[发明专利]半导体装置的制法及其用于该制法的承载件无效
申请号: | 200710135989.7 | 申请日: | 2007-03-14 |
公开(公告)号: | CN101266933A | 公开(公告)日: | 2008-09-17 |
发明(设计)人: | 洪敏顺;蔡和易;黄建屏;曾文聪;萧承旭 | 申请(专利权)人: | 矽品精密工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56;H01L21/66;H01L23/12;H01L23/31 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体装置的制法及其用于该制法的承载件,是将结合有芯片的基板置入一承载件的开口中,该承载件形成有至少一贮存孔及检知孔,从而由该贮存孔注入胶料,使该胶料藉毛细现象充填入基板与承载件间的间隙,以由该检知孔是否充填有胶料而判断出基板与承载件间的间隙是否完全为胶料所充填;间隙已完全充填有胶料的则进行模压作业以形成包覆该芯片的封装胶体,再进行植球作业及切割作业以形成所欲的半导体装置。故由检知孔的提供,即能裸眼检知基板与承载件间的间隙是否已完全填充有胶料,而使检测作业成本降低,提升成品的良率,且不会增加封装成本。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 制法 及其 用于 承载 | ||
【主权项】:
1. 一种半导体装置的制法,包括下列步骤:将接置有芯片的基板设置于一承载件的开口中,该开口略大于该基板,以在该基板与承载件间形成一间隙,且在开口的周缘形成有至少一贮存孔及至少一与该贮存孔间隔开的检知孔;将胶料注入该贮存孔,以通过该间隙所提供的毛细现象,使胶料充填于间隙及检知孔中,并检视该检知孔中是否充填有胶料;形成一封装胶体以覆盖芯片、基板与间隙的全部及承载件的一部分;以及切割该封装胶体及基板以形成一具所欲尺寸的半导体装置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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