[发明专利]载板结构与芯片封装结构及其制作方法有效
申请号: | 201210185104.5 | 申请日: | 2012-06-06 |
公开(公告)号: | CN103474401A | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 曾子章;江书圣;陈宗源;程石良 | 申请(专利权)人: | 欣兴电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/13 | 分类号: | H01L23/13;H01L21/48;H01L23/498 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种载板结构与芯片封装结构及其制作方法。载板结构包括复合基板、第一与第二介电层、第一与第二导通孔、第一与第二埋入式线路层。复合基板包括第一与第二基板。第一基板具有第一表面与第二表面。第二基板具有第三表面与第四表面。第二表面与第四表面接合。第一介电层与第二介电层分别配置于第一表面与第三表面上。第一导通孔与第二导通孔分别配置于第一介电层与第二介电层中。第一埋入式线路层配置于第一介电层中并与第一导通孔连接。第二埋入式线路层配置于第二介电层中并与第二导通孔连接。 | ||
搜索关键词: | 板结 芯片 封装 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种载板结构,包括:复合基板,包括第一基板与第二基板,其中该第一基板具有彼此相对的第一表面与第二表面,该第二基板具有彼此相对的第三表面与第四表面,且该第二表面与该第四表面接合;第一介电层,配置于该第一表面上,并具有第一导通孔;第二介电层,配置于该第三表面上,并具有第二导通孔;第一埋入式线路层,配置于该第一介电层中,并与该第一导通孔连接,其中该第一埋入式线路层的表面与该第一介电层的表面齐平;第二埋入式线路层,配置于该第二介电层中,并与该第二导通孔连接,其中该第二埋入式线路层的表面与该第二介电层的表面齐平;第一保护层,配置于该第一介电层上,且暴露出部分该第一埋入式线路层;以及第二保护层,配置于该第二介电层上,且暴露出部分该第二埋入式线路层。
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