[发明专利]迭对标记及其制造方法有效
| 申请号： | 201310198334.X | 申请日： | 2013-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN104183573B | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 蔡高财;吴仁杰;詹孟璋 | 申请（专利权）人： | 华邦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/02;G03F9/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 赵根喜;李昕巍 |
| 地址： | 中国台湾台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种迭对标记及其制造方法。迭对标记包括核心标记图案及至少一个保护图案。核心标记图案中具有多个突部，两个相邻的突部之间具有第一沟渠。保护图案位于核心标记图案周围，保护图案与核心标记图案之间具有至少一个第二沟渠。 | ||
| 搜索关键词： | 标记 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种迭对标记，包括：核心标记图案，所述核心标记图案中具有多个突部，两个相邻的所述突部之间具有第一沟渠；以及至少一保护图案，位于所述核心标记图案周围，所述保护图案与所述核心标记图案之间具有至少一第二沟渠，其中所述第二沟渠的宽度是所述第一沟渠的宽度的75倍至227倍，其中所述第二沟渠围绕所述核心标记图案，其中所述保护图案的宽度是各所述突部的宽度的400倍至818倍。
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