[发明专利]化学放大型正型感光性树脂组合物在审
| 申请号： | 201710196931.7 | 申请日： | 2017-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN107272343A | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 黑岩靖司;增田靖男 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 葛凡 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够使用低pH的碱性水溶液良好地进行显影的化学放大型正型光致抗蚀剂组合物、具备由该化学放大型正型光致抗蚀剂组合物形成的感光性膜的带感光性膜的基板、以及使用该化学放大型正型光致抗蚀剂组合物的被图案化的抗蚀剂膜的形成方法。本发明的化学放大正型感光性树脂组合物含有利用活性光线或放射线的照射而产生酸的产酸剂(A)、在酸的作用下而对碱的溶解性增大的树脂(B)和有机溶剂(S)，其中，使规定量树脂(B)中含有第一树脂(B1)，所述第一树脂(B1)是在可溶于pH12的碱性水溶液的碱可溶性树脂所具有的碱可溶性基的至少一部分中、碱可溶性基的氢原子被酸解离性溶解抑制基取代的树脂。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 大型 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
一种化学放大型正型感光性树脂组合物，其含有利用活性光线或放射线的照射而产生酸的产酸剂(A)、在酸的作用下而对碱的溶解性增大的树脂(B)和有机溶剂(S)，所述树脂(B)包含第一树脂(B1)，所述第一树脂(B1)是如下树脂，即，在可溶于pH12的碱性水溶液的碱可溶性树脂所具有的碱可溶性基的至少一部分中，所述碱可溶性基的氢原子被酸解离性溶解抑制基取代的树脂，所述第一树脂(B1)的质量相对于所述树脂(B)的质量的比率超过50质量％。
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- 本发明的目的在于，提供能够获得良好图案形状、MEEF性能优异、不易产生牵丝等缺陷的放射线敏感性树脂组合物、和适合用于该放射线敏感性树脂组合物的聚合物、以及使用该放射线敏感性树脂组合物的图案形成方法；所述放射线敏感性树脂组合物含有：[A]具有选自分别以下式(1‑1)和(1‑2)表示的多个结构单元中的至少1种结构单元(Ⅰ)、且氟原子含量在5质量％以上的聚合物，[B]具有酸解离性基团、且氟原子含量低于5质量％的聚合物，以及[C]放射线敏感性酸产生剂。
- 正型感光性树脂组成物及其图案形成方法-201410421017.4
- 刘骐铭;施俊安 - 奇美实业股份有限公司
- 2014-08-25 - 2018-11-30 - G03F7/039
- 本发明是有关一种正型感光性树脂组成物及其图案形成方法。该正型感光性树脂组成物包含酚醛清漆树脂(A)、聚硅氧烷(B)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(C)及溶剂(D)。上述酚醛清漆树脂(A)包含二甲酚型酚醛清漆树脂(A‑1)，且该二甲酚型酚醛清漆树脂(A‑1)由醛类化合物与二甲酚类化合物聚缩合而得。
- 专利分类
