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[实用新型]热丝化学气相沉积用基片台及热丝化学气相沉积装置-CN201822113118.1有效
发明人：唐永炳;王星永;王陶;黄磊;李星星 -专利权人：深圳先进技术研究院
申请日： 2018-12-14 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种热丝化学气相沉积用基片台及热丝化学气相沉积装置，涉及涂层沉积设备技术领域。该基片台上设置有用于承载基体的承载面，承载面为斜面且承载面距热丝之间的距离呈梯度变化；通过上述基片台特定结构的设置，使得置于基片台承载面上的基体在沉积过程中，基体表面能够得到形核密度呈梯度变化的薄膜或者涂层；且该基片台结构简单，使用便利，可满足不同梯度涂层的沉积需求。本实用新型还提供一种热丝化学气相沉积装置，包括上述热丝化学气相沉积用基片台。鉴于上述基片台所具有的优势，使得包含上述基片台的热丝化学气相沉积装置也具有同样的优势，为基体上薄膜或者涂层的梯度沉积提供了工业基础。
热丝化学气相沉积基片台承载面沉积本实用新型梯度变化设备技术领域承载基体工业基础基体表面梯度涂层涂层沉积上薄膜热丝形核薄膜承载便利

[发明专利]自适应热丝化学气相沉积结构及热丝化学气相沉积设备-CN202111236039.X在审
发明人：王俊锋;袁明 -专利权人：广东鼎泰机器人科技有限公司
申请日： 2021-10-22 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明公开了一种自适应热丝化学气相沉积结构及热丝化学气相沉积设备，其在工作时，反应腔体内的反应气体与热丝反应，在工件上发生化学气相沉积，从而在工件上形成金刚石薄膜；随着多次反应后，热丝的温度场会发生改变，或者，随着工件种类的更换，对温度场的需求也会发生改变；此时，能通过升降装置调节工件装夹单元相对于热丝安装夹具的间距，即能根据热丝的温度场令工件装夹单元朝靠近或远离第一壁面的方向移动，从而在热丝的温度场改变的情况下，调整工件装夹单元的高度以匹配改变后的温度场，保证沉积效果，不需要清洗或更换热丝安装夹具，即本发明的自适应热丝化学气相沉积结构及热丝化学气相沉积设备，能同时保证沉积效果和生产效率。
自适应化学沉积结构设备

[发明专利]用于材料制备的化学气相沉积设备-CN200710030644.5无效
发明人：邵庆益 -专利权人：漳州师范学院
申请日： 2007-09-30 - 公布日： 2009-04-01 - 主分类号： C23C16/513 文献下载
摘要：本发明公开了一种材料制备的化学气相沉积设备。该设备由可相互独立激活源气体来沉积材料的热丝化学气相沉积激活部分和直流等离子体化学气相沉积激活部分共同组成；衬底支架相对热丝、或直流等离子体电极、或热丝和直流等离子体电极运动。
用于材料制备化学沉积设备

[发明专利]一种IBC电池前表面及其制备方法和电池-CN202211093347.6在审
发明人：董雪迪;林佳继;张武 -专利权人：拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种IBC电池前表面及其制备方法和电池，采用热丝化学气相沉积法制备前表面，所述制备方法包括：在热丝化学气相沉积设备中，对硅片依次进行磷沉积、磷扩散、钝化层沉积和减反射层沉积。该方法工艺简单，无需破真空即可实现镀膜，并且该方法可以实现低温制备和快速沉积，有利于提高产能。此外，热丝化学气相沉积设备中各工艺腔独立，可避免薄膜受到污染。
一种 ibc 电池表面及其制备方法

[发明专利]太阳能电池本征层和掺杂层、制备方法、制备装置和太阳能电池-CN202211064762.9在审
发明人：董雪迪;林佳继;张武 -专利权人：拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： H01L31/0328 文献下载
摘要：本发明提供了一种太阳能电池本征层和掺杂层、制备方法、制备装置和太阳能电池，所述制备方法包括：在硅片的两侧表面采用热丝化学气相沉积法制备本征层；在硅片一侧的本征层上采用热丝化学气相沉积法制备p型掺杂非晶硅层，在硅片另一侧的本征层上采用热丝化学气相沉积法制备n型掺杂非晶硅层。本发明采用热丝化学气相沉积法制备本征层和掺杂层，实现快速沉积制备，膜层质量高。
太阳能电池掺杂制备方法装置

