[发明专利]气相沉积材料源及其制造方法有效
| 申请号： | 201180072857.9 | 申请日： | 2011-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN103930589A | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | M.朗;M.格斯多夫;B.P.戈皮 | 申请（专利权）人： | 艾克斯特朗欧洲公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/22;C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 曲莹 |
| 地址： | 德国黑*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于气相沉积工艺中的气相沉积材料源和用于形成气相沉积材料源的方法，所述气相沉积材料源包括：传导性三维开孔式网状结构；以及通过气相沉积而气相沉积到传导性三维开孔式网状结构上的选定的气相沉积材料的固体涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 材料 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于气相沉积工艺中的气相沉积材料源，包括：(a)特别是导电的三维开孔式网状结构；以及(b)通过气相沉积而沉积到传导性三维开孔式网状结构上的选定的气相沉积材料的固体涂层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于艾克斯特朗欧洲公司，未经艾克斯特朗欧洲公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180072857.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 一种高整流比有机复合薄膜的制备方法-201910720397.4
- 蓝碧健 - 太仓碧奇新材料研发有限公司
- 2019-08-06 - 2019-11-12 - C23C14/12
- 本发明属于半导体技术领域，具体为一种高整流比有机复合薄膜的制备方法。本发明提出的方法是在铝箔上依次真空蒸镀2‑(4‑咔唑‑l‑基‑苯基)‑1H‑苯并咪唑、6R,7R)‑7‑氨基‑3‑［2‑(4‑甲基‑5‑噻唑)乙烯基］‑8‑氧代‑5‑硫‑1‑氮杂双环［4.2.0］辛‑2‑烯‑2‑羧酸、2‑(2‑乙氧基苯基)‑5‑甲基‑7‑丙基‑3H‑咪唑并[5,1‑f][1,2,4]三嗪‑4‑酮、7,8‑二羟基‑3‑(3’,4’,5’‑三甲氧基苯基)香豆素、铝，得高整流比有机复合薄膜，该有机复合薄膜的整流比为591万~632万。
- 一种超薄层状有机分子铁电薄膜的制备方法以及该铁电薄膜的应用-201811310771.5
- 王欣然;吕未;吴冰;游雨蒙 - 南京大学
- 2018-11-06 - 2019-10-15 - C23C14/12
- 本发明公开一种超薄层状有机分子铁电薄膜的制备方法以及该铁电薄膜的应用，该铁电薄膜的制备方法为：将石墨烯或氮化硼的二维层状材料转移到硅片表面、作为衬底，并以高氯酸咪唑粉末作为生长源；将生长源和衬底置于管式炉的石英管中，两者间隔距离放置，对石英管抽真空；启动管式炉，加热炉体至生长源位置处温度为100～110℃、保温1～2h，生长源通过气相挥发，在石墨烯或氮化硼上沉积形成高氯酸咪唑铁电薄膜。通过有机分子薄膜之间以及有机分子与衬底之间微弱的范德瓦尔斯力作用，采用气相沉积，可得到分子级厚度的超薄层铁电薄膜，并在超薄层薄膜中发现优良的铁电性，其厚度最小可为单分子层(1.2nm)，可应用于铁电场效应晶体管、铁电存储器等电子元器件。
- 材料沉积布置、真空沉积系统和沉积材料的方法-201480084154.1
