[实用新型]一种具有电磁屏蔽效能的垂直互连结构

权利要求书

1.一种具有电磁屏蔽性能的垂直互连结构，其特征在于，包括：实心金属通柱、金属屏蔽层和金属氧化物；其中：

所述实心金属通柱为封装基板内任意层间垂直互连的金属导体；

所述金属屏蔽层为包围所述实心金属通柱的环形金属屏蔽层；

所述金属氧化物为所述实心金属通柱和所述金属屏蔽层之间的环形绝缘介质。

2.根据权利要求1所述的垂直互连结构，其特征在于，所述实心金属通柱的材料与所述金属屏蔽层的材料为同一种金属材料；

所述金属材料为可阳极氧化的金属材料。

3.根据权利要求2所述的垂直互连结构，其特征在于，所述金属氧化物环形介质为所述金属材料被氧化后形成的金属氧化物。

4.根据权利要求3所述的垂直互连结构，其特征在于，所述金属材料为铌、钽、铝、钛中的任意一种，对应地，

所述金属氧化物为氧化铌、氧化钽、氧化铝、氧化钛中的任意一种。

5.根据权利要求1所述的垂直互连结构，其特征在于，所述垂直互连结构为单通道垂直互连结构和/或多通道互连结构和/或差分垂直互连结构；

单通道垂直互连结构用于单个信号的传输；

多通道互连结构用于多个相邻的信号的传输，每个通道均设置有所述金属屏蔽层，相邻两个通道之间的所述金属屏蔽层共用；

差分垂直互连结构用于差分信号的传输。

6.根据权利要求1所述的垂直互连结构，其特征在于，所述垂直互连结构的尺寸为微米级。