[发明专利]热丝化学气相沉积过程中光发射谱的测试方法及其装置-CN201110265083.3无效
发明人：刘丰珍;李天微;朱美芳 -专利权人：中国科学院研究生院
申请日： 2011-09-08 - 公布日： 2012-05-02 - 主分类号： G01N21/66 文献下载
摘要：本发明涉及一种热丝化学气相沉积过程中光发射谱的测试方法及其装置，属于光谱研究技术领域。采用射频激发，在热丝化学气相沉积制备硅薄膜的气相中产生发光基元，通过双狭缝、光纤、光谱仪来测量和分析射频激发热丝化学气相沉积的光发射谱，认识气相过程特征，指导薄膜制备。本发明装置发射的光谱，能够解释气压变化和气体流量等沉积参数的变化与微晶硅薄膜沉积速率和微结构的关系，是研究HWCVD气相过程的有效方法之一。本方法和装置操作简单，易于实现，数据重复可靠，可应用于太阳电池、微电子等领域中涉及到热丝化学气相沉积的薄膜制备技术中。
化学沉积过程发射测试方法及其装置

[实用新型]等离子增强热丝化学气相沉积薄膜装置-CN200420053672.0无效
发明人：石玉龙;闫凤英 -专利权人：青岛科技大学
申请日： 2004-09-13 - 公布日： 2006-09-27 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种等离子增强热丝法化学气相沉积薄膜的装置，属于化学气相沉积领域。本实用新型结合了等离子化学气相沉积和热丝化学气相沉积的优点，即在等离子化学气相沉积设备的两极之间再加上热丝，提供分解反应气体所需的热能并且还可以加热样品台上的样品，且灯丝上不再直接施加偏压，可提高灯丝的使用寿命同时，在上电极中央设置进气通孔，气体进入时可以进行预热活化有利于化学反应进行。在上电极下方设置带有均流孔的喷头，使反应气流分布均匀，易得到均匀的膜层。本装置可以使薄膜的沉积工艺有更大的调节范围，适合沉积多种薄膜。
等离子增强化学沉积薄膜装置

[实用新型]化学气相沉积装置及其电极-CN201921508070.2有效
发明人：李军旗;袁晓波;陈惠;陈涛;陈万;潘飞 -专利权人：深圳精匠云创科技有限公司
申请日： 2019-09-11 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本实用新型提出一种化学气相沉积装置及其电极，化学气相沉积装置包括加热机构，所述加热机构包括电极及热丝，所述电极包括本体及限位件，所述热丝穿设于所述本体，所述限位件穿设于所述本体并抵持所述热丝。所述电极能够防止热丝断裂。
化学沉积装置及其电极

[发明专利]一种热丝化学气相沉积炉进出气气路装置及方法-CN201610528450.7有效
发明人：李卫 -专利权人：廊坊西波尔钻石技术有限公司
申请日： 2016-07-06 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种热丝化学气相沉积炉进出气气路装置及方法，属于热丝化学气相沉积技术领域。圆柱形腔体的上侧顶角部位沿45度角焊接进气挡板，进气挡板与腔室顶角部形成一个密闭的进气室，气挡板分布有进气孔，进气室连接进气口，圆柱形腔体的真空腔室内的底部连接电极柱、抽气室，抽气室连接升降主轴和抽气口，升降主轴连接基片台，电极柱连接热丝，抽气室有抽气室壁，抽气室与升降主轴之间有间缝隙。本发明可以解决热丝化学气相沉积设备沉积腔室中反应气体分布不均匀的问题，同时也不易产生粉尘、颗粒掉落到沉积基体表面。
一种化学沉积进出气气路装置方法

[实用新型]一种热丝化学气相沉积炉进出气气路装置-CN201620707641.5有效
发明人：李卫 -专利权人：廊坊西波尔钻石技术有限公司
申请日： 2016-07-06 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种热丝化学气相沉积炉进出气气路装置，属于热丝化学气相沉积技术领域。圆柱形腔体的上侧顶角部位沿45度角焊接进气挡板，进气挡板与腔室顶角部形成一个密闭的进气室，气挡板分布有进气孔，进气室连接进气口，圆柱形腔体的真空腔室内的底部连接电极柱、抽气室，抽气室连接升降主轴和抽气口，升降主轴连接基片台，电极柱连接热丝，抽气室有抽气室壁，抽气室与升降主轴之间有间缝隙。本实用新型可以解决热丝化学气相沉积设备沉积腔室中反应气体分布不均匀的问题，同时也不易产生粉尘、颗粒掉落到沉积基体表面。
一种化学沉积进出气气路装置

