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[发明专利]用于半导体处理设备的温度控制装置及其温度控制方法-CN201811631133.3有效
发明人：赵馗;饭塚浩;吴狄;左涛涛;倪图强 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种用于半导体处理设备的温度控制装置及其温度控制方法，加热元件矩阵中的每一行或每一列中的每一个加热元件都分别与同一个功率源组成电源回路，加热元件矩阵中的每一列或每一行中的所有加热元件的电源回路中都设置同一个开关模块，调节每个功率源的输出功率大小来调节每个功率源控制的一整行或一整列加热元件的输入功率，控制每个开关模块的通断来控制每个开关模块控制的一整列或一整行加热元件的电源回路的通断。本发明减少了电路复杂度，节省了成本，在保证温度控制精确度的前提下减少了温度控制的复杂度，获得很均匀且很灵活的温度控制效果。
用于半导体处理设备温度控制装置及其方法

[发明专利]一种等离子处理器以及静电夹盘加热方法-CN201811636389.3有效
发明人：倪图强;饭塚浩;吴迪;谢林;左涛涛 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开一种等离子处理器以及静电夹盘加热方法，反应腔内包括支撑基片的基座，射频电源连接并供应射频功率到基座，基座上包括静电夹盘和用于控制静电夹盘温度的加热系统，加热系统包括多个加热器分别用于控制静电夹盘不同区域的温度，加热系统包含：多区加热器，其包含若干个加热器；加热器驱动器，用于驱动多个加热器；控制加热器驱动器以实现控制多区加热器的功率输出进行加热的控制器，与加热器驱动器连接；控制器与主机通信连接，获取主机的指令或反馈指令给主机，实现对加热系统的控制。本发明可减少不必要的射频滤波器，便于配置设计，结构简单，小尺寸可以在满足功能的基础上，还能减轻了设计上对空间的需求。
一种等离子处理器以及静电加热方法

[发明专利]一种射频功率控制方法及等离子体处理装置-CN202011298578.1在审
发明人：赵馗;饭塚浩;倪图强 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2020-11-18 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： H04B7/005 文献下载
摘要：本发明提供一种射频功率控制方法，等离子体反应装置包含若干个电感耦合线圈，射频功率源的射频功率通过匹配网络分配到电感耦合线圈的第一至第M线圈上，使得等离子体反应装置的真空反应腔内产生等离子体，所述控制方法包含：同步射频功率源的输出时钟信号；探测第i线圈的第i电流信号，转换所述第i电流信号为对应的第i脉冲直流信号；根据所述输出时钟信号对第i脉冲直流信号进行处理后计算对应的第i电流反馈值；根据所述第i电流反馈值调整分配到第i线圈上的射频功率；其中i∈[1,M]。本发明还提供一种等离子体处理装置。本发明能够精确控制施加在所有线圈的射频功率，并不受射频功率源的输出方式限制。
一种射频功率控制方法等离子体处理装置

[发明专利]一种等离子体处理腔室的电弧的检测方法及检测装置-CN202011215442.X在审
发明人：刘依;徐蕾;饭塚浩;倪图强 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2020-11-04 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体处理腔室的电弧的检测方法及检测装置，所述方法包括：通过一个射频功率源向等离子体处理腔内输送射频功率，点燃等离子体处理腔内的反应气体形成等离子体；发送射频功率源的输出功率信号和反射功率信号到一个控制器，控制器根据所述输出功率信号的和反射功率信号的比值确定是否进入射频功率稳定输出区间；在射频功率稳定输出区间内，通过控制器计算获取反射功率信号的平均值、反射功率信号的最大值；并将反射功率信号的平均值和反射功率信号的最大值进行比较获得一个比值，比值小于一个预设阈值时判定发生弧光放电。本发明实现了快速检测到有真空反应腔内电弧中的微弧，以便及时得知对应的晶圆的缺陷状态的目的。
一种等离子体处理电弧检测方法装置

[发明专利]一种具有低频射频功率分布调节功能的等离子反应器-CN201711474120.5有效
发明人：赵馗;饭塚浩 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种具有低频射频功率分布调节功能的等离子反应器，包括：一反应腔，反应腔内具有一导电基座，导电基座通过一个第一匹配器连接到一个低频射频电源，导电基座上包括一个静电夹盘，静电夹盘上表面用于固定待处理基片，导电基座外侧壁涂覆有至少一层耐等离子腐蚀的绝缘材料层，一个由绝缘材料制成的耦合环围绕在基座外周围，一个聚焦环设置在所述耦合环上方，所述聚焦环围绕所述静电夹盘并且在等离子处理过程中暴露于等离子体，还包括一个环形电极位于所述耦合环上方和聚焦环的下方，一导线第一端电连接到所述基座，第二端连接到所述环形电极，一可变电容串联在所述导线上。
一种具有低频射频功率分布调节功能等离子反应器

