[发明专利]硅氧烷聚合物组合物、固化膜以及固化膜的形成方法

说明书

技术领域

本发明涉及硅氧烷聚合物组合物、固化膜以及固化膜的形成方法。

背景技术

显示元件中一般基于使层状地配置的布线间绝缘的目的而设置层间绝缘膜。作为层间绝缘膜的形成材料，为了得到必要的图案形状的工序数少，而且得到的层间绝缘膜要求高度的平整性，所以广泛使用正型放射线敏感性组合物，还开发出了成本方面有利的负型放射线敏感性组合物(参照日本特开2000-162769号公报)。

另外，在液晶显示元件等的制造工序中，由于进行溶剂的浸渍处理以及高温处理，所以为了防止液晶显示元件劣化，会设置保护膜。因此，保护膜要求平整性、透明性、足够的表面硬度(耐擦伤性等)等。作为保护膜的形成材料公开了使用透明性等优异的硅氧烷聚合物类材料的技术(参照日本特开2000-001648号公报、日本特开2006-178436号公报、日本特开2008-248239号公报)。但是，目前的硅氧烷聚合物类材料无法满足平整性、表面硬度等性能，希望开发出改善各种性能的硅氧烷聚合物类放射线敏感性组合物。

另一方面，广泛使用触摸屏。触摸屏内部也需要用于保护元件的保护膜以及使微细的布线间绝缘的绝缘性固化膜。为了制造上述这种液晶显示元件以及触摸屏，根据其目的和工序，使用各种放射线敏感性组合物，但从削减成本的观点出发，希望放射线敏感性组合物的统一化。

另外，在日本特开2002-131896号公报中公开了旋涂法作为在小型基板上涂布放射线敏感性组合物的方法。该旋涂法，是在基板中央滴加放射线敏感性组合物后旋转基板的涂布方法，通过旋涂法可以得到良好的涂布均匀性。但是，在通过旋涂法涂布到大型基板上时，具有旋转甩出而废弃的放射线敏感性组合物变多、高速旋转可能产生基板破裂、必须确保节拍时间等问题。另外，在用于更大型的基板时，为了在旋转时有必要的加速度，所以要求特制的电机，在制造成本方面是不利的。

因此，作为代替旋涂法的涂布方法，可以采用从喷嘴喷出放射线敏感性组合物涂布到基板上的喷出喷嘴式涂布法。喷出喷嘴式涂布法是使涂布喷嘴在一定方向上扫过，在基板上形成涂膜的涂布方法，与旋涂法相比，可以减少涂布必须的放射线敏感性组合物的量，而且还可以缩短涂布时间，在制造成本方面是有利的。然而，使用目前的放射线敏感性组合物通过喷出喷嘴式涂布法涂布时，有可能产生涂布不均，成为实现作为层间绝缘膜、保护膜等的性质而要求的高度平整性的障碍。另外，例如在日本特开2009-98673号公报中，虽然记载了该公报中记载的放射线敏感性组合物可以通过旋涂法以外的方法涂布的意思，但是没有具体公开合适的粘度、固体成分浓度、溶剂等，在实施例中也没有通过喷出喷嘴式涂布法等涂布。

根据这种情况，希望开发出合适喷出喷嘴式涂布法，没有涂布不均、外观优异，而且可以实现高度平整性(膜厚均匀性)和高速涂布，且可以形成透明性、耐擦伤性优异的固化膜的硅氧烷聚合物组合物。

【现有技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2000-162769号公报

【专利文献2】日本特开2000-001648号公报

【专利文献3】日本特开2006-178436号公报

【专利文献4】日本特开2008-248239号公报

【专利文献5】日本特开2002-131896号公报

【专利文献6】日本特开2009-98673号公报

发明内容

本发明是根据上述问题提出的，其目的在于提供没有涂布不均、外观优异，而且可以实现高度平整性(膜厚均匀性)和高速涂布、且可以形成透明性、耐擦伤性优异的作为保护膜和层间绝缘膜的固化膜的硅氧烷聚合物组合物。

为了解决上述问题而提出的本发明是一种硅氧烷聚合物组合物，其包含：

[A]具有自由基反应性官能团的硅氧烷聚合物(以下，也称作“[A]硅氧烷聚合物”)，

[B]自由基聚合引发剂，以及

[C]有机溶剂，

其中，固体成分浓度为5质量％以上30质量％以下，25℃时的粘度为2.0mPa·s以上10mPa·s以下，而且，

作为[C]有机溶剂至少包含(C1)20℃时的蒸气压是0.1mmHg以上、小于1mmHg的有机溶剂(以下，也称作“(C 1)有机溶剂”)。