[发明专利]经由热丝化学气相沉积的沉积用于传感器应用的聚合物层的方法

摘要

本公开内容涉及沉积聚合物层的方法，包括：提供基板至热丝化学气相沉积(HWCVD)腔室中的基板支撑件，基板具有传感器结构设置于基板上；提供包括起始剂气体与单体气体与载气的处理气体至HWCVD腔室；加热设置于HWCVD腔室中的多个细丝至足以激活起始剂气体而未分解单体气体的第一温度；及使基板暴露于来自激活起始剂气体的起始剂自由基且暴露于单体气体以沉积聚合物层在传感器结构顶上。

主权项

1.一种沉积聚合物层的方法，包括以下步骤：在热丝化学气相沉积(HWCVD)腔室中加热基板、传感器结构和处理气体，所述传感器结构设置于所述基板上，所述处理气体包括起始剂气体、单体气体和载气，其中所述加热的步骤至足以形成起始剂自由基而未分解所述单体气体的温度；及使所述传感器结构、所述起始剂自由基和所述单体气体接触以形成聚合物层在所述传感器结构的顶上。