[发明专利]电极形成体、布线基板以及半导体装置在审
| 申请号: | 201310096187.5 | 申请日: | 2013-03-25 |
| 公开(公告)号: | CN103367292A | 公开(公告)日: | 2013-10-23 |
| 发明(设计)人: | 右田千裕;菊地广;竹本良章 | 申请(专利权)人: | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/60 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;黄纶伟 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明提供一种电极形成体、布线基板以及半导体装置,其中,该电极形成体能够适当地降低硅晶片直接接合时的荷重,该电极形成体(1)具有:具有规定厚度的基材(10);以及在基材的厚度方向的一个表面上形成的电极部(20),在该电极形成体(1)中,电极部(20)具有:基础突起(21),其形成为大致柱状,在基材(10)上突出;以及脆弱突起(22),其以与基础突起(21)金属键合的方式独立于基础突起而形成。 | ||
| 搜索关键词: | 电极 形成 布线 以及 半导体 装置 | ||
【主权项】:
一种电极形成体,其具有:具有规定厚度的基材;以及在所述基材的厚度方向的一个表面上形成的电极部,所述电极部具有:基础突起,其形成为大致圆柱状,在所述基材上突出;以及脆弱突起,其以与所述基础突起金属键合的方式独立于所述基础突起而形成。
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