[发明专利]检测质量块及采用该检测质量块的陀螺仪有效
| 申请号： | 201410412739.3 | 申请日： | 2014-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN105371834B | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 裘进 | 申请（专利权）人： | 上海矽睿科技有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5712 | 分类号： | G01C19/5712 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 孙佳胤;高翠花 |
| 地址： | 201815 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种检测质量块及采用该检测质量块的陀螺仪，检测质量块包括锚点、第一质量块、第二质量块、第三质量块；所述锚点设置在所述第一质量块内，并固定在一外部基板上；所述第一质量块设置在第二质量块内，并通过在第一方向对称的第一弹性梁悬挂在所述锚点上；所述第二质量块设置在第三质量块内，并通过在第二方向对称的第二弹性梁悬挂在所述第一质量块上；所述第三质量块通过在第一方向对称的第三弹性梁悬挂在第二质量块上，并通过在第二方向对称的第四弹性梁与外部驱动质量块连接；所述第一方向与所述第二方向垂直；所述第一质量块具有第一方向的转轴，所述第二质量块具有第一方向和第二方向的转轴，所述第三质量块具有第二方向的转轴。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 质量 采用 陀螺仪 | ||
【主权项】：
1.一种检测质量块，其特征在于，包括锚点、第一质量块、第二质量块、第三质量块；所述锚点设置在所述第一质量块内，并固定在一外部基板上；所述第一质量块设置在第二质量块内，并通过在第一方向对称的第一弹性梁悬挂在所述锚点上；所述第二质量块设置在第三质量块内，并通过在第二方向对称的第二弹性梁悬挂在所述第一质量块上；所述第三质量块通过在第一方向对称的第三弹性梁悬挂在第二质量块上，并通过在第二方向对称的第四弹性梁与外部驱动质量块连接；所述第一方向与所述第二方向垂直；所述第一质量块具有第一方向的转轴，所述第二质量块具有第一方向和第二方向的转轴，所述第三质量块具有第二方向的转轴，所述第二质量块作为检测第一方向和第二方向的角速度的质量块。
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- 本发明提供一种微型角速度传感器，包括位于第一基板上表面的检测电极，悬于所述第一基板上的驱动质量块、平动质量块、转动质量块、第一梳齿、第二梳齿、检测梳齿、弹性梁，以及固定于所述第一基板上的锚点，还包括用于电连接的多个焊盘及引线。本发明可用以检测一个方向或相互垂直的两个方向的外部角速度，也可同时检测相互正交的三个方向的外部角速度，其中，三个方向为垂直于所述微型角速度传感器所在平面的方向、及位于所述微型角速度传感器所在平面内且相互垂直的两个方向。本发明采用两个转动质量块分别检测所述传感器所在平面内相互垂直的两个方向的外部角速度，有效减少检测信号之间的耦合，降低相互干扰，从而提高检测精度。
- 一种单轴微机电系统陀螺仪-201310242552.9
- 邹波 - 深迪半导体（上海）有限公司
- 2013-06-18 - 2013-11-27 - G01C19/5712
- 本发明公开了一种单轴微机电系统陀螺仪，包括扭动质量块、各锚点和设置在各锚点与扭动质量块之间的各电容组，各电容组的固定和可动梳齿具有沿z轴方向的高低差；驱动电容组的固定梳齿通过作为驱动电极的锚点固定在基底上，可动梳齿分别与扭动质量块的连接；检测电容组的固定梳齿通过检测锚点固定在基底上，可动梳齿与扭动质量块连接，由检测锚点构成的一对检测电极将电容变化信号反馈给一对驱动电极；敏感电容组的固定梳齿通过敏感锚点固定在基底上，可动梳齿通过外周弹性梁与扭动质量块连接，位于扭动质量块中心位置处的中心锚点通过中部弹性梁与扭动质量块相连接。本发明的陀螺仪具有结构简单，对于单项运动的角速度测量结果误差较小的特点。
- 用于共振微细加工装置的减小转向差的挠曲支承部-201180044919.5
- C·阿卡;约翰·加德纳·布卢姆斯伯 - 快捷半导体公司
- 2011-09-16 - 2013-11-20 - G01C19/5712
- 一个实例包括用于对动作进行感应的微机电芯片，包括：固定部分；连接到所述固定部分的锚；在所述锚的一侧连接到所述锚的第一非线性悬吊构件；在所述锚的所述一侧连接到所述锚的第二非线性悬吊构件，所述第二非线性悬吊构件具有与所述第一非线性悬吊构件关于锚二等分面成镜像关系的形状和位置；以及平面形的质量块，所述质量块至少部分地由所述第一非线性悬吊构件和所述第二非线性悬吊构件悬吊，从而所述质量块能够围绕所述锚旋转并能够在平行于所述固定部分的平面中滑动。
- 一种单芯片三轴陀螺仪-201210022206.5
- 庄瑞芬;李刚 - 苏州敏芯微电子技术有限公司
- 2012-02-01 - 2013-08-14 - G01C19/5712
- 本发明涉及一种单芯片三轴陀螺仪，具有体积小、成本低廉、低功耗的优点，其包括：质量块，质量块包括相互耦合的主质量块和耦合质量块，主质量块为偶数个且沿Y轴对称设置于耦合质量块两侧；电极层组，电极层组包括第一电极层组、第二电极层组和第三电极层组，第一电极层组、第二电极层组与质量块之间具有间隙，且第一电极层组沿Y轴对称设置于第二电极层组的两侧，第一电极层组位于质量块的正投影内，第二电极层组位于耦合质量块的正投影内，第三电极层组包括一组静止型细长平板和一组活动型细长平板，第三电极层组通过弹性部件与所述主质量块连接；驱动梳齿组，驱动梳齿组与主质量块连接，用以输入信号并驱动主质量块移动。
- 专利分类