- 托马斯·格比利;乌韦·许斯勒;乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波;安德烈亚斯·勒普 - 应用材料公司
- 2014-12-17 - 2019-10-15 - C23C14/12
- 提供一种用于在真空腔室(110)中于基板(121)上沉积蒸发材料的材料沉积布置(100)。所述材料沉积布置(100)包括用于提供要蒸发的材料的坩埚(102、102a、102b)、与坩埚(102、102a、102b)流体连通的线性分配管(106、106a、106b)和分配管(106、106a、106b)中用于将蒸发材料引导至真空腔室(110)的多个喷嘴。各喷嘴(400)可具有用于接收蒸发材料的喷嘴入口(401)、用于将蒸发材料释放至真空腔室的喷嘴出口(403)、以及位于喷嘴入口(401)与喷嘴出口(403)之间的喷嘴通道(402)。多个喷嘴中的至少一个的喷嘴通道(402)包括具有第一区段长度(412)和第一区段尺寸(411)的第一区段(410)和具有第二区段长度(421)和第二区段尺寸(421)的第二区段(420)。第二区段尺寸(421)与第一区段尺寸(411)的比率在2和10之间。
- 用于运输沉积源的设备和方法-201680085495.X
- 斯蒂芬·班格特;奥利弗·海默尔;迪特尔·哈斯;托马索·维尔切斯 - 应用材料公司
- 2016-05-18 - 2019-09-13 - C23C14/12
- 提供一种用于非接触式运输沉积源的设备。设备包括沉积源组件。沉积源组件包括沉积源。沉积源组件包括第一主动磁性单元。设备包括在源运输方向上延伸的引导结构。沉积源组件沿引导结构是可移动的。第一主动磁性单元与引导结构经构造以用于提供第一磁浮力以悬浮沉积源组件。
- 用于为CVD或者PVD装置产生蒸气的设备和方法-201580035081.1
- M.朗;B.I.贝卡德;C.克里默;K-H.特林本;A.艾克勒;A.波奎 - 艾克斯特朗欧洲公司
- 2015-06-17 - 2019-09-03 - C23C14/12
- 本发明涉及一种用于在CVD或者PVD装置中产生蒸气的设备和方法，其中，在固体的或者液体的颗粒上通过与单级或者多级蒸发装置(1、2)的、升至蒸发温度的第一热传导面的接触传递蒸发热，并且载体气沿其流动方向将由颗粒的蒸发产生的蒸气从蒸发装置(1、2)输送出。根据本发明蒸气由载体气运输穿过沿流动方向布置在蒸发装置(1、2)之后的单级或者多级的具有第二热传导面的调制装置(3、4)，该第二热传导面在蒸汽供应阶段被温度控制为第一调制温度，在第一调制温度下蒸气穿过调制装置(3、4)而不冷凝在第二热传导面上，并且所述第二热传导面中断阶段中被温度控制到第二调制温度，在第二调制温度下蒸气的至少一部分冷凝在第二热传导面上。冷却通过冷却气进行。
- 有机层沉积组件、沉积装置及有机发光显示装置制造方法-201510368557.5
- 李东规;金茂显;李丙国 - 三星显示有限公司
- 2015-06-29 - 2019-08-30 - C23C14/12
- 本发明的实施方式公开了有机层沉积组件、有机层沉积装置及有机发光显示装置的制造方法。该有机层沉积组件用于将沉积物质沉积到衬底上，其特征在于，包括放射所述沉积物质的沉积源、布置于沉积源的一侧并且形成有多个沉积源喷嘴的沉积源喷嘴部、以及布置成与沉积源喷嘴部相对并且形成有多个图案化狭缝的图案化狭缝片，其中，衬底形成为与有机层沉积组件一定程度地相隔开以能够相对于有机层沉积组件相对移动，从沉积源放射的沉积物质通过图案化狭缝片并在衬底上形成图案的同时被沉积，多个图案化狭缝包括供沉积物质通过的多个开口部和形成于多个开口部之间的肋，多个肋的宽度为0.6mm至0.7mm。
- 一种用于制备羰基金属包覆式微纳米核壳粉体的系统及方法-201910544096.0
- 刘渊 - 中国人民解放军火箭军工程大学