[发明专利]一种基片刻蚀方法及相应的处理装置-CN201710786592.8有效
发明人：严利均;刘身健;李洋;饭塚浩 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2017-09-04 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明提供了一种基片刻蚀方法，所述方法在一等离子体处理装置内进行，所述基片刻蚀方法刻蚀的基片包括光刻胶掩膜层，介质抗反射层，碳硬掩膜层及氧化硅层；以图形化的介质抗反射层为掩膜刻蚀位于介质抗反射层下方的碳硬掩膜层，形成图形化的碳硬掩膜层；所述等离子体处理装置包括一射频源功率源和一射频偏置功率源，所述射频偏置功率源在刻蚀所述介质抗反射层时输出一频率大于等于2MHZ的射频信号，监测刻蚀工艺进程，当所述介质抗反射层刻蚀完成后，切换所述射频偏置功率源的输出频率小于2MHZ，实现对碳硬掩膜层的刻蚀。其优点是：保证碳掩膜层的刻蚀孔壁垂直，并降低刻蚀孔的开口宽度。
一种刻蚀方法相应处理装置

[发明专利]电感耦合等离子体处理装置与等离子体产生装置-CN201611254290.8有效
发明人：倪图强;庞晓贝;饭塚浩 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2016-12-30 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明提供一种电感耦合等离子体处理装置与等离子体产生装置，用来在不扩展匹配网络可匹配范围的状况下，获得更宽的对功率分配比例的调节能力。其中的等离子体处理装置包括：绝缘窗；第一线圈与第二线圈；射频功率源，其输入端连接有一匹配网络；功率分配器，其输入端与所述匹配网络连接，其至少包括两个输出端，该两个输出端分别连接第一线圈、第二线圈；所述第一线圈与第二线圈之间电感值的比值在0.90到1.12之间。
匹配网络等离子体产生装置电感耦合等离子体处理装置输出端等离子体处理装置电感功率分配器射频功率源输入端连接功率分配绝缘窗输入端匹配

[实用新型]一种电感耦合等离子体处理器-CN201821494656.3有效
发明人：赵馗;饭塚浩;倪图强;庞晓贝;张辉 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2018-09-13 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电感耦合等离子体处理器，包括：处理腔，处理腔顶部包括一绝缘材料窗，绝缘材料窗上方设置有一个电感线圈，所述电感线圈连接到一个源射频电源；处理腔内底部包括一个基座，基座上方用于支撑待处理晶圆；第一偏压射频电源经过第一匹配电路连接到一个切换装置，第二偏压射频电源通过第二匹配电路连接到所述切换装置，所述切换装置选择性地将第一、第二偏压射频电源中的一个偏压射频电源连通到所述基座中；其中第一偏压射频电源的输出信号频率大于第二偏压射频电源的输出信号频率。
偏压射频电源切换装置处理腔电感耦合等离子体输出信号频率电感线圈绝缘材料匹配电路处理器本实用新型电源连通射频电源晶圆支撑

[实用新型]一种电感耦合等离子体处理器-CN201821494654.4有效
发明人：赵馗;饭塚浩;倪图强;庞晓贝 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2018-09-13 - 公布日： 2019-07-02 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电感耦合等离子体处理器，所述处理器包括：真空室，所述真空室上方设置一个感应天线，所述感应天线连接到一个源射频电源；所述真空室内设置一基座，所述基座上方用于支撑待处理晶圆；第一射频偏压电源和第二射频偏压电源通过一可切换匹配网络，选择性地将第一、第二射频偏压电源中的其中之一连通到所述基座中；其中第一射频偏压电源的输出信号频率大于第二射频偏压电源的输出信号频率。本实用新型专门针对工作频率设计了一种射频匹配网络，提供两种不同频率操作的、可有效切换的射频匹配网络，可有效地施加偏压功率，能够切换偏压频率并提供能够将任一偏压频率有效地耦合至等离子体的射频匹配网络。
射频偏压电源射频匹配网络处理器电感耦合等离子体输出信号频率本实用新型感应天线有效地真空室等离子体工作频率匹配网络偏压功率偏压频率射频电源耦合可切换晶圆连通施加室内支撑

[发明专利]一种电感耦合等离子处理装置及其控制方法-CN201610276103.X有效
发明人：倪图强;庞晓贝;饭塚浩 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2016-04-29 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明提供一种电感耦合等离子处理装置，所述电感耦合等离子处理装置的电感线圈包括多个子线圈，每个子线圈覆盖下方绝缘材料窗的不同区域；一个射频电源通过匹配电路连接到所述多个子线圈的输入端，每个子线圈包括输出端电连接到地，一个控制器控制输入所述多个子线圈的功率，其特征在于，所述控制器控制所述电感线圈的多个子线圈轮流执行的多个处理阶段，在所述处理阶段中至少一个子线圈的输入功率高于其它子线圈的输入功率。
一种电感耦合等离子处理装置及其控制方法

