[发明专利]用于可靠性试验的速度老化能力的带有自我试验的成品率增强的失效分析载体

摘要

一种用于评估集成电路的制造工艺的试验载体，该载体用所设置的库驱动元件的更高效率的空间布局产生实施许多互连的电路，这些互连可以在制造工艺的最小设计参数下设计。这些元件可以设置成作为环振荡器工作，提高允许更高的频率电路试验的试验模块的有效电路频率，以及缩短用于进行寿命循环试验的时间。明显地对元件进行标记，并结合电隔离错误易发的电路节段使缺陷的识别的效率更高许多试验方法的可获得使根致失效的定位更快捷，进一步改进了制造工艺。

主权项

1.一种用于集成电路的试验载体，包括：多个单位延迟元件，其中每个所述单位延迟元件包括单位元件输入，单位元件输出，库驱动元件和互连模块，其中所述单位元件输入连接到所述库驱动元件，所述库驱动元件进一步连接到所述互连模块，所述互连模块进一步连接到所述单位元件输出，所述多个单位延迟元件互相串联连接，从所述单位延迟元件输出连到所述单位延迟元件输入，形成一个所述单位延迟元件链；连接到所述单位延迟元件链的前导单位延迟元件的单位元件输入的输入信号迹线；和连接到所述单位延迟元件链的最后单位延迟元件的单位元件输出的输出信号迹线。