[发明专利]半导体清洗装置及方法

摘要

一种半导体清洗装置，包括一具有复数个夹具组的夹具架，一具有复数个容器的容器阵列，每一个容器可和一个夹具组相对并形成一个工作站，每一容器中进一步有二个超声波装置并且可各自装有不同的溶液，每一个夹具组用于夹持一装有复数芯片的芯片载具，并可将芯片载具由一个容器之中移动到下一个容器之中，芯片的两个表面皆有一部份透过芯片载具上的穿孔暴露于外，当芯片载具被置于容器之中时，芯片暴露于外的两表面分别面对一超声波装置。

主权项

一种半导体清洗装置，其特征在于，包括：一夹具架，可进行垂直于地面方向的上下移动；复数夹具组，配置于该夹具架上，每个所述夹具组皆可于该夹具架上沿着该夹具架水平移动，且每个所述夹具组彼此之间存在一间距，每个所述夹具组具有至少一夹具；一容器阵列，位于该夹具架的下方，具有复数个容器，每个所述容器恰位于所述夹具组的其中之一的下方，每个所述容器具有一朝向该夹具架的开口，其中，每个所述容器内的相对两壁面上分别设置有一超声波装置；及至少一个载具，其被所述夹具组的其中之一所夹持。