[发明专利]半导体装置的检查装置以及半导体装置的检查方法

摘要

本发明目的在于提供能够以低成本高精度地对多个探针的高度方向错位进行检测的半导体装置的检查装置及检查方法。本发明涉及的半导体装置的检查装置(1)具有探针插座(19)；以及绝缘板(16)，其经由探针插座来保持探针(11)，探针插座具有在探针的按压方向与绝缘板相对的相对部分，在该相对部分配置压力被动部件(7)，绝缘板是透明的，通过对探针前端进行按压，从而使压力被动部件在探针插座的相对部分和绝缘板间受到按压，检查装置还具有照相机(21)，其从绝缘板的与配置压力被动部件的一侧的面相反侧的面对压力被动部件进行拍摄；以及图像处理部(22)，其对由照相机拍摄到的图像进行处理而检测压力被动部件有无受到压力。

主权项

一种半导体装置的检查装置，其具有：探针插座，其对在半导体装置的评价中使用的探针进行固定；以及绝缘板，其经由所述探针插座对所述探针进行保持，所述探针插座具有在所述探针的按压方向与所述绝缘板相对的相对部分，并且在该相对部分配置压力被动部件，所述绝缘板是透明的，或者在俯视观察时与所述压力被动部件重叠的部分具有开口部，在所述绝缘板具有所述开口部的情况下，所述探针插座还具有在所述绝缘板的所述开口部和所述压力被动部件之间配置的透明部件，通过对所述探针的前端进行按压，从而使所述压力被动部件在所述探针插座的所述相对部分与所述绝缘板或者所述透明部件之间受到按压，该半导体装置的检查装置还具有：照相机，其从所述绝缘板的与配置所述压力被动部件的一侧的面相反侧的面，对所述压力被动部件进行拍摄；以及图像处理部，其对由所述照相机拍摄到的图像进行处理，对所述压力被动部件有无受到压力进行检测。