[发明专利]一种异质结太阳能电池及其制作方法

摘要

本发明公开了一种异质结太阳能电池及其制备方法，通过在p型非晶硅薄膜表面形成特定的金属薄膜，以及在所述金属薄膜表面形成第二导电薄膜，制作了P型非晶硅/金属薄膜层/TCO界面结构的异质结太阳能电池，使TCO/金属薄膜层/P型非晶硅结构中的界面为欧姆接触，与传统P型非晶硅/TCO界面结构的异质结太阳能电池相比，降低了TCO与P型非晶硅薄膜之间存在的较大接触电阻，从而降低电池串联电阻，有利于提升电池的填充因子。

主权项

一种异质结太阳能电池，其特征在于，包括：在硅衬底的背面依次形成的第一i型本征非晶硅薄膜、n型非晶硅薄膜、第一导电薄膜和背面金属电极；在所述硅衬底的正面依次形成的第二i型本征非晶硅薄膜、p型非晶硅薄膜、在所述p型非晶硅薄膜表面形成的金属薄膜，以及在所述金属薄膜表面形成的第二导电薄膜和所述第二导电薄膜上的正面金属电极。