[发明专利]弹性组合的半导体组件处理装置以及半导体组件分类测试系统有效
申请号: | 201610559717.9 | 申请日: | 2016-07-15 |
公开(公告)号: | CN107622960B | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 詹勋亮;蔡宗益;梁兴岳;林俊良;吴永仁 | 申请(专利权)人: | 京元电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明是关于一种弹性组合的半导体组件处理装置以及以及半导体组件分类测试系统。依照各种不同的需求,可以由此弹性组合的半导体组件处理装置中自由地选取各种不同的入料单元、处理单元、以及出料单元,而组装成符合一个可以统一于其上以自动化的方式实施半导体组件的包装转换与处理的半导体组件处理装置。其次,依照各种不同的需求,可以由此弹性组合的半导体组件分类测试系统中自由地选取各种不同的入料单元、处理单元、测试单元、以及出料单元,而组装成符合一个可以统一于其上以自动化的方式实施半导体组件的包装转换、处理、以及测试的半导体组件分类测试系统。 | ||
搜索关键词: | 弹性 组合 半导体 组件 处理 装置 以及 分类 测试 系统 | ||
【主权项】:
一种弹性组合的半导体组件处理装置,其特征在于:包含:至少一种进料模块,用以输入半导体组件,其中,该进料模块包含数种不同种类的入料单元,每一种该入料单元都为独立且分离的个体,且每一种该入料单元皆具有入料单元连接定位机构;至少一种出料模块,该出料模块包含数种不同种类的出料单元,每一种该出料单元都为独立且分离的个体,且每一种该出料单元皆具有出料单元连接定位机构;以及至少一种处理模块,用以对半导体组件进行处理,其中,该处理模块包含数个处理单元,每一种该处理单元都为独立且分离的个体,且每一种处理单元皆具有二处理单元连接定位机构,借由该二处理单元连接定位机构分别与该出料单元的该出料单元连接定位机构以及该入料单元的该入料单元连接定位机构结合,以组合成半导体组件处理装置,从而可以自由地选取不同的处理单元与不同的入料单元以及不同出料单元进行搭接而组合成具有不同的功能的半导体组件处理装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京元电子股份有限公司,未经京元电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201610559717.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造