[实用新型]半导体晶片顶起机构有效
申请号: | 201621363737.0 | 申请日: | 2016-12-13 |
公开(公告)号: | CN206210764U | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 李华春 | 申请(专利权)人: | 深圳市东飞凌科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683;H01L21/67;H01L21/673 |
代理公司: | 深圳中一专利商标事务所44237 | 代理人: | 阳开亮 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及半导体封装共晶固晶设备的技术领域,公开了一种半导体晶片顶起机构,安装于半导体封装共晶固晶设备中并用以顶起半导体晶片,该半导体晶片顶起机构包括底座,设置于底座上并可沿竖直方向上下移动的用于吸附并刺破蓝膜以将该蓝膜上的半导体晶片顶起的顶针组件,以及设置于底座上的用于驱动顶针组件上下移动的驱动组件,该驱动组件与顶针组件传动连接。如上所述,通过在底座上设置顶针组件和驱动组件,利用驱动组件驱动顶针组件上下移动,使得顶针组件吸附并刺破蓝膜以将该蓝膜上的半导体晶片顶起,如此,有效提高了顶晶速度,同时,还使得顶起晶片的水平度可有效控制,从而使得半导体封装共晶固晶设备能够更精准和稳定地吸取晶片。 | ||
搜索关键词: | 半导体 晶片 顶起 机构 | ||
【主权项】:
半导体晶片顶起机构,安装于半导体封装共晶固晶设备中并用以顶起半导体晶片,其特征在于,所述半导体晶片顶起机构包括底座,设置于所述底座上并可沿竖直方向上下移动的用于吸附并刺破蓝膜以将所述蓝膜上的半导体晶片顶起的顶针组件,以及设置于所述底座上的用于驱动所述顶针组件上下移动的驱动组件,所述驱动组件与所述顶针组件传动连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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