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[发明专利]一种激光剥离碳化硅晶锭的方法及装置-CN202211322500.8在审
发明人：侯煜;李曼;张喆;石海燕;张昆鹏;文志东;张紫辰 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明提供了一种激光剥离碳化硅晶锭的方法及装置，该方法先将超短脉冲激光光束透过碳化硅晶锭的第一端面后聚焦在碳化硅晶锭的设定深度层，在设定深度层的上方分别产生空洞改质形成区域和裂纹改质形成区域，并扫描形成空洞改质层和裂纹改质层。再将短脉冲激光光束透过碳化硅晶锭的第二端面后聚焦在空洞改质形成区域，在空洞改质形成区域散射传播，使短脉冲激光光束的热量作用于空洞改质形成区域，使裂纹改质形成区域内的裂纹横向向外生长，并扫描使空洞改质层中相邻的空洞改质形成区域内的裂纹通过横向生长连接在一起。减少改质层内的裂纹沿碳化硅晶锭纵向扩展的量和长度，增加横向裂纹生长的数量和裂纹生长长度，减少切割损耗厚度，减少浪费。
一种激光剥离碳化硅方法装置

[发明专利]基于神经网络滑模的机械臂预设性能轨迹跟踪控制方法-CN202211226788.9在审
发明人： 张昆鹏;孙艺倬;赵悦;许铁;王瑶;张世强;陈伟良;刘壮;李博厚;秦忠磊;孔德山;刘健行 -专利权人：国网黑龙江省电力有限公司伊春供电公司;哈尔滨工业大学;国家电网有限公司
申请日： 2022-10-09 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： B25J9/16 文献下载
摘要：基于神经网络滑模的机械臂预设性能轨迹跟踪控制方法，属于机器人控制技术领域。解决了现有机械臂控制方法存在控制器需求过大的控制力与有限的执行器能力相冲突,导致系统稳定性差、鲁棒性低的问题。本发明根据跟踪误差和预设性能函数，设计预设性能系统；获得预设性能系统的状态变量；根据机械臂控制系统输入的饱和误差，设计辅助系统；将预设性能系统的状态变量与辅助系统状态变量作差，获取转换误差；利用转换误差设计滑模函数；建立机械臂控制系统的动力学模型，利用滑模函数与机械臂控制系统的动力学模型，设计基于径向基神经网络的非奇异终端滑模控制策略，获得机械臂的输入控制力矩，实现对机械臂关节轨迹跟踪控制。本发明适用于机器人控制。
基于神经网络机械预设性能轨迹跟踪控制方法

[实用新型]一种种子加工用均匀烘干装置-CN202222799412.9有效
发明人： 张昆鹏 -专利权人：安徽萧新种业有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： F26B17/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种种子加工用均匀烘干装置，包括烘干箱，所述驱动电机的输出轴通过联轴器固定连接有绞龙，所述烘干箱的顶部固定安装有安装罩，多组所述连通管内均固定安装有风机，所述安装罩内设置有电加热丝；通过烘干箱、驱动电机、绞龙、安装罩、连通管、风机、电加热丝与过滤板进行配合，从而可通过驱动电机驱动绞龙转动，使绞龙对过滤板上的种子进行搅拌与输送，而在绞龙对种子搅拌与输送的过程中，通过风机可将空气吹向电加热丝，使电加热丝对空气进行加热后，并通过风机将加热后的空气吹向种子，以对种子进行烘干，从而可均匀的对种子烘干的同时，并且可持续的对种子进行烘干，进而可提高对种子的烘干效率。
一种种子工用均匀烘干装置

[发明专利]一种水利工程用水位监测装置-CN202211133522.X在审
发明人：王超烽;张昆鹏;刘朝阳;王吉;王润权;薛赛宇 -专利权人：王超烽;张昆鹏;刘朝阳;王吉;王润权;薛赛宇
申请日： 2022-09-18 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：本发明涉及水位监测技术领域，具体为一种水利工程用水位监测装置，包括底座，所述底座的顶部固定安装有支撑柱，所述支撑柱的内部设置有气缸，所述气缸输出轴的一端固定安装有连接架。本发明的优点在于：通过气缸、连接架、升降支撑板、电机、转轴、齿轮、固定锥、齿圈和传动链条之间的配合，能够使得升降支撑板下降进行支撑，固定锥能够转动钻入土壤的内部，能够对底座的位置固定的更加稳定同时能够支撑的更加稳定，防止水位监测装置在使用时位置发生偏移造成的监测结果出现偏差的情况发生，太阳能板和蓄电池之间的配合能够将太阳能进行收集并储存为气缸和电机提供能源的支持，节省能源更加绿色环保。
一种水利工程水位监测装置