- 2019-06-21 - 2019-08-27 - C23C14/12
- 本发明提供的一种用于制备羰基金属包覆式微纳米核壳粉体的系统及方法，包括金属有机化合物供应系统和流化反应系统，包括金属有机化合物供应系统和流化反应系统，其中，金属有机化合物供应系统包括蒸发反应釜和数显恒温加热装置，其中，数显恒温加热装置用于向蒸发反应釜加热，蒸发反应釜的蒸汽出口连接流化反应系统的入口；流化反应系统包括流化床反应器和温度控制装置，其中，流化床反应器顶部的蒸汽入口连接蒸发反应釜的蒸汽出口；温度控制装置用于向流化床反应器提供热源；本发明具有连续工作、操控简单、易于检修、工作稳定、生产效率高等特点，适合进一步推广使用。
- 一种有机材料蒸镀设备和方法-201610480217.6
- 胡海兵 - 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
- 2016-06-27 - 2019-08-27 - C23C14/12
- 本发明的实施例提供一种有机材料蒸镀设备和方法，涉及有机显示器制造技术领域，用于避免OLED制造过程中有机电致发光层厚度不均匀的问题，该设备包括：加热装置、蒸发装置、测量装置以及反射片；加热装置用于产生热能；蒸发装置用于通过加热装置产生的热能蒸发有机材料使有机材料在基板上形成有机材料膜层；测量装置用于实时监测有机材料膜层的厚度；反射片设置于有机材料膜层厚度较小的位置与加热装置和/或蒸发装置对应的位置，用于对接收的热能进行反射。本发明实施例用于显示设备的制造。
- 有机物沉积装置以及利用此的有机物沉积方法-201811357355.0
- 李侑钟;许明洙;郑成镐;韩尚辰;姜有珍;徐敏逵;韩种馩 - 三星显示有限公司
- 2018-11-15 - 2019-08-13 - C23C14/12
- 本发明公开一种有机物沉积装置以及利用此的有机物沉积方法。本发明的有机物沉积装置设置于真空腔室内，并包括：沉积物质供应部；容器部，存储从沉积物质供应部供应的沉积物质；气化部，在内部设置有使沉积物质气化的第一加热器；移送部，结合于容器部，借助直线往复运动而将容器部移送至所述气化部的内部；以及喷嘴部，与气化部分离布置，且借助连接管而与气化部连通，并具有向基板喷射沉积物质的通道。
- 在有机材料的蒸气喷射沉积期间调节流动的系统和方法-201510359509.X
- 格雷戈里·麦格劳;威廉·E·奎因;马修·金;小埃利奥特·H·哈特福特;西达尔塔·哈里克思希纳莫汉;本杰明·斯韦德拉夫;格雷格·科塔斯 - 环球展览公司
- 2015-06-25 - 2019-07-26 - C23C14/12
- 本申请涉及使用对流来空间控制蒸气冷凝。所公开的标的物的实施例提供方法和系统，其包括喷嘴、与所述喷嘴成流体连通的待沉积在衬底上的材料源、与待用所述喷嘴沉积的所述材料源成流体连通的递送气体源、邻近于所述喷嘴安置的排气通道、与所述喷嘴和所述排气通道成流体连通并且邻近于所述排气通道安置的约束气体源以及用以调节所述喷嘴的沉积喷嘴孔口与沉积靶之间的飞行高度分隔的致动器。对所述飞行高度分隔的调节可以停止和/或开始来自所述喷嘴的材料的沉积。
- 金属表面的覆膜形成方法-201780020283.8
- 三浦修平;千葉裕;粕谷昌弘;鈴木一孝;村松真希 - 株式会社东亚电化
- 2017-03-29 - 2019-07-12 - C23C14/12
- 本发明提供金属表面的覆膜形成方法，该方法可以在金属表面形成耐久性优异的高分子薄膜的均匀覆膜，且脱模性高，并且在维持薄膜表面的功能性的同时使薄膜经得起长期使用。一种金属表面的覆膜形成方法，其特征在于，对树脂表面照射粒子束，接着，使照射了粒子束后的树脂浸渍在下面的化学式1或化学式2所表示的三嗪硫醇衍生物以超过5g/l且为13g/l以下的浓度溶解而成的溶液中，由此制备树脂的表面被所述三嗪硫醇衍生物修饰的改性树脂，通过真空沉积法在金属表面上对该改性树脂进行成膜，接着，通过真空沉积法在改性树脂的成膜上对与用于利用三嗪硫醇衍生物修饰的所述树脂相同的树脂进行成膜，从而形成层压树脂层。