[实用新型]一种热丝化学气相沉积装置-CN201721923160.9有效
发明人：张贺勇 -专利权人：深圳市金洲精工科技股份有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2018-09-18 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种热丝化学气相沉积装置，所述装置包括：反应室(1)，进气口(2)以及出气口(3)；所述反应室(1)内设置热灯丝(4)和样品台(5)，所述样品台(5)上设置挡热筒(6)。本实用新型通过在热丝化学气相沉积装置设置挡热筒，改变了沉积过程中工件不同部位的沉积温度以及气相浓度，进而实现了在同一工件不同部位沉积不同晶粒度或厚度的薄膜的目的。
热丝化学气相沉积沉积本实用新型反应室样品台热筒进气口装置设置出气口晶粒度热灯丝薄膜

[发明专利]一种热丝化学气相沉积设备-CN201710565466.X有效
发明人：许剑锋;周韬;陶俭;冯一飞;李嘉伦 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2017-07-12 - 公布日： 2019-10-08 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明属于化学气相沉积领域，并公开了一种热丝化学气相沉积设备。本设备包括反应腔体，支撑台架，腔体上盖采用翻盖式结构，腔体四周布置了两个翻盖式观察窗，腔体内部零部件包括金属热丝、热丝架、弹簧拉紧装置、热丝电极、钼板基座、进气口及抽气口，热丝架为双层结构，通过连接弹簧拉伸装置保持金属热丝的紧绷，反应腔体共焊接五条冷却水道，分别分布于盖板、腔体侧壁上部、腔体外壁下部、弹簧装置连接块以及下底板，冷却水道中通入冷却水用于带走沉积实验产生的热量；支撑台架是反应腔体的载体。通过本发明，增强热丝化学气相沉积过程的便捷性和安全性，提高设备的沉积效率。
一种化学沉积设备

[实用新型]一种反应结构及热丝化学气相沉积设备-CN202122554753.5有效
发明人：王俊锋;袁明 -专利权人：广东鼎泰机器人科技有限公司
申请日： 2021-10-22 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种反应结构及热丝化学气相沉积设备，反应机构包括内部形成有反应腔体的机架；机架上设置有热丝安装夹具和工件放置盘，热丝安装夹具上装夹有热丝，机架上安装有升降装置，升降装置的升降端与热丝安装夹具或工件放置盘固定连接；其在工作时，反应腔体内的反应气体与热丝反应，在工件上发生化学气相沉积，从而在工件上形成金刚石薄膜；随着多次反应后，热丝的温度场会发生改变；此时，升降装置调节热丝安装夹具与工件放置盘之间的间距，使工件所在的位置与改变后的温度场相匹配，保证了沉积效果，且不需要增加额外的防护罩，占用反应腔体的空间较小，即反应结构及热丝化学气相沉积设备具有占用空间小且沉积效果好的优点。
一种反应结构化学沉积设备

[发明专利]用于热丝化学气相沉积的丝-CN201280004583.4无效
发明人： A·塔拉索纳拉夫拉多尔 -专利权人：易捷康技术有限公司
申请日： 2012-01-04 - 公布日： 2013-10-02 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明涉及用于半导体层或介电层的热丝化学气相沉积的难熔金属丝，其特征在于，该丝的至少两个隔开的部分设有耐温涂层。本发明也涉及制造这种丝的方法以及其在半导体层或介电层的热丝化学气相沉积中的用途。
用于化学沉积

[发明专利]一种防断裂的热丝化学气相沉积系统及在大尺寸BDD电极制备中的应用-CN201410220223.9有效
发明人：倪晋仁;苑奎;崔锋;王婷 -专利权人：北京大学
申请日： 2014-05-23 - 公布日： 2014-07-30 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本发明涉及热丝化学气相沉积(HFCVD)制备掺硼金刚石膜(BDD)领域，特别是一种防断裂的热丝化学气相沉积系统及其在大面积BDD制备中的应用。所述热丝化学气相沉积系统，包括左钼电极，右钼电极，主热丝弹簧架，副热丝弹簧架，弹性钼片架，副热丝拉紧弹簧，主热丝拉紧弹簧，主热丝，副热丝，十字空心绝缘Al₂O₃陶瓷，若干弹性钼片等，其中所述弹性钼片架平面及主热丝弹簧架平面均可与水平面呈现10°～45°不同的角度，高效保证了热丝平面的水平拉直且不断裂状态。
一种断裂化学沉积系统尺寸 bdd 电极制备中的应用

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