[发明专利]一种裂片装置-CN202110078545.4有效
发明人：张喆;侯煜;李曼;王然;岳嵩;石海燕;张昆鹏;薛美;张紫辰 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-01-20 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种裂片装置，该裂片装置通过使第一裂片头的第一端面及第二端面的夹角不小于90度且小于180度，第一端面粘附晶圆膜，使第二裂片头抵压在晶圆膜的第一面上未覆盖晶圆的区域后，向第一裂片头方向推晶圆膜，使切割道断开。第二裂片头将晶圆膜向第一裂片头方向推晶圆膜时，第一裂片头一侧的晶圆膜不会产生或较小的产生拉伸，使位于该侧的晶圆不会或较少的受影响。位于第一裂片头另一侧的晶圆膜在第二裂片头的挤压下，发生拉伸，该侧的晶圆膜都向同一方向折弯并延伸。使覆盖有晶圆的部分晶圆膜仅在切割道处的折弯，防止晶圆切割道两侧的侧壁碰撞，防止晶圆崩边、晶圆的金属层断裂等不良缺陷，防止对晶圆表面的微电路结构造成损伤。
一种裂片装置

[实用新型]一种辣椒育种用发芽箱-CN202222755562.X有效
发明人： 张昆鹏 -专利权人：安徽萧新种业有限公司
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： A01C1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种辣椒育种用发芽箱，包括箱体，箱体正面铰接有正门，正门上设置有透明观察口，箱体的侧面和背面通过卡扣可拆卸的安装有侧门，箱体的顶部设置有凸块，上盖上设置有与凸块配合的凹槽，箱体内部设置有可拆卸的培育架和加热板；通过这样的设计，使得本实用新型的上盖、侧门和培育架都可以不借助工具的拆卸出来，使得使用者可以方便的对箱体内部进行清理，除去箱体内部异物，减少有害细菌的滋生；而且正门上设置的透明的观察口，方便使用者观察内部辣椒种子的培育情况，而且内部加热板的设置既可以对箱体内部进行恒温，也可以干燥透明观察口上水气，使得使用者可以正常观察箱体内部的情况。
一种辣椒育种发芽

[发明专利]一种呼叫中心对话系统评价方法及系统-CN202211244878.0在审
发明人： 张昆鹏;张文江;杨新;张天凤;雷晓伦;董霞;方翔;陈国柱;宋晓东;张伟;邱祥平;雷霆;杜渂;彭明喜;陈健 -专利权人：迪爱斯信息技术股份有限公司
申请日： 2022-10-12 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： G06Q30/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种呼叫中心对话系统评价方法及系统，包括：获取呼叫中心对话系统的通话数据集；当通话数据集中的通话数据使用人工服务时，计通话数据对应的通话评价分数为0；当通话数据集中的通话数据未使用人工服务时，计算通话数据的多轮对话次数；根据多轮对话次数、通话数据对应的系统回复、通话数据对应的系统状态、通话数据对应的参考回复空间，计算通话数据的字符通话评价分数、向量空间评价分数、困惑评价分数；根据通话数据集中每一个通话数据所对应的通话分数，计算系统评价分数；根据系统评价分数，优化呼叫中心对话系统。通过对于字符层级、向量空间层级、困惑层级三个不同层级的描述，提高了系统的扩展性。
一种呼叫中心对话系统评价方法

[发明专利]碳化硅切割方法-CN202211322496.5在审
发明人：文志东;侯煜;张喆;张昆鹏;李曼;石海燕;张紫辰 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： B23K26/57 文献下载
摘要：本发明提供一种碳化硅切割方法，包括：在碳化硅晶锭表面设置多条平行的加工路径；其中，每个加工路径具有多个加工点位；在每个加工路径的每个加工点位进行氢离子注入，以形成在竖直方向上排列的至少一个氢离子注入层；采用激光束对氢离子注入层沿每个加工路径按照多个加工点位的分布进行扫描，以实现碳化硅片的剥离。本发明提供的碳化硅切割方法，能够减小碳化硅切割过程中的材料损耗，提升碳化硅晶片的均匀性和良率，有利于较薄的碳化硅晶片的制备。
碳化硅切割方法