- 具有在多个位置处进料的稀释气体流的经调温的导气管-201580057372.0
- M.格斯多夫;M.道尔斯伯格;B.帕加达拉戈皮;M.朗 - 艾克斯特朗欧洲公司
- 2015-10-01 - 2019-06-04 - C23C14/12
- 本发明涉及一种在衬底(20)上沉积一个或多个特别是有机层的装置或方法，包括具有蒸发器(1',11')的工艺气体源(1,11)，在该蒸发器(1',11')中源调温器(2,12)产生源温度(T1,T1')，其中，向该蒸发器(1',11')中通入运载气体输入管线(4,14)，以将气态原料进料到第一输送管线(5,15)中，其中第一输送管线(5,15)可用管线调温器(7,17)调温，并且向第一输送管线(5,15)中通入第一稀释气体输入管线(8,18)，以将稀释气体流进料到第一输送管线(5,15)中，并且包括借助气体入口调温器(32)可调温至气体入口温度(T5)的气体入口机构(31)，该气体入口机构与第一输送管线(8,18)成管线连接，用该气体入口机构可将气态原料进料到工艺室(30)中，该工艺室具有承受器(35)，该承受器可借助承受器调温器(27)以这样的方式调温至承受器温度(T6)，使得位于承受器(35)上的衬底(20)上借助气态原料生长层。
- 具有抗菌能力的真空沉积用防水型纳米涂层剂及利用其的涂布方法-201680016858.4
- 金炫中;金洪徹;金正来;申美爱;李函娜;李受妍 - 株式会社世可
- 2016-03-18 - 2019-06-04 - C23C14/12
- 本发明涉及一种同时实现抗菌性和防水/防油性的功能性涂层剂、该涂层剂的制备方法及利用该涂层剂的涂布方法，具体地，涉及一种用于触摸型显示器等智能设备的使用卫生而为防水/防油性纳米涂布赋予抗菌性的涂层剂的制备及利用真空沉积设备的涂布方法。
- 一种电路板纳米防水膜的制备方法-201511007713.1
- 肖桥兵 - 广东易能纳米科技有限公司
- 2015-12-29 - 2019-05-17 - C23C14/12
- 本发明涉及电路板防水镀膜技术领域，具体涉及一种电路板纳米防水膜的制备方法，包括以下步骤：1）将待镀膜的电路板浸泡在电路板清洗剂中超声清洗，然后烘干，所述电路板清洗液由脂肪醇聚氧乙烯醚、氨基酸、5‑甲基苯并三氮唑和醇类溶剂组成，2）将待镀膜的电路板放入真空镀膜室，加热并抽真空；3）将镀膜原材料放入蒸发室，继续抽真空，镀膜原材料加热升华；4）连通蒸发室与裂解室，镀膜原材料升华进入裂解室裂解成活性单体；5）活性单体进入真空镀膜室，最后沉积在电路板的表面，得到防水膜层，其具有防水效果好、镀膜成本低、透气性好、散热性能高的特点。
- 一种物理气相沉淀柔性PI镀膜设备-201821495274.2
- 李建国;尚心德;张燕聪 - 福建新嵛柔性材料科技有限公司
- 2018-09-11 - 2019-04-23 - C23C14/12
- 本实用新型公开了一种物理气相沉淀柔性PI镀膜设备，包括支撑台和玻璃罩，所述玻璃罩位于支撑台上方，所述支撑台表面中间位置设有工作台，所述工作台外部固定连接防护罩，所述玻璃罩和支撑台连接处粘接有密封圈，所述玻璃罩外部对称设有减震装置且为固定连接，所述减震装置包括挡板、套筒、弹簧和活塞杆，所述支撑台底端通过伸缩支腿焊接万向轮。本实用新型设计新颖，结构简单，便于操作且使用效果好，便于对物料进行限位，使其在工作台和防护罩内部进行，便于清洁，通过设有减震装置，避免外界物体与玻璃罩直接撞击，减缓外界的冲击力，延长玻璃罩的使用寿命，适合被广泛推广和使用。
- 血管内导管之聚对二甲苯有机高分子薄膜镀膜方法-201710931666.2
- 黄乙中;陈百昭 - 拉奇企业股份有限公司;福建凯力美医疗器材有限公司
- 2017-10-09 - 2019-04-16 - C23C14/12
