[发明专利]硅氧烷聚合物组合物、固化膜以及固化膜的形成方法有效
| 申请号： | 201110288607.0 | 申请日： | 2011-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN102566278A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 上田二朗;一户大吾 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 11216 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅氧烷聚合物组合物、固化膜以及固化膜的形成方法。本发明的课题在于提供一种硅氧烷聚合物组合物，该硅氧烷聚合物组合物适合喷出喷嘴式涂布法，没有涂布不均，外观优异，而且可以实现高度平整性(膜厚均匀性)和高速涂布，且可以形成透明性、耐擦伤性优异的作为保护膜和层间绝缘膜的固化膜。一种硅氧烷聚合物组合物，其包含：[A]具有自由基反应性官能团的硅氧烷聚合物，[B]自由基聚合引发剂，以及[C]有机溶剂；其中，固体成分浓度为5质量％以上、30质量％以下，25℃时的粘度为2.0mPa·s以上、10mPa·s以下，而且作为[C]有机溶剂至少包含(C1)20℃时的蒸气压是0.1mmHg以上、不足1mmHg的有机溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 硅氧烷 聚合物 组合 固化 以及 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种硅氧烷聚合物组合物，其包含：[A]具有自由基反应性官能团的硅氧烷聚合物，[B]自由基聚合引发剂，以及[C]有机溶剂，其中，固体成分浓度为5质量％以上30质量％以下，25℃时的粘度为2.0mPa·s以上、10mPa·s以下，而且作为[C]有机溶剂至少包含(C1)20℃时的蒸气压是0.1mmHg以上、不足1mmHg的有机溶剂。
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