[实用新型]一种圆片级背金芯片的封装结构有效
申请号: | 201721876680.9 | 申请日: | 2017-12-28 |
公开(公告)号: | CN207834271U | 公开(公告)日: | 2018-09-07 |
发明(设计)人: | 陈海杰;陈栋;胡正勋;孙超;张黎;陈锦辉;赖志明 | 申请(专利权)人: | 江阴长电先进封装有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/492 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 赵华 |
地址: | 214400 江苏省无锡市江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种圆片级背金芯片的封装结构,属于半导体封装技术领域。其硅基本体(10)的正面设有若干个芯片电极(11)、芯片绝缘层(14)和正面保护层(18),该正面保护层(18)覆盖芯片绝缘层(14)并开设正面保护层开口(181)再次露出芯片电极(11),芯片电极(11)的上表面设置金属凸点(20);该硅基本体(10)的背面设有背金层,该背金层通过背金粘结层(43)与硅基本体(10)的背面粘合连接。塑封层(60)包封背金层和硅基本体(10)的裸露面,并开设塑封层开口(601)露出背金层背面。本实用新型的封装结构简单,满足小芯片背金需求,符合嵌入式封装未来的发展趋势。 | ||
搜索关键词: | 背金层 基本体 背金 正面保护层 封装结构 芯片电极 芯片 绝缘层 背面 本实用新型 塑封层 圆片级 开口 半导体封装技术 嵌入式封装 金属凸点 裸露面 上表面 小芯片 粘结层 粘合 包封 覆盖 | ||
【主权项】:
1.一种圆片级背金芯片的封装结构,其硅基本体(10)的正面设有若干个芯片电极(11)和功能感应区以及芯片绝缘层(14),所述芯片绝缘层(14)覆盖硅基本体(10)并露出芯片电极(11),其特征在于,所述芯片绝缘层(14)覆盖硅基本体(10)的划片道(12)的残余部分并向外侧延伸,形成芯片绝缘层延伸部(141),还包括正面保护层(18)和塑封层(60),所述正面保护层(18)覆盖芯片绝缘层(14)并开设正面保护层开口(181)再次露出芯片电极(11),在所述芯片电极(11)的上表面设置金属凸点(20),所述金属凸点(20)露出正面保护层(18),在所述硅基本体(10)的背面依次设置背金粘结层(43)和铜层(40),形成背金层,所述背金粘结层(43)的厚度大不大于2微米,所述背金层的厚度大于5微米,所述背金层通过背金粘结层(43)与硅基本体(10)的背面粘合连接,所述塑封层(60)包封背金层和硅基本体(10)的裸露面至芯片绝缘层延伸部(141),并开设塑封层开口(601),所述塑封层开口(601)局部或全部露出背金层背面,所述背金层背面的裸露面继续与埋在PCB板/基板中的其他IC做互联。
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