- 本发明公开了一种血管内导管之聚对二甲苯有机高分子薄膜镀膜方法，包括置入血管内导管于批次式等离子真空镀膜设备的舱体中并抽真空、施以等离子体技术、再次施以等离子体技术、置入血管内导管于聚对二甲苯有机高分子真空镀膜设备的舱体中并抽真空、以气相沉积的方式形成均匀的聚对二甲苯有机高分子薄膜于血管内导管的表面的孔隙内等步骤。藉此，可确实达到提升聚对二甲苯有机高分子薄膜与血管内导管之间的附着度、使奈米级的聚对二甲苯有机高分子薄膜能更紧密、均匀地包覆于血管内导管的表面的孔隙内的目的。
- 由用于CVD或PVD装置的多种液态或固态原材料产生蒸气的设备和方法-201580035075.6
- M.朗 - 艾克斯特朗欧洲公司
- 2015-06-16 - 2019-04-16 - C23C14/12
- 本发明涉及一种用于为CVD或PVD装置产生蒸气的方法和设备，第一导热体具有用于将蒸发热量传导在通过第一输入管路进料到第一导热体内的第一原材料的液态或固态颗粒上的导热面，通过颗粒的蒸发而产生的蒸气能够被运载气体沿运载气体的流动方向从第一导热体转移到第二导热体中，第二导热体沿运载气体的流动方向布置在第一导热体的后面，其中，第一导热体能够被加热到第一温度，第二导热体能够被加热到第二温度。第二输入管路直接通入到第二导热体内或之前，第二原材料的液态或固态颗粒通过第二输入管路能够进料到第二导热体内，从而能够将蒸发热量传导在所述颗粒上，通过颗粒的蒸发而产生的第二蒸气能够与第一蒸气一起被运载气体从第二导热体输送出。
- 有机物沉积装置及有机物沉积方法-201610808449.X
- 崔昌植;任暎;李塋钟;金省护;金宣焃;李程均;黄仁镐 - 铣益系统有限责任公司
- 2013-03-26 - 2019-04-05 - C23C14/12
- 公开了有机物沉积装置及有机物沉积方法，该装置包括：主腔室，划分成第一及第二沉积区域，第一基板从中心点沿着第一径向向第一沉积区域引入或从第一沉积区域引出，第二基板从中心点沿着第二径向向第二沉积区域引入或从第二沉积区域引出；第一及第二基板装载部，分别装载第一及第二基板，并分别使第一及第二基板旋转，使得第一及第二基板的一边与虚拟移动线段保持平行，虚拟移动线段为连接由第一径向形成的虚拟的第一径向线段及由第二径向形成的虚拟的第二径向线段各自的任意两点的线段；有机物沉积源，配置于主腔室内部，沿着移动线段移动，以位于第一或第二沉积区域，沿着垂直于移动线段的方向移动，以向第一或第二基板的表面喷射有机物粒子。
- 一种汽车纳米防水膜的制备方法-201511007740.9
- 肖桥兵 - 广东易能纳米科技有限公司
- 2015-12-29 - 2019-02-05 - C23C14/12
- 本发明涉及汽车防水镀膜技术领域，具体涉及一种汽车纳米防水膜的制备方法，包括以下步骤：1）对待镀膜的汽车元器件进行镀膜前清洗，然后烘干；2）将待镀膜的汽车元器件放入真空镀膜室，加热并抽真空，升华温度为175‑185℃，蒸发压力为25‑40Pa；3）将镀膜原材料放入蒸发室，继续抽真空，镀膜原材料加热升华；4）连通蒸发室与裂解室，镀膜原材料升华进入裂解室裂解成活性单体，裂解温度为670‑680℃，裂解压力为8‑10Pa；5）活性单体进入真空镀膜室，最后沉积在汽车元器件待镀膜表面，得到防水膜层，得到的纳米防水膜具有防水性能好，镀膜成本低、透气性好的特点。
- 一种石墨烯量子点化学活性诱导生长红荧烯薄膜的方法-201710231843.6
- 王丽娟;范思大;张梁;张沛沛;朱阳阳;尹丽;孙丽晶;李占国 - 长春工业大学
- 2017-04-11 - 2019-02-05 - C23C14/12
