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[发明专利]一种用于管芯制造的顶针分布图案的设计方法和设备-CN202310939558.5在审
发明人：李霁秋;何佳孟 -专利权人： 英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司
申请日： 2023-07-28 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G06F30/392 文献下载
摘要：本公开提供了一种用于管芯制造中的顶针分布图案设计的方法，包括：接收用于设计顶针的分布的网格参数和约束条件；基于所述网格参数提供分布网格；基于所述约束条件，通过迭代算法，在所述分布网格上提供所述分布图案的所有选项；针对所述分布图案的每个选项，采用顶针分布均匀性评价方法，确定所述顶针的分布最均匀的最优分布图案，以及输出所述最优分布图案。
一种用于管芯制造顶针分布图案设计方法设备

[发明专利]晶圆级自动检测方法、设备及系统-CN202010237519.7有效
发明人：熊道涵 -专利权人： 英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本公开涉及晶圆及管芯检测技术，更具体地，涉及晶圆级自动检测方法、设备及系统。根据本公开的一方面，提供了一种自动检测方法，包括：采集待检测的晶圆的信息；基于所述待检测的晶圆的信息生成整个所述晶圆的待检测位置；基于所述晶圆的待检测位置以获得所述待检测位置所对应的每侧的测量数据；采集切割工艺所对应的规格限制信息；基于所述规格限制信息和所述待检测位置所对应的每侧的测量数据来检测所述晶圆上的管芯是否存在缺陷。
晶圆级自动检测方法设备系统

[发明专利]用于对流体阀进行操作的方法及系统-CN202210285807.9有效
发明人：李辉 -专利权人： 英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司
申请日： 2022-03-22 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： F16K11/07 文献下载
摘要：本申请提供了一种用于对流体阀进行操作的方法。该方法包括对流体阀执行第一调节方法，在该第一调节方法中：绕着纵向中心轴线调节阀杆在流体室中的定向，并且在调节期间监测检查气体离开流体阀的泄露；在检查气体的泄露小于第一预定阈值时，停止调节阀杆的定向并将第二驱动机构中的驱动气体压力从第一预定压力值增大到第三预定压力值，以保持阀杆的定向。本申请还提供了一种用于对流体阀进行操作的系统，该系统用于实现前述的方法。根据本申请，能够快速且操作方便地纠正流体阀的阀杆在流体室中的定向偏斜，从而对流体阀进行维修，使得流体阀能够被再次使用。这能够节约成本，并提高经济效益。
用于流体进行操作方法系统

[发明专利]用于校准涡流吸嘴的距离传感器的安装位置的工具和方法-CN202110179703.5有效
发明人：张思齐;王海泉 -专利权人： 英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供用于校准涡流吸嘴的距离传感器的安装位置的工具和方法。所述工具包括：形成有空腔的底座；可抽出地插入到所述空腔中的承载板，所述承载板上形成有三个凹腔，以分别用于承载陪片、裸片以及成品单元，在所述底座的顶部上与插入到所述空腔中的所述承载板上的所述凹腔对应的位置分别形成有通孔，用于接收所述涡流吸嘴的本体；以及安装到所述底座上的放大器，所述放大器能够与所述涡流吸嘴的距离传感器电连通，以便将所述距离传感器感测的信号进行放大并且转换成可读信息。根据本发明，可以提高涡流吸嘴的距离传感器的安装精度，从而改善光学距离传感器的测量精度并且提高生产效率。
用于校准涡流距离传感器安装位置工具方法

[实用新型]用于在机器间传输产品的SMEMA控制盒-CN202320148286.2有效
发明人：彭杰;杜朝安 -专利权人： 英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司
申请日： 2023-01-17 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G05B19/05 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于在机器间传输产品的SMEMA控制盒，包括基于SMEMA接口协议的通信线路连接的第一机器和第二机器；其中第一机器的第一端口与第二机器的第一端口电连接形成第一传输通路，以向第二机器传输传板信号；第二机器的第二端口与第一机器的第二端口电连接形成第二传输通路，以向第一机器传输传板反馈信号；还包括时间继电器和控制开关，时间继电器的输出触点接入所述第二传输通路中，被配置为通电后向所述第一机器传输所述传板反馈信号；控制开关连接至所述时间继电器的触发端，用于控制所述时间继电器的通断。当第二机器发生故障时，控制盒能够向第一机器发送传板反馈信号，使停留在第一机器内的产品被传出。
用于机器传输产品 smema 控制

