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[发明专利]用于金属薄膜沉积的坩埚及用于金属薄膜沉积的蒸发源-CN201580085778.X有效
发明人：朴显植;崔在秀;吴泳晩 -专利权人： 铣益系统有限责任公司
申请日： 2015-12-21 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：根据本发明的一个方面，提供一种用于金属薄膜沉积的坩埚，上述用于金属薄膜沉积的坩埚使金属蒸发材料容纳且根据加热熔融和升华以在基板上形成金属薄膜，其特征在于，包括：主体部，具有上端开放的容器形状；及台阶部，从上述主体部的内壁向内侧延伸形成，以便在上述主体部内部的中心沿深度方向形成第一熔融孔，其中，以第一熔融孔为中心沿着上述台阶部同心地形成多个第二熔融孔。
用于金属薄膜沉积坩埚蒸发

[发明专利]有机物沉积装置及有机物沉积方法-CN201610808449.X有效
发明人：崔昌植;任暎;李塋钟;金省护;金宣焃;李程均;黄仁镐 -专利权人： 铣益系统有限责任公司
申请日： 2013-03-26 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： C23C14/12 文献下载
摘要：公开了有机物沉积装置及有机物沉积方法，该装置包括：主腔室，划分成第一及第二沉积区域，第一基板从中心点沿着第一径向向第一沉积区域引入或从第一沉积区域引出，第二基板从中心点沿着第二径向向第二沉积区域引入或从第二沉积区域引出；第一及第二基板装载部，分别装载第一及第二基板，并分别使第一及第二基板旋转，使得第一及第二基板的一边与虚拟移动线段保持平行，虚拟移动线段为连接由第一径向形成的虚拟的第一径向线段及由第二径向形成的虚拟的第二径向线段各自的任意两点的线段；有机物沉积源，配置于主腔室内部，沿着移动线段移动，以位于第一或第二沉积区域，沿着垂直于移动线段的方向移动，以向第一或第二基板的表面喷射有机物粒子。
有机物沉积装置方法

[发明专利]具备多个坩埚的薄膜沉积装置-CN201480080480.5有效
发明人：吴泳晚;崔在秀;李淳哲;金秀彬;金明洙;李荣钟;宋基民;朴荣信;徐泰源;裵荣陈;金政泽;李程均 -专利权人： 铣益系统有限责任公司
申请日： 2014-07-10 - 公布日： 2018-12-14 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种薄膜沉积装置，其包括：沉积腔室，在其内部支撑有基板；分配管，其通过形成于上部的多个喷嘴喷射由用于收容待沉积到所述基板上的沉积材料的多个坩埚汽化的沉积材料；分配管加热器，其被独立设置为面向所述分配管的外表面以加热所述分配管；坩埚加热器，其用于通过加热所述坩埚而使所述沉积材料汽化；和上部板，其具有与所述喷嘴对应的排出口并被设置于所述分配管的上部，所述薄膜沉积装置具有如下效果：能够通过缩减坩埚的高度来降低腔室的高度，并且能够通过使对基板的左/右沉积彼此独立而进行对称或非对称沉积。
具备坩埚薄膜沉积装置

[发明专利]具备多个蒸发源的薄膜沉积装置-CN201480080490.9有效
发明人：金明洙;金政泽;金钟真;李荣钟 -专利权人： 铣益系统有限责任公司
申请日： 2014-07-10 - 公布日： 2018-12-14 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种薄膜沉积装置，其包括：沉积腔室，在内部支撑有基板；多个坩埚，用于收容待沉积到所述基板上的沉积材料；多个分配管，与所述坩埚分别结合并被配置成一列以通过多个喷嘴喷射经汽化的沉积材料；间隔壁，被设置于所述分配管之间并限定经汽化的沉积材料的喷射范围以实现沉积到所述基板上的薄膜的均匀度；分配管加热器，被独立设置为面向所述分配管的外表面以加热所述分配管；坩埚加热器，用于通过加热所述坩埚而使所述沉积材料汽化；和上部板，具有与所述喷嘴对应的排出口并被设置于所述分配管的上部，所述薄膜沉积装置能够通过缩减坩埚的高度来降低腔室的高度，并且能够使对基板的左/右沉积彼此独立而进行对称或非对称沉积。
具备蒸发薄膜沉积装置

[发明专利]蒸发源移送单元、蒸镀装置及蒸镀方法-CN201380081651.1有效
发明人：尹钟甲 -专利权人： 铣益系统有限责任公司
申请日： 2013-12-16 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开蒸发源移送单元、蒸镀装置及蒸镀方法。本发明的蒸发源移送单元包括下侧轨道，包括线形的第一轨道、线形的第二轨道及曲线的第三轨道，线形的第一轨道垂直于从一个中心点横穿蒸镀腔室的虚拟的第一放射方向，线形的第二轨道垂直于从中心点横穿蒸镀腔室的虚拟的第二放射方向相垂直，曲线的第三轨道连接第一轨道和第二轨道；上侧轨道，包括线形的第四轨道、线形的第五轨道及曲线的第六轨道，线形的第四轨道与第一轨道相隔开来形成平行，线形的第五轨道与第二轨道相隔开来形成平行，曲线的第六轨道连接第四轨道和第五轨道；移送部，线形的蒸发源以相对于下侧轨道和上侧轨道形成垂直的方式结合，移送部沿着下侧轨道和上侧轨道进行往复移动。
蒸发移送单元装置方法

[发明专利]有机物沉积装置及利用该装置的有机物沉积方法-CN201380042123.5有效
发明人：崔昌植;任暎;李塋钟;金省护;金宣焃;李程均;黄仁镐 -专利权人： 铣益系统有限责任公司
申请日： 2013-03-26 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明公开了有机物沉积装置及利用该装置的有机物沉积方法。本实施例的有机物沉积装置包括主腔室，划分成第一沉积区域和第二沉积区域，第一基板从一个中心点沿着第一径向向上述第一沉积区域引入或从上述第一沉积区域引出，第二基板从上述中心点沿着第二径向向上述第二沉积区域引入或从上述第二沉积区域引出；第一基板装载部，用于向上述第一径向装载并安置上述第一基板；第二基板装载部，用于向上述第二径向装载并安置上述第二基板；扫描仪，包括线形的有机物沉积源，用于喷射有机物粒子；源移动单元，与上述有机物沉积源相结合，并使上述有机物沉积源沿着上述第一基板或上述第二基板的表面进行直线移动，以便向上述第一基板或上述第二基板的表面喷射上述有机物粒子；旋转单元，使上述源移动单元进行旋转，以使上述线形的有机物沉积源与上述第一基板或上述第二基板的一边保持平行；以及扫描仪移动单元，使上述扫描仪进行往返移动，以使上述扫描仪位于上述第一沉积区域或上述第二沉积区域。
有机物沉积装置利用方法

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