[发明专利]半导体处理室的银反射件无效
| 申请号： | 200980105846.9 | 申请日： | 2009-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN101952946A | 公开（公告）日： | 2011-01-19 |
| 发明（设计）人： | 约瑟夫·M·拉内什;凯利·丘顿;马克·E·林塞;米沙·安·普莱沙;赛捷·伯塔 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/324 | 分类号： | H01L21/324;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;钟强 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭露在半导体处理室中反射来自灯的辐射的银反射件。此反射件可设置于灯管的套管中或灯头的部分。此银可为在套管或灯头上的涂层型式。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 处理 反射 | ||
【主权项】：
一种用于半导体处理室的反射件，其包含：反射件基板，设置于该处理室中以反射源自安装于该半导体处理室内的加热灯的辐射，该反射件基板包括设置于其上的含银反射层。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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