[发明专利]用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手-CN202310607357.5在审
发明人：周宣名;夷长江 -专利权人： 英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司
申请日： 2023-05-26 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： B25J15/08 文献下载
摘要：提供一种用于转运晶片或芯片托盘的转运机的机械手，包括：安装到机械臂上的气缸组件；以及可移动地安装在所述气缸组件相反端部的一对夹持臂，所述夹持臂在气缸作用下能够相互相向移动以夹住所述托盘或者相互远离地移动以松开所述托盘；其特征在于，所述机械手还包括设置在所述一对夹持臂之间并且安装在所述气缸组件上的盖板，所述盖板朝向要夹持的所述托盘的一侧具有平坦的表面，并且所述盖板被设置成在所述机械手夹住所述托盘时盖在所述托盘上。根据本发明,可以将轻微移位的晶片或者芯片推回到托盘上的凹槽中、并且可以防止晶片或者芯片从托盘上的凹槽中移位或者飞出。因而，可以提高芯片成品率并且可以避免设备停机。
用于转运晶片芯片托盘机械手

[发明专利]用于加强筋的边缘检测的系统以及安装加强筋的方法-CN202310476673.3在审
发明人：龚海兰;宋杰 -专利权人： 英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本公开提供了一种用于加强筋的边缘检测的系统以及安装加强筋的方法。所述系统包括：拾取单元，其包括主体以及设置于所述主体的拐角处的多个吸附装置，至少所述主体的所述拐角处具有高反射区域；至少一个照明单元，其位于所述拾取单元下方且被配置为提供照明光源；图像采集单元，其位于所述照明单元下方且被配置为在通过所述拾取单元的多个吸附装置从上方吸附所述待检测的加强筋的相应拐角时采集图像；以及控制单元，其被配置为控制所述拾取单元、所述照明单元和所述图像采集单元且基于所采集的图像来确定所述加强筋的边缘，其中，当通过所述拾取单元的多个吸附装置从上方吸附所述加强筋的相应拐角时，所述高反射区域具有超出所述加强筋的外边缘的部分。
用于加强边缘检测系统以及安装方法

[发明专利]缺陷源识别方法与设备-CN202310063246.2在审
发明人：詹碧娟;唐宇杰 -专利权人： 英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司
申请日： 2023-01-19 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种缺陷源识别方法与设备。该方法包括获取至少一个对象的图像数据，其中所述图像数据包括位于所述对象的表面上的至少一个缺陷的缺陷特征；基于所述对象的标识获取针对所述对象的所述表面操作的多个操作工具的多个特征轮廓数据，其中，每个特征轮廓数据包括接触轮廓数据，所述接触轮廓表示所述操作工具操作所述对象时所述对象的所述表面上与所述操作工具发生接触的区域轮廓；以及基于所述缺陷特征和所述特征轮廓数据，从所述多个操作工具中识别导致所述至少一个缺陷中的一个或多个缺陷的对应的操作工具。
缺陷识别方法设备

[发明专利]用于检测半导体设备中的气体泄漏的装置、方法和计算机可读介质-CN202310374128.3在审
发明人：马雪峰;巫缘婷 -专利权人： 英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01M3/24 文献下载
摘要：提出了一种用于检测半导体设备中的气体泄漏的装置，包括：接收单元，其用于接收表示从沿着所述半导体设备的气路的第一位置处采集的声音的第一信号；泄漏确定单元，其用于基于所述第一信号确定在所述第一位置附近所述气路是否存在泄漏；以及警报单元，其用于响应于确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏，发出警报。能够在气体泄漏检测中避免检测人员的不适感和主观性，并且能够实现对微小泄漏的检测。
用于检测半导体设备中的气体泄漏装置方法计算机可读介质

[发明专利]用于补偿晶圆切割刀片的位置误差的方法-CN202310275515.1在审
发明人：刘安;彭睿博 -专利权人： 英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B28D5/02 文献下载
摘要：提供一种用于补偿晶圆切割刀片的位置误差的方法，包括：将粘附有切割胶带并且在切割胶带上贴附有需要被切割的晶圆的晶圆框架放置到吸盘上；利用切割刀片在晶圆外围的切割胶带空白区域上切割出切口；将切割刀片装在其上的移动部移动刀片对准距离，使得摄像机移动到切口上方；确定切口的中心线与摄像机的镜头中的对准线之间的偏差距离；以及根据偏差距离重新确定刀片对准距离的值。根据本发明，可以大大地降低芯片制造的成本，并且显著地提高晶圆的划片效率。
用于补偿切割刀片位置误差方法