[发明专利]一种等离子体电弧监测方法及装置-CN201610200486.2有效
发明人：徐蕾;饭塚浩;席朝晖;倪图强 -专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2016-03-31 - 公布日： 2019-02-26 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体电弧监测方法，在利用该对静电吸盘的电信号进行电弧的监测时，通过将电信号与第一阈值进行比较，获得第一比较波形，通过将电信号与第二阈值进行比较，获得第二比较波形，由于第一阈值较小，第一比较波形的脉冲具有更长的持续时间，便于获取变化较快的电信号的相对较宽的持续时间，而第二波形是通过与较大的阈值比较后获得波形，也就是说，第二波形中的脉冲代表幅值满足要求的情况，通过这二者的判断，可以去除了电信号微小波动或短暂波动等干扰信号，有效的判断出准确的电弧发生的情况，达到可靠监测等离子体电弧发生的目的。
一种等离子体电弧监测方法装置

[发明专利]一种可切换匹配网络及电感耦合等离子处理器-CN201811065920.6有效
发明人：赵馗;饭塚浩;倪图强;庞晓贝 -专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2018-09-13 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种可切换匹配网络及电感耦合等离子处理器，所述可切换匹配网络能够在两个射频偏压频率之间进行选择。该匹配网络特别适用于电感耦合等离子体处理器。所述可切换匹配网络包括：第一匹配电路，其具有连接至第一信号源的第一输入端口和耦合至负载的第一输出端口；第二匹配电路，其具有连接至第二信号源的第二输入端口和耦合至所述负载的第二输出端口；开关装置，其具有第一至第三连接点，所述第一连接点连接至所述第一输入端口，所述第二连接点连接至所述第二输出端口；以及，可变电容器，其连接在电接地端和所述开关装置的所述第三连接点之间。
匹配网络可切换连接点输出端口输入端口处理器电感耦合等离子匹配电路耦合电感耦合等离子体可变电容器第二信号射频偏压电接地

[发明专利]图像压缩电路、图像压缩方法和传输系统-CN201410255825.8有效
发明人： 饭塚浩;菊池秀和 -专利权人：索尼公司
申请日： 2014-06-10 - 公布日： 2018-10-30 - 主分类号： H04N19/124 文献下载
摘要：本发明公开了图像压缩电路、图像压缩方法和传输系统。其中该图像压缩电路包括：变换部，其被配置成将多个像素数据变换为多个系数数据；以及量化部，其被配置成基于预定数量的系数数据来获得量化参数，并利用量化参数量化预定数量的系数数据。
图像压缩电路方法传输系统

[发明专利]一种在电感耦合等离子体处理装置内点燃等离子体的方法-CN201611254385.X在审
发明人：庞晓贝;饭塚浩;刘小波 -专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2016-12-30 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种在电感耦合等离子体处理装置内点燃等离子体的方法，所述处理装置包括一处理腔，一射频功率源及一射频偏置功率源，所述射频偏置功率源通过一射频匹配网络施加到所述处理腔内部用于支撑基片的基座上，所述射频匹配网络包括两个可变电容，所述方法包括下列步骤：设置一电压测量装置用于测量基座表面的电压；控制所述射频偏置功率源输出第一射频功率，调节两可变电容的大小，使得所述射频偏置功率源在基座表面产生大于200伏的电压；控制所述射频功率源输出第二射频功率，保持所述可变电容大小不变，所述第二射频功率在所述第一射频功率的辅助下实现等离子体的点燃。
射频偏置功率源射频功率等离子体处理装置可变电容电感耦合等离子体射频匹配网络射频功率源基座表面处理腔点燃电压测量装置支撑基片输出测量施加

[发明专利]发光组件的驱动电路-CN200910209074.5有效
发明人：藤村芳夫;饭塚浩;栉山和成;中村洪大;西崎祐介;阎剑平 -专利权人：半导体组件工业公司
申请日： 2009-10-30 - 公布日： 2017-06-09 - 主分类号： H05B37/02 文献下载
摘要：本发明提供一种发光组件的驱动电路，具有串联连接部，由发光组件与直接连接在发光组件的电流限制用电感器串联而成；再生用二极管，并联连接于串联连接部，且再生蓄积在电流限制用电感器的能量；晶体管，控制流通在发光组件与电流限制用电感器的电流；及控制部，控制晶体管的动作；且控制部对应施加于发光组件的电源的电压值来控制开关组件。
发光组件驱动电路

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