[发明专利]快闪存储器的缺陷检测方法、耐久测试方法和制造方法有效
申请号: | 201710241890.9 | 申请日: | 2017-04-14 |
公开(公告)号: | CN107039089B | 公开(公告)日: | 2019-12-10 |
发明(设计)人: | 徐涛;曹子贵;谢中华;钱亮;陈宏;王卉 | 申请(专利权)人: | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
主分类号: | G11C29/44 | 分类号: | G11C29/44;G11C29/50 |
代理公司: | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 屈蘅 |
地址: | 201203 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种快闪存储器的缺陷检测方法、耐久测试方法和制造方法,所述缺陷检测方法和耐久测试方法,通过选择快闪存储器芯片的奇数扇区或者偶数扇区来进行擦除,可以使快闪存储器芯片中的浅沟槽隔离结构中的多晶硅残留与相邻的至少一条字线短接或者由于被擦除而带正电荷,并在多晶硅残留带正电荷后施加更大的编程电流以及更长的编程时间来进行编程串扰测试,从而将快闪存储器中具有多晶硅残留的存储单元以编程串扰失效的形式快速、有效地检测出来,从而避免了后续产品在使用过程中所出现的可靠性问题。所述制造方法能够根据所述缺陷检测方法或所述耐久测试方法的结果来调整制造工艺参数,避免浅沟槽隔离结构中出现空洞缺陷,提高产品可靠性。 | ||
搜索关键词: | 闪存 缺陷 检测 方法 耐久 测试 制造 | ||
【主权项】:
1.一种快闪存储器的缺陷检测方法,其特征在于,包括:/n选择快闪存储器的奇数扇区或选择所述快闪存储器的偶数扇区,并采用一定的编程电流和一定的编程时间来进行擦除;/n所述擦除的应力使所述快闪存储器中相应的浅沟槽隔离结构中的多晶硅残留与相邻的至少一条字线短接,以检测出具有多晶硅残留的存储单元;/n或者,所述擦除的应力使所述快闪存储器中位于相邻扇区之间的浅沟槽隔离结构中的多晶硅残留由于被擦除而带正电荷,并在所述多晶硅残留带正电荷后施加比所述一定的编程电流更大的编程电流以及比所述一定的编程时间更长的编程时间来进行编程串扰测试,根据所述编程串扰测试结果,检测出具有多晶硅残留的存储单元。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司,未经上海华虹宏力半导体制造有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710241890.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种电化学免疫传感器及其制备方法和应用
- 下一篇:分析装置
- 同类专利
- 一种DRAM内存行扰动错误解决方法-201910744955.0
- 章铁飞;朱继祥 - 浙江工商大学
- 2019-08-13 - 2020-01-17 - G11C29/44
- 一种DRAM内存行扰动错误解决方法,包括以下的步骤:S1:每个DRAM内存行采用两位的最近访问计时器,追踪其最近的被动激活信息;S2:当某内存行发生读写访问时,按概率N对其相邻行产生主动激活命令;S3:主动激活命令确定产生后,再根据内存行的最近访问计时器信息,决定是否实行主动激活操作;本发明的优点是:在存储代价可忽略的前提下,能准确发送主动激活命令到受害内存行,同时避免不必要的主动激活命令,最小化对性能的不利影响。
- 一种提升闪存芯片性能的方法-201611161176.0
- 陆磊;周第廷 - 武汉新芯集成电路制造有限公司
- 2016-12-15 - 2019-12-31 - G11C29/44
- 本发明涉及存储器领域,尤其涉及一种提升闪存芯片性能的方法,包括:以一第二擦除参考电流为标准对每个扇区分别进行擦除操作;以一第二规格时间为标准分别判断每个扇区的擦除时间是否超时,并记录所有超时的扇区;搜寻超时的扇区中擦除最慢的存储单元,并分别记录每个超时的扇区中擦除最慢的存储单元的地址;对每个地址分别进行分析,以根据分析结果分别对每个地址对应的存储单元进行修复;上述技术方案通过将标准的第一擦除参考电流提高以将隐藏更深的擦除慢的存储单元暴露出来,同时能够消除对正常的存储单元误搜寻,从而避免因此问题引起需修复的存储单元过多导致芯片无法正常修复的问题。
- 存储器装置及相应的写入方法-201610146131.X
- 龙翔澜 - 旺宏电子股份有限公司
- 2016-03-15 - 2019-12-24 - G11C29/44
- 本发明为一种用于实现动态装置修复的存储装置及相应的写入方法,存储装置包括一存储阵列、一冗余阵列(redundancy array)以及一冗余映像存储器(redundancy mapping store)。存储阵列包括多个存储单元,冗余阵列包括多个冗余单元。存储装置亦包括一电路,用以响应分别的命令以执行一写入操作和一读取操作,采用动态冗余修复方法以冗余阵列中的冗余单元取代存储阵列中暂时缺陷单元。
- 快闪存储器的缺陷检测方法、耐久测试方法和制造方法-201710241890.9
- 徐涛;曹子贵;谢中华;钱亮;陈宏;王卉 - 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 2017-04-14 - 2019-12-10 - G11C29/44
- 本发明提供一种快闪存储器的缺陷检测方法、耐久测试方法和制造方法,所述缺陷检测方法和耐久测试方法,通过选择快闪存储器芯片的奇数扇区或者偶数扇区来进行擦除,可以使快闪存储器芯片中的浅沟槽隔离结构中的多晶硅残留与相邻的至少一条字线短接或者由于被擦除而带正电荷,并在多晶硅残留带正电荷后施加更大的编程电流以及更长的编程时间来进行编程串扰测试,从而将快闪存储器中具有多晶硅残留的存储单元以编程串扰失效的形式快速、有效地检测出来,从而避免了后续产品在使用过程中所出现的可靠性问题。所述制造方法能够根据所述缺陷检测方法或所述耐久测试方法的结果来调整制造工艺参数,避免浅沟槽隔离结构中出现空洞缺陷,提高产品可靠性。
- 专利分类