[发明专利]振动元件、电子设备、以及移动体有效

专利信息
申请号: 201510126085.2 申请日: 2015-03-20
公开(公告)号: CN104931033B 公开(公告)日: 2018-12-04
发明(设计)人: 泷泽照夫 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: G01C19/5747 分类号: G01C19/5747
代理公司: 北京金信知识产权代理有限公司 11225 代理人: 黄威;苏萌萌
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供一种振动元件、电子设备、以及移动体,所述振动元件提高了物理量的检测精度。在将互相正交的两个轴设为第一轴以及第二轴、将与包括所述第一轴与所述第二轴的平面正交的轴设为第三轴时,振动元件(1)具备质量体,所述质量体包括支承部(130);第一位移部(110)以及第二位移部(120),其经由梁部(115、125)而以能够以所述第一轴为中心而旋转的方式被连接在支承部(130)上,并沿着所述第二轴的方向而延伸,第一位移部(110)以及第二位移部(120)被设置于所述质量体的一方与另一方上,并且互相对置的自由端(112、122)通过连结部(140)而被连接。
搜索关键词: 振动 元件 电子设备 以及 移动
【主权项】:
1.一种振动元件,其特征在于,在将互相正交的两个轴设为第一轴以及第二轴、将与包括所述第一轴与所述第二轴的平面正交的轴设为第三轴时,所述振动元件具备如下质量体,所述质量体包括:支承部;第一位移部以及第二位移部,其经由梁部而以能够以所述第一轴为中心而旋转的方式被连接在所述支承部上,并在所述第二轴的方向上延伸,所述第一位移部以及所述第二位移部被设置于所述质量体的一方与另一方上,并且互相对置的自由端通过连结部而被连接,在所述梁部所连接的所述支承部、所述第一位移部以及所述第二位移部中的至少一处上,设置有使所述第一位移部以及所述第二位移部中的至少一方的固有振动频率可变的可变部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社,未经精工爱普生株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201510126085.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。

同类专利
  • 振动元件、电子设备、以及移动体-201510126085.2
  • 泷泽照夫 - 精工爱普生株式会社
  • 2015-03-20 - 2018-12-04 - G01C19/5747
  • 本发明提供一种振动元件、电子设备、以及移动体,所述振动元件提高了物理量的检测精度。在将互相正交的两个轴设为第一轴以及第二轴、将与包括所述第一轴与所述第二轴的平面正交的轴设为第三轴时,振动元件(1)具备质量体,所述质量体包括支承部(130);第一位移部(110)以及第二位移部(120),其经由梁部(115、125)而以能够以所述第一轴为中心而旋转的方式被连接在支承部(130)上,并沿着所述第二轴的方向而延伸,第一位移部(110)以及第二位移部(120)被设置于所述质量体的一方与另一方上,并且互相对置的自由端(112、122)通过连结部(140)而被连接。
  • 一种带解耦功能的音叉型微机电陀螺敏感结构-201510727774.9
  • 郭中洋;杨军;刘飞;盛洁;窦茂莲;胡兴雷;崔健;林梦娜;刘凯 - 北京自动化控制设备研究所
  • 2015-10-30 - 2018-06-26 - G01C19/5747
  • 本发明属于敏感结构,具体涉及一种带解耦功能的音叉型微机电陀螺敏感结构。一种带解耦功能的音叉型微机电陀螺敏感结构,呈左右对称分布,左右半边主体结构均由驱动框、驱动检测转接框、检测框三框组成,其中驱动框设置在最外侧,检测框在最内侧,驱动检测转接框设置在中间,左右半边主体通过驱动框和驱动检测转接框连接为一个整体;驱动检测转接框上设有正交耦合误差抑制结构。本发明的效果是:本发明采用对称式三框设计,即驱动框、驱动检测转接框、检测框,同时采用单自由度梁连接各框,进而限定各框和质量块的运动自由度,实现了驱动与检测之间的双向解耦,能够在很大程度上抑制耦合误差。
  • 振动片和陀螺传感器、以及电子设备和移动体-201310146091.5
  • 西泽竜太;中川啓史 - 精工爱普生株式会社
  • 2013-04-24 - 2018-03-09 - G01C19/5747
