[发明专利]多层布线衬底及制造方法、有源矩阵衬底和图像显示设备有效
| 申请号： | 201210504512.2 | 申请日： | 2012-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN103022003A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 小野寺敦;铃木幸荣;三浦博;田野隆德 | 申请（专利权）人： | 株式会社理光 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L27/12;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王冉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开一种多层布线衬底，具有第一导电层；层间绝缘层；以及第二导电层，其中层间绝缘层包括表面能由接收能量而改变的材料，并具有不包括接触孔的第一区域和表面能被形成为高于该第一区域的第二区域，其中在第一导电层的接触孔内的区域具有高于层间绝缘层第二区域表面能的表面能，其中第二导电层是通过层叠形成，其中第二导电层与层间绝缘层的第二区域接触，沿着第二区域，并且通过接触孔与第一导电层连接。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 布线 衬底 制造 方法 有源 矩阵 图像 显示 设备 | ||
【主权项】：
一种多层布线衬底，具有形成在衬底上的第一导电层；形成在第一导电层上的层间绝缘层；以及形成在层间绝缘层上的第二导电层，并具有第一导电层和第二导电层通过形成在层间绝缘层中的接触孔而电连接的结构，其中层间绝缘层包括表面能通过接收能量而改变的材料，并具有不包括接触孔的第一区域和表面能被形成为高于第一区域的第二区域，其中在第一导电层的接触孔内的区域具有高于层间绝缘层的第二区域的表面能的表面能，其中第二导电层是通过层叠形成，其中第二导电层与层间绝缘层的第二区域沿着第二区域接触，并且通过接触孔与第一导电层连接。
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