光发生装置，是由ELF极低频电源柜(1)、碳同素异形体复合物场效应装置(2)、长方体形水箱(3)构成，属于地球物理技术领域。碳同素异形体复合物场效应装置(2)是由若干沉积碳同素异形体复合物的泡沫镍制成的平面电极板(4)和若干由绝缘材料制成的平面隔板(5)，以并联电容形式交替平行叠加而成。利用碳同素异形体复合物场效应人造极光发生装置激发的非地球磁极区域产生的极光现象，有助于研究探索地球大气磁层中非偶极空间磁极形成与分布特性，以及地球磁场的起源，宇宙能量对地球气候环境的各种影响。此外，该装置还可以作为气象手段，用于治理气候变化与环境污染，预测自然灾害。 | ||
| 搜索关键词： | 碳同素异形体 复合物 发生装置 场效应 场效应装置 磁极 平面电极板 并联电容 长方体形 地球磁场 地球磁极 地球大气 地球气候 地球物理 分布特性 绝缘材料 平面隔板 宇宙能量 电源柜 极低频 泡沫镍 水箱 沉积 磁层 偶极 气候变化 叠加 平行 自然灾害 起源 激发 气象 预测 探索 治理 研究 | ||
【主权项】：
1.碳同素异形体复合物场效应人造极光发生装置是由ELF极低频电源柜(1)、碳同素异形体复合物场效应装置(2)、长方体形水箱(3)构成，其特征是碳同素异形体复合物场效应装置(2)是由若干沉积碳同素异形体复合物的泡沫镍制成的平面电极板(4)和若干由绝缘材料制成的平面隔板(5)，以并联电容形式交替平行叠加而成；ELF极低频电源柜(1)的一个输出端导线(6)通过导电杆(7)与单数的沉积碳同素异形体复合物的泡沫镍制成的平面电极板(4)连接，ELF极低频电源柜(1)的另一个输出端导线(8)通过导电杆(9)与偶数的沉积碳同素异形体复合物的泡沫镍制成的平面电极板(4)连接；碳同素异形体复合物场效应装置(2)固定在装满水的长方体形水箱(3)内。
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- 一种具有微孔/微纳结构双耦合谐振腔的微波等离子体发生装置，包括外腔体和设置在所述外腔体内的多个微孔/微纳结构双耦合谐振腔，其中所述谐振腔包括一圆柱形腔体，所述圆柱形腔体的周壁上均匀分布由多个微孔形成的微孔阵列，所述微孔的直径是波长的奇数倍，所述腔体的内壁上具有金属微纳结构，所述金属微纳结构的周期尺寸为λ/n，λ为入射波长，n为谐振腔材料的折射率。本发明通过优化设计双耦合谐振方式，来减少引导模和泄漏模的损耗，达到在固定区域谐振最大程度增强的目的，并能提高等离子体的均匀性，保证光耦合和场空间局域增强特性的前提下，可改善吸收损耗问题，另外多个谐振腔独立控制，可以有效控制等离子体的温度。
- 用于微波等离子体发生装置的微孔微纳结构双耦合谐振腔-201810521241.9
- 刘新宇;汤益丹;王盛凯;白云;杨成樾 - 中国科学院微电子研究所
- 2018-05-25 - 2019-07-16 - H05H1/46
- 一种用于微波等离子体发生装置的微孔/微纳结构双耦合谐振腔，包括一圆柱形腔体，所述圆柱形腔体的周壁上均匀分布由多个微孔形成的微孔阵列，所述微孔的直径是波长的奇数倍，所述腔体的内壁上具有金属微纳结构，所述微孔阵列与金属微纳结构形成双耦合结构从而实现谐振增强和可调，所述金属微纳结构的周期尺寸为λ/n，λ为入射波长，n为谐振腔材料的折射率。本发明通过优化设计双耦合谐振方式，来减少引导模和泄漏模的损耗，达到在固定区域谐振最大程度增强的目的，并能提高等离子体的均匀性，保证光耦合和场空间局域增强特性的前提下，可改善吸收损耗问题，另外多个谐振腔独立控制，可以有效控制等离子体的温度。
- 碳同素异形体复合物场效应人造极光发生装置-201820692415.3
- 刘铁林;刘南林 - 刘铁林;刘南林
- 2018-05-02 - 2019-07-02 - H05H1/46
- 碳同素异形体复合物场效应人造极光发生装置，是由ELF极低频电源柜(1)、场效应装置(2)、长方体形水箱(3)构成，属于地球物理技术领域。碳同素异形体复合物场效应装置(2)是由若干沉积碳同素异形体复合物的泡沫镍制成的平面电极板(4)和若干由绝缘材料制成的平面隔板(5)，以并联电容形式交替平行叠加而成。利用碳同素异形体复合物场效应人造极光发生装置激发的非地球磁极区域产生的极光现象，有助于研究探索地球大气磁层中非偶极空间磁极形成与分布特性，以及地球磁场的起源，宇宙能量对地球气候环境的各种影响。此外，该装置还可以作为气象手段，用于治理气候变化与环境污染，预测自然灾害。
- 一种电感耦合等离子体处理器-201821494654.4
- 赵馗;饭塚浩;倪图强;庞晓贝 - 中微半导体设备（上海）股份有限公司
- 2018-09-13 - 2019-07-02 - H05H1/46
- 本实用新型公开了一种电感耦合等离子体处理器，所述处理器包括：真空室，所述真空室上方设置一个感应天线，所述感应天线连接到一个源射频电源；所述真空室内设置一基座，所述基座上方用于支撑待处理晶圆；第一射频偏压电源和第二射频偏压电源通过一可切换匹配网络，选择性地将第一、第二射频偏压电源中的其中之一连通到所述基座中；其中第一射频偏压电源的输出信号频率大于第二射频偏压电源的输出信号频率。本实用新型专门针对工作频率设计了一种射频匹配网络，提供两种不同频率操作的、可有效切换的射频匹配网络，可有效地施加偏压功率，能够切换偏压频率并提供能够将任一偏压频率有效地耦合至等离子体的射频匹配网络。
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