  • 本发明提供振动片和陀螺传感器、以及电子设备和移动体。所述振动片能够维持机械强度且提高输出信号的S/N比。振动片具有基部。驱动用振动臂、检测用振动臂及调节用振动臂(63)从基部起延伸。在调节用振动臂(63)上结合有第一调节用电极(68)和第二调节用电极(69)。第一调节用电极(68)生成第一相位的电信号。第二调节用电极(69)生成与第一相位成为反相位的第二相位的电信号。通过调节用电极(68)、(69)的电信号被重叠在检测用振动臂的检测信号上,从而实现对漏泄振动成分的抵消。在第一电极片(68a)与第二电极片(68b)之间部分地夹持有调节用振动臂(63),在第三电极片(69a)与第四电极片(69b)之间部分地夹持有调节用振动臂(63)。
  • 转速传感器和用于运行转速传感器的方法-201210592869.0
  • B·库尔曼;J-T·利瓦尔德 - 罗伯特·博世有限公司
  • 2012-12-31 - 2018-02-23 - G01C19/5747
  • 本发明涉及一种转速传感器,其具有包括主延伸平面的衬底、借助探测弹簧能够运动地固定在衬底上的力传递装置和震动质量,其中震动质量通过力传递装置如此能够相对于衬底运动地悬挂,使得震动质量能够借助于驱动装置被激励成绕平行于主延伸平面的驱动轴线的驱动振动,并且在存在平行于主延伸平面并且垂直于驱动轴线的转速时震动质量由于科里奥利力能够被激励成绕垂直于主延伸平面的探测轴线的探测振动,其中,探测弹簧与力传递装置在振动节点的区域中耦合。
  • 物理量传感器、电子设备以及移动体-201610822063.4
  • 古畑诚 - 精工爱普生株式会社
  • 2016-09-13 - 2017-08-08 - G01C19/5747
  • 本发明提供一种能够发挥优良的机械强度的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有基板(2);检测用翼板(47),其以与基板(2)对置的方式而配置;质量部(41),其对检测用翼板(47)进行支承;梁部(48),其对检测用翼板(47)和质量部(41)进行连结;第一限制部(61),其位于检测用翼板(47)与质量部(41)之间,并对检测用翼板(47)的向面内方向的位移进行限制。此外,第一限制部(61)被设置于呈矩形形状的检测用翼板(47)的角部处。
  • 用于共模抑制的带有耦合弹簧的惯性传感器-201610392601.0
  • 迈克尔·瑙曼 - 飞思卡尔半导体公司
  • 2016-06-06 - 2016-12-28 - G01C19/5747
  • 本公开描述一种MEMS装置,其包括耦合一对能运动块的两个弹簧系统。所述弹簧系统中的每个弹簧系统包括受约束的刚性梁和一对挠曲部,其中,一个挠曲部直接耦合至所述刚性梁的一端并耦合至所述能运动块中的一个能运动块,并且另一挠曲部直接耦合至所述刚性梁的相对端并耦合至另一个能运动块。响应于所述能运动块的驱动运动,所述挠曲部使得所述受约束刚性梁能够枢转运动,使得所述刚性梁在围绕所述刚性梁的中心铰接点的相对方向枢转。这种枢转运动使得所述驱动块能够反相线性振荡运动同时基本上遏制或以其他方式抑制所述能运动块的同相运动。
  • 陀螺传感器及其制造方法、电子设备以及移动体-201610113718.0
  • 金本啓 - 精工爱普生株式会社
  • 2016-02-29 - 2016-09-14 - G01C19/5747
  • 本发明提供一种能够抑制S/N比的恶化并且实施灵敏度调节的陀螺传感器及其制造方法、电子设备以及移动体等。陀螺传感器1包括:基板(10)、振动体(112)、使振动体(112)进行振动的固定驱动电极(130、132)以及可动驱动电极(116)、用于对根据振动体(112)的振动而变化的信号进行检测的固定检测电极(130、132)以及可动检测电极(116)、向振动体(112)施加偏置电压Vr的偏置电压施加部(610)、存储部(620),偏置电压施加部(620)根据存储部(610)中所存储的信息而对偏置电压Vr的值进行设定。
  • 双端音叉角速度传感器芯片-201521008888.X
  • 林丙涛;蒋昭兴;翁邦英 - 中国电子科技集团公司第二十六研究所
  • 2015-12-08 - 2016-04-13 - G01C19/5747
