[发明专利]多层布线衬底及制造方法、有源矩阵衬底和图像显示设备

权利要求书

1.一种多层布线衬底，具有形成在衬底上的第一导电层；形成在第一导电层上的层间绝缘层；以及形成在层间绝缘层上的第二导电层，并具有第一导电层和第二导电层通过形成在层间绝缘层中的接触孔而电连接的结构，其中

层间绝缘层包括表面能通过接收能量而改变的材料，并具有不包括接触孔的第一区域和表面能被形成为高于第一区域的第二区域，其中

在第一导电层的接触孔内的区域具有高于层间绝缘层的第二区域的表面能的表面能，其中

第二导电层是通过层叠形成，其中第二导电层与层间绝缘层的第二区域沿着第二区域接触，并且通过接触孔与第一导电层连接。

2.如权利要求1所述的多层布线衬底，其中

第一区域是形成为疏水区域，并且其中

第二区域是形成为亲水区域。

3.如权利要求1所述的多层布线衬底，其中第二导电层是由包含导电材料的功能液体通过印刷方法并干燥和固化而形成的导电层。

4.如权利要求1所述的多层布线衬底，其中接触孔的内表面具有逐渐变细的形状。

5.如权利要求1所述的多层布线衬底，其中在接触孔的中心部分上形成的第二导电层的膜厚大于在接触孔内表面上形成的第二导电层的膜厚。

6.如权利要求1所述的多层布线衬底，其中第一导电层在接触孔内的区域中具有多个晶粒，并且其中

在第一导电层的接触孔之内的中心部分的表面粗糙度和晶粒直径中的至少一项比在接触孔末端附近中的更大。

7.如权利要求1所述的多层布线衬底，其中第一导电层形成在衬底上的绝缘层上，其中

该绝缘层包含表面能通过接收能量而改变的材料，低表面能区域和高表面能区域通过接收能量而形成，并且其中

第一导电层形成在选择性地形成在绝缘层内的高表面能区域上。

8.一种有源矩阵衬底，包括权利要求1中的多层布线衬底，其中

该第一导电层被配置为栅电极，其中

该层间绝缘层被配置为栅极绝缘层，其中

该有源矩阵衬底进一步包括

源电极和漏电极，它们形成在与第二导电层相同的层上，以及

半导体层，该半导体层形成为它与源电极和漏电极二者重叠，并且其中

该第二导电层连接到栅电极的输入布线。

9.一种图像显示设备，包括

权利要求8中的有源矩阵衬底；以及

由该有源矩阵衬底驱动的显示装置。

10.一种多层布线衬底的制造方法，包括以下步骤：

在衬底上形成第一导电层；

使用包含表面能通过接收能量而改变的材料的材料，在第一导电层上形成层间绝缘层；

在层间绝缘层内形成接触孔，使部分第一导电层暴露出来；

向层间绝缘层施加能量，以形成不包括接触孔的第一区域和包括接触孔且表面能高于第一区域的第二区域；以及

形成第二导电层，使其与第一导电层和层间绝缘层的第二区域沿着该第一导电层和该第二区域连续地接触。

11.如权利要求10所述的多层布线衬底的制造方法，其中

第一区域是形成为疏水区域，并且其中

第二区域是形成为亲水区域。

12.如权利要求10所述的多层布线衬底的制造方法，其中形成第二导电层包括利用喷墨方法以提供接触孔，以及将包含导电材料的功能液体干燥而形成第二导电层。

13.如权利要求10所述的多层布线衬底的制造方法，其中形成接触孔包括通过照射激光以去除层间绝缘层上被激光照射的部分而形成接触孔。

14.如权利要求13所述的多层布线衬底的制造方法，其中激光在其中心部分具有相对于末端部分更高的能量，其中

甚至在层间绝缘层被去除之后，激光还照射在第一导电层上，并且其中

进行处理，使第一导电层的接触孔之内的中心区域的表面粗糙度或晶粒直径相对于其末端部分的附近的更大。

15.如权利要求10所述的多层布线衬底的制造方法，其中施加能量是通过照射紫外光进行的，并且其中

该紫外光是在第二区域暴露并且第一区域被光掩膜覆盖的同时照射的，以形成第二区域，第二区域的表面能相对于第一区域更高。