- 本发明是一种石墨烯量子点化学活性诱导生长红荧烯薄膜的方法，利用石墨烯量子点表面效应的高化学活性横向诱导红荧烯晶体生长的方法。在SiO2衬底（3）制备石墨烯量子点（1）诱导层，红荧烯分子（2）在石墨烯量子点（1）诱导下沿石墨烯量子点（1）边缘生长。其中石墨烯量子点（1）采用溶剂热法将改进Hummers法制备的氧化石墨烯置于220ºC高温高压反应釜中进行切割，再将石墨烯量子（1）点溶于乙醇中旋涂于SiO2衬底上进行烘干，石墨烯量子点（1）呈点状分布，接着红荧烯分子（2）沿着石墨烯量子点（1）边缘横向生长，逐渐铺满整个衬底，形成有序、均匀的红荧烯薄膜。该方法利于实现红荧烯的结晶性生长形成高有序的薄膜。
- 一种防指纹膜的镀膜方法-201710595359.1
- 王伟;张扬;常杰;范雪锋 - 深圳市一诺真空科技有限公司
- 2017-07-20 - 2019-01-29 - C23C14/12
- 本发明公开了一种防指纹膜的镀膜方法，该方法包括清理基板表面；在所述基板的表面制备氧化铝膜层，形成过渡层；在所述过渡层的表面制备氮化硅或碳化硅膜层，形成硬化层；在所述硬化层的表面制备氧化硅膜层，形成结合层；在所述结合层的表面制备防指纹层。通过该方法制备的防指纹膜硬度更高，抗擦伤性更好，显著提升了防指纹膜的性能，具有优异的膜层精度、硬度、抗擦伤性和附着性、天然的无残余应力特性、优越的加工稳定性、均匀性和重复性、9H”以上硬度的行业需求。
- 一种军工装备纳米防水膜的制备方法-201511007737.7
- 肖桥兵 - 广东易能纳米科技有限公司
- 2015-12-29 - 2019-01-18 - C23C14/12
- 本发明涉及军工装备防水技术领域，具体涉及一种军工装备纳米防水膜的制备方法，包括以下步骤：1）将军工装备待镀膜的表面利用清洗剂进行超声清洗、烘干；2）将待镀膜的军工装备放入真空镀膜室，加热并抽真空；3）将第一镀膜原材料放入蒸发室，继续抽真空，第一镀膜原材料加热升华，4）连通蒸发室与裂解室，最后沉积在军工装备的表面，得到防水膜层；5）往蒸发室加入第二镀膜原材料，继续加热蒸发、裂解，在防水膜层上镀上保护膜层，得到防水膜具有防水效果好、镀膜成本低、透气性好、热稳定性强、防腐蚀性能优异的特点。
- 一种具有快速OLED基板输送能力的OLED蒸镀设备-201811204495.4
- 曹云娟 - 常州市知豆信息科技有限公司
- 2017-12-08 - 2019-01-15 - C23C14/12
- 本发明涉及一种具有快速OLED基板输送能力的OLED蒸镀设备，包括沿水平方向前后分别设置的蒸镀工作装置和OLED基板送入装置，OLED基板送入装置具有与分隔环固定连接的空心电机外座，在空心电机外座的中心设有空心转动杯，空心转动杯的前端与分隔环的内环转动连接，在空心转动杯的中心设有旋转端盖，在旋转端盖的前端设有OLED基板固定装置。本发明改变原有的对基本平铺式排布的设计，变为环形筒状的排布，使得单个真空腔室内可以容纳更多的OLED基板，同时通过OLED基板的旋转产生类似于离心的作用，使得真空腔室内的蒸镀材料分子撞击基板的力度显著提升，在生产效率增加的同时还能够提升镀膜的均匀程度，整体结构密闭性好，降低污染的泄露。
- 一种蒸发源、组合蒸发源、蒸发源系统及蒸镀设备-201820779641.5
- 裴凤巍;赵子仪;张金中;黄俊杰 - 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
- 2018-05-23 - 2019-01-04 - C23C14/12
- 本实用新型公开了一种蒸发源、组合蒸发源、蒸发源系统和蒸镀设备。蒸发源包括坩埚本体和盖合在所述坩埚本体的第一端面上的端盖，所述端盖上设置有用于蒸镀材料蒸发时离开所述坩埚本体的出射口，其特征在于，所述坩埚本体的第二端面的横截面积小于所述第一端面的横截面积，所述第二端面为与所述第一端面相对的端面。该蒸发源通过将坩埚本体的第二端面的横截面积设置为小于第一端面的横截面积，降低了蒸镀材料的使用量和蒸镀材料余留量，降低了对蒸镀材料的浪费，降低了蒸镀的生产成本。组合蒸发源、蒸发源系统和蒸镀设备均包括该蒸发源。
- 在基板上沉积一种或多种材料的真空系统和方法-201780012216.1