  • 本实用新型公开了一种双端音叉角速度传感器芯片,驱动梁、检测梁的长度方向均沿Y向设置并位于同一平面;两驱动梁的一端部分别连接于中间块同一侧,两检测梁的一端部分别连接于中间块另一侧。两连接桥的一端连接于中间块X向两侧,两连接桥的另一端分别与固定块连接。驱动梁的正面和背面至少一个面上设有沿长度方向的凹槽,该凹槽的开口方向与驱动梁的振动方向垂直,在凹槽的内壁以及驱动梁的两侧壁分别覆盖有用于连接激励电源的电极。所述检测梁的侧壁覆盖有平行分开的敏感电极。本实用新型在同等激励电压条件下,音叉内部的电场强度和音叉的激励振幅更高,相同角速度引起的哥式力更大,芯片灵敏度更高。
  • 一种双端音叉角速度传感器芯片-201510894930.0
  • 林丙涛;蒋昭兴;翁邦英 - 中国电子科技集团公司第二十六研究所
  • 2015-12-08 - 2016-03-23 - G01C19/5747
  • 本发明公开了一种双端音叉角速度传感器芯片,驱动梁、检测梁的长度方向均沿Y向设置并位于同一平面;两驱动梁的一端部分别连接于中间块同一侧,两检测梁的一端部分别连接于中间块另一侧。两连接桥的一端连接于中间块X向两侧,两连接桥的另一端分别与固定块连接。驱动梁的正面和背面至少一个面上设有沿长度方向的凹槽,该凹槽的开口方向与驱动梁的振动方向垂直,在凹槽的内壁以及驱动梁的两侧壁分别覆盖有用于连接激励电源的电极。所述检测梁的侧壁覆盖有平行分开的敏感电极。本发明在同等激励电压条件下,音叉内部的电场强度和音叉的激励振幅更高,相同角速度引起的哥式力更大,芯片灵敏度更高。
  • 角速度检测元件-201380064825.3
  • 渡边恒介 - 株式会社村田制作所
  • 2013-12-04 - 2015-08-26 - G01C19/5747
  • 本发明的角速度检测元件(10)的振动体(11)具备:从中心基部(12)设置成十字形的检测梁部(13A~13D)、连接在相邻的检测梁部(13A~13D)之间的外侧连结梁部(14A~14D)及内侧连结梁部(15A~15D)。检测梁部(13A~13D)具备:与中心基部(12)相连的基端检测梁(24)、以及分成三路的中央检测梁(21)、左侧检测梁(22)及右侧检测梁(23)。中央检测梁(21)与两侧的外侧连结梁部(14A~14D)相连,左侧检测梁(22)与左侧的内侧连结梁部(15A~15D)相连,右侧检测梁(23)与右侧的内侧连结梁部(15A~15D)相连。外侧连结梁部(14A~14D)中的相邻的外侧连结梁部进行驱动振动,使得以夹在中间的检测梁部(13A~13D)为边界朝向成为镜像关系的方位发生位移。
  • 一种三轴微机电陀螺仪-201410710065.5
  • 张廷凯 - 歌尔声学股份有限公司
  • 2014-11-27 - 2015-03-25 - G01C19/5747
  • 本发明涉及一种三轴微机电陀螺仪,包括:位于中央的环形检测电容;两组驱动电容,位于所述环形检测电容的外侧且沿y轴在原点的两侧对称分布;两组第二检测电容,位于所述环形检测电容的外侧且沿x轴在原点的两侧对称分布;联动部,分别与所述可动驱动电极、所述可动检测电极、以及所述环形上极板的外沿连接。本发明的三轴微机电陀螺仪采用单结构设计,电容式静电驱动和差动电容检测,驱动方式简单,结构紧凑,有利于减小陀螺仪体积,工艺上适合批量生产,并且能够实现良好的测量精度和灵敏度。
  • 角速度传感器-201310746036.X
  • 金钟云;林俊;李在昌 - 三星电机株式会社
  • 2013-12-30 - 2014-07-09 - G01C19/5747
  • 本发明公开了一种角速度传感器,该角速度传感器包括:第一质量体和第二质量体;第一框架,该第一框架设置在所述第一质量体和第二质量体的外侧以与所述第一质量体和第二质量体间隔;第一弹性件,该第一弹性件在Y轴方向将所述第一质量体和第二质量体分别连接于所述第一框架;第二弹性件,该第二弹性件在X轴方向将所述第一质量体和第二质量体分别连接于所述第一框架;第二框架,该第二框架设置在所述第一框架的外侧;第三弹性件,该第三弹性件在X轴方向将所述第一框架和所述第二框架彼此连接;该第四弹性件在Y轴方向将所述第一框架和所述第二框架彼此连接,其中,所述第一框架在Z轴方向的厚度小于所述第二框架在Z轴方向的厚度。
  • 一种抗高冲击的微机电陀螺-201410047971.1
  • 姜涛;魏云;姚赛 - 同济大学
  • 2014-02-11 - 2014-05-21 - G01C19/5747
