[发明专利]底侧具有支撑结构的半导体模块有效

专利信息
申请号: 201780078850.5 申请日: 2017-12-15
公开(公告)号: CN110100308B 公开(公告)日: 2020-09-22
发明(设计)人: 史蒂芬·诺伊格鲍尔;斯特凡·普费弗莱因;龙尼·维尔纳 申请(专利权)人: 西门子股份公司
主分类号: H01L23/373 分类号: H01L23/373;H01L23/367
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 张英
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种具有底侧的支撑结构的半导体模块。半导体模块(1)具有由电绝缘材料组成的衬底(2)。在衬底(2)的上侧(3)施加有结构化金属层(4),通过该结构化金属层来接触至少一个电构件(5)。结构化金属层(4)只被施加在衬底(2)上的中央区域(6)中,使得在衬底(2)的上侧(3)留有包围中央区域(6)的边缘区域(7),在该边缘区域中没有结构化金属层(4)被施加在衬底(2)上。在衬底(2)的底侧(8)上的中央区域(6)内施加有用于接触冷却体(10)的接触层(9),其与结构化金属层(4)相对置。在衬底(2)的底侧(8)上的边缘区域(7)内施加有结构化支撑结构(11),其厚度(d2)对应于接触层(9)的厚度(d1)。
搜索关键词: 具有 支撑 结构 半导体 模块
【主权项】:
1.一种半导体模块,‑其中,所述半导体模块具有衬底(2),所述衬底由电绝缘材料构成,‑其中,在所述衬底(2)的上侧(3)施加有结构化金属层(4),至少一个电构件(5)经由所述结构化金属层被接触,‑其中,所述结构化金属层(4)只在所述衬底(2)的中央区域(6)中被施加在所述衬底(2)上,使得在所述衬底(2)的所述上侧(3)上留有包围中央区域(6)的边缘区域(7),在所述边缘区域中所述结构化金属层(4)没有被施加在所述衬底(2)上,‑其中,在中央区域(6)中,接触层(9)被施加到所述衬底(2)的底侧(8)上,所述接触层用于接触冷却体(10),所述接触层与所述结构化金属层(4)相对置,其特征在于,在所述衬底(2)的所述底侧(8)上,在边缘区域(7)中施加有结构化的支撑结构(11),所述支撑结构的厚度(d2)对应于所述接触层(9)的厚度(d1)。
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