专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果18个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]由杂质离子植入调整的通道半导体合金层成长-CN201410336601.X有效
  • R·严;J·舍尼凯斯;J·亨治尔 - 格罗方德半导体公司
  • 2014-07-15 - 2017-11-17 - H01L21/336
  • 本发明涉及由杂质离子植入调整的通道半导体合金层成长,提供一种改良的方法,用于形成薄的半导体合金层在半导体层顶部上。所提出的方法是依靠在实行半导体合金薄膜沉积之前,适当的杂质物种的植入。对在沉积之后在该装置表面上实行湿式和干式蚀刻而言,该植入的物种使得该半导体合金层较为稳定。因此,若在实行该植入之后沉积该薄膜,可以实质地增加该半导体合金层薄膜的厚度均匀性。另一方面,已发现某些植入的杂质会降低该半导体合金层的成长速率。因此,通过选择性地植入适当的杂质在晶圆的预定区域中,可使用单一的沉积步骤来形成具有可以局部任意调整的厚度的半导体合金层。
  • 杂质离子植入调整通道半导体合金成长
  • [发明专利]氟掺杂信道硅锗层-CN201410097863.5有效
  • N·萨赛特;R·严;J·亨治尔;S·Y·翁 - 新加坡商格罗方德半导体私人有限公司
  • 2014-03-17 - 2017-08-08 - H01L29/08
  • 本发明涉及一种氟掺杂信道硅锗层,其中,所揭示的是用于在信道硅锗(cSiGe)层具有改良型接口粗糙度的P型信道金属氧化物半导体场效晶体管(PMOSFET)的形成方法以及所产生的装置。具体实施例可包括在衬底中指定作为信道区的区域,在所指定信道区之上形成信道硅锗层,以及将氟直接植入到信道硅锗层内。具体实施例或可包括将氟植入到硅衬底中被指定为信道区的区域内,在所指定信道区之上形成信道硅锗层,以及加热硅衬底和信道硅锗层以将氟扩散到信道硅锗层内。
  • 掺杂信道硅锗层
  • [发明专利]利用氟掺杂技术形成集成电路系统的方法-CN201410079169.0无效
  • J·亨治尔;T·巴尔策;R·严;N·萨赛特 - 格罗方德半导体公司
  • 2014-03-05 - 2014-09-10 - H01L21/265
  • 本发明涉及利用氟掺杂技术形成集成电路系统的方法,提供一种用于形成半导体装置的方法,其包含下列步骤:提供栅极结构于半导体基板的有源区中,其中该栅极结构包含有高k材料的栅极绝缘层、栅极金属层及栅极电极层,形成邻近该栅极结构的侧壁间隔体,以及之后,执行氟植入工艺。也提供一种用于形成CMOS集成电路结构的方法,其包含下列步骤:提供有第一有源区及第二有源区的半导体基板,形成第一栅极结构于该第一有源区中以及第二栅极结构于该第二有源区中,其中每个栅极结构包含有高k材料的栅极绝缘层、栅极金属层及栅极电极层,形成邻近该第一及该第二栅极结构的每一个的侧壁间隔体,以及之后,执行氟植入工艺。
  • 利用掺杂技术形成集成电路系统方法

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top