  • 一种抗高冲击的微机电陀螺,包括左右对称设置的两个单框式结构,两个单框式结构经由中间耦合梁连接,每个单框式结构均包括驱动质量框、设于驱动质量框内部的检测质量框以及连接驱动质量框和检测质量框的检测弹性梁,驱动质量框和锚点之间经由八组三锚点折叠梁连接,每个驱动质量框的外部左右两侧沿水平方向分别成对设置弹性限位结构,每个驱动质量框外部上下两侧沿竖直方向单向设置一组弹性限位结构,每个检测质量框内部四侧分别设置一组弹性限位结构。当陀螺工作于高强度的冲击载荷之下时,弹性限位结构限制了主体结构在水平和竖直方向的位移,保证三锚点折叠梁和检测弹性梁不超过弹性变形极限,使结构不发生断裂失效,提高抗冲击性。
  • 一种三轴微机械陀螺仪-201310417720.3
  • 滕金燕 - 滕金燕
  • 2013-09-15 - 2013-12-11 - G01C19/5747
  • 本发明涉及一种三轴微机械陀螺仪,包括基板和固定安装在基板上的陀螺仪主体。其中陀螺仪主体包括平面检测单元和z轴检测单元,平面检测单元包括支撑结构、驱动电极和第一质量块;z轴检测单元由两个模块组成,沿x轴以基板中心点对称分布,每个模块包括支撑梁、解耦梁、驱动梁、第二质量块和检测电极。本发明陀螺仪整体结构采用单驱动设计,采用梳齿电极驱动,平面内x轴和y轴通过平板电容检测,z轴通过梳齿电容检测,x、y和z轴均实现了驱动和检测的解耦;本发明陀螺仪结构紧凑、制作工艺简单、成本低廉、具有较高性能,能实现良好的测量精度和灵敏度。
  • 用于探测运动的微陀螺仪-201180024978.6
  • 伏尔克·坎普 - 玛克西姆综合公司
  • 2011-04-19 - 2013-04-03 - G01C19/5747
  • 本发明涉及一种用于探测相对于X轴和/或Y轴和Z轴的运动的微陀螺仪,特别是作为三维、五维或六维传感器。所述微陀螺仪包含基底(2),若干振动样本模块(1),用于将振动样本模块(1)附接至所述基底(2)的锚固件(3、4)以及安置在锚固件(3、4)与样本模块(1)之间的锚固弹簧(5、6),用于在X-Y平面内振动样本模块(1)的驱动元件(15),从而在基底(2)转动时生成Coriolis力,以及包含传感器元件(22),特别是安置在样本模块(1)下方的电极,从而探测样本模块(1)因所生成的Coriolis力而产生的偏移。样本模块(1)围绕中心锚固件(3)均匀地安置,并且能够相对于中心锚固件(3)径向地被驱动。锚固弹簧(5、6)设计成样本模块(1)既能够在X-Y平面内径向偏移,又能够出离所述X-Y平面偏移。传感器模块(20)通过传感器弹簧(21)安置在一个样本模块上,特别是安置在每个样本模块(1)上,并且传感器弹簧(21)允许传感器模块(20)在样本模块(1)的平面内或在X-Y平面内、且正交于样本模块(1)的径向驱动方向的偏移。
  • 四质量块全解耦电容式单轴微机械陀螺仪-201220351143.3
  • 孙博华;王琳;邵长治;孙明;周源;高振宁;郭伟恒;覃昭君;田晓丹 - 水木智芯科技(北京)有限公司
  • 2012-07-19 - 2013-03-13 - G01C19/5747
  • 本实用新型公开了一种四质量块全解耦电容式单轴微机械陀螺仪,包括衬底、四个质量块、驱动结构、检测结构和弹性连接结构;驱动结构包括驱动框架,驱动梳齿电极组和驱动反馈梳齿电极组,驱动梳齿电极组包括四组第一驱动齿和八组第二驱动齿,驱动反馈梳齿电极组分为四组,分别位于驱动框架的上下左右之外;四个质量块悬浮在衬底之上,分别位于驱动反馈梳齿电极组的外侧并对称分布;检测结构包括四组检测框架和四组检测梳齿电极组,四组检测框架浮在衬底之上也呈正方形排列,上述各个结构之间通过所述弹性连接结构连接。本实用新型的驱动框架和检测框架由相互独立的弹性梁约束,其运动只与质量块关联,它们之间的运动是相互独立的,实现了全解耦。
  • 微机械压电X轴陀螺仪-201180031703.5
  • C·阿卡;R·V·夏诺伊;J·P·布莱克;K·E·彼得森;S·K·加纳帕斯;P·J·史蒂芬诺 - 高通MEMS科技公司
  • 2011-04-18 - 2013-02-27 - G01C19/5747
  • 本公开提供了用于制作和使用陀螺仪的系统、方法和装置,包括编码在计算机存储介质上的计算机程序。一些陀螺仪包括驱动框架、中心锚以及部署在中心锚的相对侧上的多个驱动梁。驱动梁可将驱动框架连接至中心锚。驱动梁可包括压电层,并且可配置成使驱动框架在这些驱动梁的平面内扭振。陀螺仪还可包括检验质量块以及多个压电感测梁。至少一些组件可由电镀金属形成。驱动框架可部署在检验质量块内。驱动梁可将驱动框架约束成基本上在驱动梁的平面内旋转。此类器件可被包括在移动设备中,诸如移动显示设备。
专利分类
×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top