[发明专利]一种纳米尺度器件散热特性的测试结构和测试方法有效
| 申请号： | 201210005993.2 | 申请日： | 2012-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN102569261A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 黄如;林增明;王润声;邹积彬;孙帅 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;G01N21/65 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 贾晓玲 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公布了一种纳米尺度器件散热特性的测试结构和测试方法。结构包括源(1)、漏(2)、栅(3)三部分，源(1)和漏(2)之间有一根悬空纳米线(5)；栅(3)和漏(2)之间有绝缘层(6)；该结构采用围栅结构，栅(3)的一端与一个接线板(4)相连。由源端开始一直到栅，每隔一段距离在纳米线上取一个点，采用高功率激光依次给纳米线上各个点加热，通过所测得的各个点的拉曼光谱的峰移，计算出每个点与源、漏端之间的温差，进而求得每个点的温度；计算由栅这条路径的总的热阻RTHG和从栅到漏端之间的纳米线热阻RTHD；比较RTHG和RTHD的大小，找出主要散热路径。根据测试结果可以对纳米尺度器件的散热途径进行改善，从而提高器件的特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 尺度 器件 散热 特性 测试 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米尺度器件散热特性的测试结构，包括源(1)、漏(2)、栅(3)三部分，其特征是，其中源(1)和漏(2)之间有一根悬空纳米线(5)；栅(3)和漏(2)之间有绝缘层(6)；所述结构采用的是围栅结构，即栅(3)将纳米线(5)包围起来，栅(3)的一端与一个接线板(4)相连。
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