[发明专利]一种微波功率管封装外壳、制作方法及冷却系统有效
| 申请号： | 201710828792.5 | 申请日： | 2017-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN107481983B | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 阚云辉 | 申请（专利权）人： | 苏州中航天成电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/473 | 分类号： | H01L23/473;H01L21/48 |
| 代理公司： | 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 11514 | 代理人： | 安娜 |
| 地址： | 215131 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微波功率管封装外壳、制作方法及冷却系统，采用刻饰底板内部形成冷却液流过的微流道，底板设置有与微流道连通的进液口和出液口；底板包括若干层叠压的微流道底板，其中中部微流道底板通过刻蚀或冲压形成进液流道、微流道和出液流道；其中进液流道一端与底板的进液口连接，另一端与微流道的进液口连接，微流道的出液口与出液流道的一端连接，该出液流道与底板的出液口连接；冷却液通过进液流道流入微流道，流过微流道的冷却液吸收底板的热量并通过出液流道流出，不断的将底板的热量带走，起到良好的散热。根据功率管的发热功率，通过控制冷却液的流速、进液温度等，能够很好地适应各种发热功率的功率管，适用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 功率管 封装 外壳 制作方法 冷却系统 | ||
【主权项】：
一种微波功率管封装外壳，其特征在于，包括底板(1)，所述底板(1)内部设置有冷却液流过的若干组微流道(2)，所述底板(1)设置有与所述微流道(2)连通的进液口(3)和出液口(4)；所述底板(1)包括若干层叠压的微流道底板，其中中部微流道底板通过刻蚀或冲压，共同构成冷却液依次流过的若干个进液流道(5)、微流道(2)和出液流道(6)；其中进液流道一端与所述底板(1)的进液口(3)连接，进液流道另一端与所述微流道(2)的进液口连接，所述微流道(2)的出液口与所述出液流道的一端连接，该出液流道与所述底板(1)的出液口(4)连接。
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