[实用新型]一种具有电磁屏蔽效能的垂直互连结构有效
| 申请号： | 201520432405.2 | 申请日： | 2015-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN204696113U | 公开（公告）日： | 2015-10-07 |
| 发明（设计）人： | 谢慧琴;陈靖;丁蕾;吴伟伟;任卫朋;王立春 | 申请（专利权）人： | 上海航天测控通信研究所 |
| 主分类号： | H01L23/525 | 分类号： | H01L23/525;H01L23/58 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 200080 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有电磁屏蔽效能的垂直互连结构，其包括：实心金属通柱、金属屏蔽层和金属氧化物；其中：实心金属通柱为封装基板内任意层间垂直互连的金属导体；金属屏蔽层为包围实心金属通柱的环形金属屏蔽层；金属氧化物为实心金属通柱和金属屏蔽层之间的环形绝缘介质。本实用新型的垂直互连结构，有效解决了电磁泄漏问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 电磁 屏蔽 效能 垂直 互连 结构 | ||
【主权项】：
一种具有电磁屏蔽性能的垂直互连结构，其特征在于，包括：实心金属通柱、金属屏蔽层和金属氧化物；其中：所述实心金属通柱为封装基板内任意层间垂直互连的金属导体；所述金属屏蔽层为包围所述实心金属通柱的环形金属屏蔽层；所述金属氧化物为所述实心金属通柱和所述金属屏蔽层之间的环形绝缘介质。
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