[发明专利]一种MEMS器件的制作方法有效
| 申请号： | 201611140082.5 | 申请日： | 2016-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN108609577B | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 施林波;陈福成 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 11336 北京市磐华律师事务所 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS器件的制作方法，所述方法包括:提供MEMS晶圆，所述MEMS晶圆的正面形成有图案化的过滤层；在所述MEMS晶圆中形成开口，所述开口贯穿所述MEMS晶圆的背面；在所述图案化的过滤层上形成胶带；自所述MEMS晶圆的背面减薄所述MEMS晶圆，使所述MEMS晶圆减薄到目标厚度；剥离所述胶带。根据本发明提供的MEMS器件的制作方法，首先在MEMS晶圆中形成贯穿所述MEMS晶圆的背面的开口，然后采用胶带对所述MEMS晶圆正面进行保持，自所述MEMS晶圆的背面减薄所述MEMS晶圆，使所述MEMS晶圆减薄到目标厚度，从而避免了需要临时键合的工艺，从而实现低成本、高良率制作超薄MEMS器件。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 胶带 背面减薄 开口 过滤层 图案化 制作 减薄 晶圆正面 临时键合 低成本 贯穿 良率 背面 剥离 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS器件的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：/n提供MEMS晶圆，所述MEMS晶圆的正面形成有图案化的过滤层；/n在所述MEMS晶圆中形成开口，所述开口贯穿所述MEMS晶圆的背面；/n在所述MEMS晶圆中形成所述开口之后，在所述图案化的过滤层上形成胶带；/n在所述图案化的过滤层上形成所述胶带之后，自所述MEMS晶圆的背面减薄所述MEMS晶圆，使所述MEMS晶圆减薄到目标厚度，所述背面减薄的方法包括对所述MEMS晶圆的中心区域进行研磨，以使所述MEMS晶圆的中心区域减薄，并在所述MEMS晶圆的边缘区域形成突出的支撑环；/n在使所述MEMS晶圆减薄到目标厚度之后，剥离所述胶带。/n
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- 本实用新型提供一种用于十字形精准固态纳米孔的制备工具，包括十字形薄膜、电信号放大器、数字源表与控制系统；十字形薄膜的横向两端与竖向两端均连接有加压电路；电信号放大器为两个，分别串联至两个加压电路中；控制系统通过数字源表与两个加压电路相连，控制系统包括控制模块、数据处理模块以及交流脉冲电压模块；交流脉冲电压模块依次通过控制模块以及数据处理模块与数字源表相连。本实用新型能实现锥度极小的石墨烯纳米孔的制备，能通过十字形薄膜制孔材料实现多通道均匀快速制备纳米孔，同时能实时检测多通道内的离子电流，能通过计算纳米孔的实时孔径控制脉冲电压的施加，从而实现纳米孔的精准制备，在纳米孔制备技术领域具有广泛的前景。
- 金纳米片修饰的碳纤维SERS基底材料及其制备方法和应用-201810556882.8
- 王永;吴长宇;徐凯;隋美蓉;刘琳琳 - 徐州医科大学
- 2018-06-01 - 2019-12-27 - B81C1/00
- 本发明提供一种金纳米片修饰的碳纤维SERS基底材料及其制备方法和应用，制备方法包括：以碳纤维为载体，在所述碳纤维表面吸附TiO
- 用于支撑微桥结构的氮化硅-钛-氮化硅悬臂梁制造方法-201711454696.5
- 何勇;方中;陈哲权;苏岩;姜波;周同 - 南京理工大学
- 2017-12-28 - 2019-12-27 - B81C1/00
- 本发明公开了一种用于支撑微桥结构的氮化硅—钛—氮化硅悬臂梁制造方法，包括：在晶圆表面形成电极锚点；在晶圆表面制备牺牲层；在晶圆表面制备第一层氮化硅薄膜；在氮化硅薄膜和牺牲层上形成连接电极的通孔；在电机锚点上形成电极柱；在晶圆上制备钛薄膜；在晶圆上制备与第一层氮化硅薄膜应力状态相反的第二层氮化硅薄膜；刻蚀第一层氮化硅薄膜、钛薄膜、第二层氮化硅薄膜，形成悬臂梁结构；本发明在薄膜沉积过程中即可完成结构的应力平衡，无需添加额外的工艺步骤，方法更简单，更适应于大规模生产。
- 一种复合固支梁的制备方法-201710834957.X
- 张亭;王忆文;王弘喆;陈兆隽;安佳琪;鲍景富 - 电子科技大学
- 2017-09-15 - 2019-12-27 - B81C1/00
- 一种复合固支梁的制备方法，属于微机电系统技术领域。本发明提出了一种基于“金‑石墨烯‑金”三层复合材料形成的固支梁结构。本发明复合固支梁的制作工艺简单、成本低廉、操作可控性强，且兼具易于与CMOS电路集成的优势；运用本发明复合固支梁作为微机电系统开关，由于其相比石墨烯梁具有较小的杨氏模量和弹性系数，因而能够降低开关的驱动电压；同时，由于其相比传统金属梁具有高机械强度，因此能够解决其作为开关的可靠性问题，进而有利于其作为MEMS开关的商业化发展。
- 一种基于主动制冷液滴凝结的表面微结构制备方法-201710351836.X
- 郭醒;王光绪;刘军林;江风益 - 南昌大学;南昌硅基半导体科技有限公司
- 2017-05-18 - 2019-12-24 - B81C1/00
- 本发明公开了一种基于主动制冷液滴凝结的表面微结构制备方法，它通过主动制冷的液滴凝结技术，使置于一定蒸气环境下的聚合物表面温度低于环境温度，从而空气中的蒸气在聚合物表面成核，凝结长大并自组装成均匀分布的液滴，采用紫外固化实现聚合物固化和液滴蒸发，在聚合物表面得到均匀分布的微结构。本发明仅仅采用单相的聚合物材料，采用主动制冷实现聚合物温度降低，实现液滴凝结，用于替代传统的利用有机溶剂挥发制冷的表面微结构制备技术，简化了制备工艺，避免了由于有机溶剂使用带来的对人体的毒害以及环境污染等问题，具有工艺简单、成本低、微结构尺寸和形貌灵活可控和绿色环保的优点。
- 扩片机压膜装置-201920546066.9
- 陈晓杰;谢术文;李晓龙 - 歌尔科技有限公司
- 2019-04-19 - 2019-12-24 - B81C1/00
- 本实用新型公开了一种扩片机压膜装置，属于加工设备技术领域，包括上盖和下盖，所述上盖与所述下盖之间设置有弹性件，所述上盖的上侧设置有压杆，所述下盖连接有安装杆，所述安装杆穿过所述上盖与所述压杆转动连接，所述压杆的端部设置有与所述安装杆转动连接的偏心轮，所述下盖为环形结构，所述偏心轮转动时所述上盖压住或松开位于所述下盖内侧的工件，本设计通过控制压杆即可使上盖压紧工件，避免工作人员直接操作导致袖口的异物产生污染的情况，保证产品良率。
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