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- [发明专利]感光性树脂组合物、固化膜的制造方法、固化膜、液晶显示装置及有机EL显示装置-CN201480059420.5有效
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米泽裕之;真崎庆央;山下史绘;柏木大助
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富士胶片株式会社
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2014-10-29
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2019-10-25
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G03F7/085
- 本发明提供一种即便在未进行HMDS等的疏水化处理的基板中也可兼具显影时的图案密合性与固化膜对基板的密合性的感光性树脂组合物、固化膜的制造方法、固化膜、液晶显示装置及有机EL显示装置。本发明的感光性树脂组合物含有:包含满足下述(1)及(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分,即(1)含有(a1‑1)具有酸基被酸分解性基保护的基团的结构单元、及(a1‑2)具有交联性基的结构单元的聚合物,(2)含有(a1‑1)具有酸基被酸分解性基保护的基团的结构单元的聚合物、及含有(a1‑2)具有交联性基的结构单元的聚合物;通式(1)所表示的化合物;硅烷偶联剂;光酸产生剂;以及溶剂,其中,相对于上述感光性树脂组合物的总固体成分,上述通式(1)所表示的化合物的含量为0.1~5.0质量%,相对于上述通式(1)所表示的化合物的含量,上述硅烷偶联剂的含量的比例以质量比计为大于3.0倍且为50.0倍以下,通式(1)中,n表示4以上的整数,R1表示n价的有机基,R2~R5分别独立地表示碳数1~12的1价的有机基,R6表示碳数1~12的1价的烷基。通式(1)
- 感光性树脂组合固化制造方法液晶显示装置有机el
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