- 奥利弗·海姆尔 - 应用材料公司
- 2017-04-28 - 2019-01-04 - C23C14/12
- 描述一种用于在基板上沉积一种或多种材料的真空系统(100)。真空系统(100)包括：第一运输系统(110)，经配置以在主要运输方向(P)上沿着主要运输路径(101)运输基板(10)；和至少一个沉积模块(104)，在相对于主要运输方向(P)的横向方向(T)上延伸。第一运输系统(110)经配置以在运输期间将基板(10)固持在基本上平行于横向方向(T)的取向上。此外，描述一种在基板上沉积、特别地通过蒸发来沉积一种或多种材料的方法。
- 一种蒸镀载板及蒸镀装置-201610225121.5
- 上官荣刚;孙力;王欣欣;马凯葓;万想 - 京东方科技集团股份有限公司
- 2016-04-12 - 2018-12-25 - C23C14/12
- 本发明公开了一种蒸镀载板及蒸镀装置，属于蒸镀设备领域。所述蒸镀载板包括载板和降粘部，所述降粘部设置在所述载板上，OLED基板通过敏感胶固定在所述载板的一侧表面上，所述降粘部用于在蒸镀完成后降低所述敏感胶的粘性。本发明通过降粘部在蒸镀完成后降低敏感胶的粘性，使OLED基板和蒸镀载板分离，避免通过外力使蒸镀载板和OLED基板分离而导致OLED基板发生变形、产生碎片或整体破碎的情况，进而避免影响生产节拍和产品良率。
- 壳体及该壳体的制作方法-201710415483.5
- 姜传华;张保申;戴祯仪 - 深圳富泰宏精密工业有限公司
- 2017-06-05 - 2018-12-11 - C23C14/12
- 本发明提供了一种壳体，所述壳体包括基材及依次形成于所述基材表面的陶瓷涂层及镀膜层，所述壳体还包括结合层，所述结合层位于所述陶瓷涂层和所述镀膜层之间，所述镀膜层通过真空镀膜形成于所述结合层表面，所述镀膜层为一氟化物镀膜层。所述壳体可有效解决陶瓷涂层的表面粗糙、不够光亮、抗污性能差等问题。本发明还提供了一种所述壳体的制作方法。
- 用于有机物蒸发镀膜机的蒸发源装置-201820453267.X
- 金炯;杨林;姜琼 - 杭州赛威斯真空技术有限公司
- 2018-04-02 - 2018-12-07 - C23C14/12
- 本申请公开了一种用于有机物蒸发镀膜机的蒸发源装置，包括设置在壳体内的坩埚、电热丝和热电偶，其特征在于：所述的热电偶设置在坩埚的底部，所述的坩埚上环形设置有第二孔，所述的电热丝通过第二孔绕在坩埚上，本申请具有以下特点:温度测量准确，使用寿命长，装置的集成度高。
- 用于有机物蒸发镀膜机的有机物束源炉-201820453844.5
- 金炯;杨林;姜琼 - 杭州赛威斯真空技术有限公司
- 2018-04-02 - 2018-12-07 - C23C14/12
- 本申请公开了一种用于有机物蒸发镀膜机的有机物束源炉，包括蒸发源、第二杆、连接件和集成法兰，所述的蒸发源连接所述的第二杆，第二杆穿过所述的连接件固定安装在所述的集成法兰上，其特征在于：还设置有升降装置，所述的升降装置包括旋钮、螺杆、导柱和螺母，所述的螺杆与所述的螺母固定连接，螺母固定安装在所述的集成法兰上，所述的螺杆设置在所述的导柱内部，在所述的连接件上还固定设置有刻度标尺，本申请具有以下特点:蒸发源可升降，可以清晰地了解目前调节的高度，而且使用方便，易于操作，提高镀膜的质量。
- 能够高分辨率印刷的通用型有机蒸气喷射沉积器和用于OVJP印刷的方法-201810520563.1
- 徐欣;G·麦格劳;W·E·奎因 - 环球展览公司
- 2018-05-28 - 2018-12-04 - C23C14/12
- 本申请涉及能够高分辨率印刷的通用型有机蒸气喷射沉积器和用于OVJP印刷的方法。提供OVJP沉积器和使用其的技术，其中递送和约束流的衬底平面内速度都不为零并且穿过两者之间的边界彼此平行。这些配置提供提高的材料利用效率和放松的飞行高度公差，同时实现可接受的印刷分辨率和特征均匀性。
- 专利分类