[发明专利]用于给芯片测试单元的温控头上胶的装置-CN202110835859.4有效
发明人：毛宇成 -专利权人： 英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司
申请日： 2021-07-23 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： B05C9/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于给芯片测试单元的温控头上胶的装置，包括:把手；设置在所述把手一端的基座；可移动地设置在所述基座上并且能够在复位弹簧的作用下复位的刮胶器，所述刮胶器具有刮刀；设置在所述刮胶器上方并且装有丝网的上压板，所述刮刀能够对所述丝网上的胶进行刮涂；设置在所述刮胶器的与所述复位弹簧相反一侧并且抵靠所述刮胶器的推动装置；以及设置在所述把手上并且用于驱动所述推动装置的驱动机构。根据本发明，可以确保胶被快速均匀地涂敷到芯片测试单元的温控头上。
用于芯片测试单元温控头上胶装置

[发明专利]贴装头倾斜校正装置及校正方法-CN202310122508.8在审
发明人：李静飞 -专利权人： 英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种贴装头倾斜校正装置及校正方法，涉及半导体芯片封装测试技术领域，校正装置包括：底板；顶板，顶板位于底板上方且可相对于底板上下移动；顶板移动机构，顶板移动机构位于底板和顶板之间，用于驱动顶板上下移动并将顶板限定至任一水平高度；贴装头安装机构，贴装头安装机构安装于底板，用于固定待校正的倾斜贴装头；校正机构，校正机构安装于顶板，其包括与倾斜贴装头相抵的校正端，校正机构被配置为其校正端向下运动将倾斜贴装头校正至水平。本发明无需拆卸整个贴装头组件，仅需要校正机构的校正端与倾斜贴装头相抵，通过校正端的向下移动或者向下转动将倾斜贴装头校正水平，相较于更换贴装头组件方式更为高效和经济。
贴装头倾斜校正装置方法

[发明专利]管芯结构及其制作方法-CN202310297805.6在审
发明人：张天行;戴杨 -专利权人： 英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01L21/78 文献下载
摘要：本发明涉及从晶圆上切割管芯的方法及相应的管芯结构，这里晶圆包括由第一方向与第二方向的切片线分开的多个管芯，还包括位于所述切片线之下的硅层以及金属层。该方法包括利用第一能量密度激光脉冲扫描所述切片线以切割所述切片线及其下方的金属层以及硅层的一部分，其中所述第一能量密度激光脉冲在所述金属层产生等离子体；通过持续所述第一能量密度激光脉冲扫描来加热所述等离子体至第一温度，引起所述等离子体爆炸扩散以在所述硅层的所述一部分的表面上形成具有不规则表面粗糙度的表面。
管芯结构及其制作方法

[实用新型]对芯片测试座进行成像的装置的集成控制系统-CN202222402787.7有效
发明人：储飞;吴强 -专利权人： 英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司
申请日： 2022-09-09 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：提供一种对芯片测试座进行成像的装置的集成控制系统，所述集成控制系统包括用于控制相机的相机控制器、用于控制照明光源的照明控制器、以及用于将直流电从高压转换到低压并且给所述装置的相机和照明光源供电的电源转换器，其中，所述集成控制系统还包括：具有支承板的安装支架，所述支承板用于支承所述相机控制器、所述照明控制器和所述电源转换器；以及导流板；其中，所述相机控制器、所述照明控制器和所述电源转换器通过所述导流板被叠置在所述支承板上。根据本实用新型的集成控制系统可以大大地减小所占用的空间，并且显著地降低温度。
芯片测试进行成像装置集成控制系统

[实用新型]用于半导体器件测试的测试头-CN202222405324.6有效
发明人：鲜益民;邓博文 -专利权人： 英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于半导体器件测试的测试头，包括：包括金属基座的加热组件；用于移动加热组件的运动组件，包括：底座，其四个角落处的突出部上均设置有竖直嵌入其中的轴承；以及压力推进器，其四个角落处分别具有支撑柱以及突出设置的套管且通过支撑柱耦接于加热组件，每个套管内具有连通的上腔体和下腔体，下腔体的上下表面处分别设置有第一和第二间隔体，下腔体内设置有套筒，套筒的顶部和底部分别与第一和第二间隔体接触，每个套管套设于相应轴承，弹性部件在相应套管内套设于相应轴承；基板，运动组件设置于基板上；以及电阻器，连接于金属基座与基板之间；其特征在于，弹性部件盖、第一间隔体和第二间隔体由绝缘材料制成。
用于半导体器件测试

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