[发明专利]测试结构及利用该测试结构监测探针针痕偏移的方法有效
| 申请号： | 201611190346.8 | 申请日： | 2016-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN106783804B | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 赵毅;瞿奇;陈玉立;彭飞;梁卉荣 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及集成电路测试技术领域，尤其涉及一种测试结构及利用该测试结构监测探针针痕偏移的方法。本发明的测试结构在常规的WAT(晶圆可接受测试)中引入一条新的测试结构，其金属焊盘数目N(N>＝4)与要监测的探针卡针脚数目一致，通过在每个金属焊盘下面放置一个有源器件，将N(N>＝4)个有源器件的栅极、源极、漏极和衬底并联起来分别接入4个不同的焊盘，通过量测焊盘下面不同位置的有源器件的饱和电流，实现实时监测探针针脚的偏移情况。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 结构 利用 监测 探针 偏移 方法 | ||
【主权项】：
1.一种测试结构，应用于晶圆可接收测试，所述测试结构设置于晶圆中，所述晶圆包括多层金属层，所述测试结构包括多个金属焊盘和多个有源器件，每个所述金属焊盘下方对应设置一个所述有源器件，以形成CUP结构；其特征在于，所有的所述CUP结构中所述有源器件的栅极通过第一连接线路并联接入一第一焊盘，源极通过第二连接线路并联接入一第二焊盘，漏极通过第三连接线路并联接入一第三焊盘，衬底通过第四连接线路并联接入一第四焊盘，其中，所有的所述CUP结构的金属布线设置于所述晶圆的同一金属层中。
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