[发明专利]半导体陷光结构制备方法-CN202211154765.1在审
发明人：侯煜;文志东;岳嵩;王然;张喆;张昆鹏;李曼;石海燕;薛美;李朋;张紫辰 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体陷光结构制备方法，包括：采用两束激光在待处理材料上形成第一干涉光场，所述第一干涉光场的条纹沿第一方向分布，以使所述待处理材料表面形成沿第一方向分布的凹陷结构；采用两束激光在待处理材料上形成第二干涉光场，所述第二干涉光场的条纹沿第二方向分布，以使所述待处理材料表面形成沿第二方向分布的凹陷结构，所述第一凹陷结构和所述第二凹陷结构交叉使待处理材料表面形成阵列分布的锥形结构；采用高斯光斑对所述待处理材料表面的锥形结构进行激光诱导，以使所述锥形结构表面形成纳米级结构。本发明提供的半导体陷光结构制备方法，能够高效率的完成大规模陷光结构的制备。
半导体结构制备方法

[发明专利]陷光结构制备方法-CN202211154719.1在审
发明人：张紫辰;侯煜;文志东;王然;岳嵩;张昆鹏;张喆;李曼;石海燕;薛美;李朋 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种陷光结构制备方法，包括：当前加工行不是第一条加工行时，对当前加工行采用方形平顶光斑进行激光清洗处理；激光清洗处理完成后，采用圆形高斯光斑进行激光诱导加工；当前加工行为最后一个加工行时，在完成激光诱导加工后，采用方形平顶光斑对所有加工行进行激光清洗处理；其中，所述方形平顶光斑能量密度为所述圆形高斯光斑能量密度的1/20～2/15。本发明提供的陷光结构制备方法，能够通过激光清洗处理过程去除当前加工行的杂质堆积，降低对待处理材料的保护需求，减少危险化工物品的使用。
结构制备方法

[实用新型]用于变速器的通气塞及变速器-CN202222309945.4有效
发明人：孙鹏飞;景诗江;王乾;梁学礼;盛荣鑫;罗俊肖;秦凯峰;于步凡;刘方利;张昆鹏;王帅;李登辉;宋岩 -专利权人：蜂巢传动系统（江苏）有限公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： F16H57/027 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于变速器的通气塞及变速器。本实用新型的通气塞包括顶端和底端分别设有通气口和油气入口的主体，且主体内部形成有连通通气口和油气入口的通道；还包括设于通气口处的防水透气膜，防水透气膜将通气口遮蔽。而且，通道迂回设置，以使由油气入口进入的油气在通道内冷凝并回流到油气入口处。本实用新型的用于变速器的通气塞，通过在主体的内部设置迂回的通道，可使由油气入口进入通气塞的油气在通道的内壁上冷凝而回流，防止油气大量附着到通气口处的防水透气膜上，从而降低防水透气膜因被油气污染而失效的情况；防水透气膜在通气口处的设置，可防止外部的水进入通气塞，从而使通气塞在具备通气性能的同时具备防水性能。
用于变速器通气

[发明专利]黑硅的制备方法及装置-CN202211154726.1在审
发明人：文志东;侯煜;李曼;张喆;石海燕;张昆鹏;岳嵩;王然;薛美;李朋;张紫辰 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： B23K26/082 文献下载
摘要：本发明提供一种黑硅的制备方法及装置，包括：当前加工路径不是第一条加工路径时，对当前加工路径以方形平顶光斑进行至少一次激光清洗，以去除前一加工路径激光诱导过程中在当前加工路径沉积的杂质；对当前加工路径以圆形高斯光斑进行激光诱导，以使当前加工路径形成黑硅；其中，所述方形平顶光斑的能量密度是所述圆形高斯光斑能量密度的0.08～0.25倍。本发明提供的黑硅的制备方法及装置，能够在空气氛围下对硅片进行加工，在保持了黑硅性能的前提下，减少了对人体的伤害，降低了加工成本和设备的复杂性。
制备方法装置

[发明专利]制备黑硅的方法及装置-CN202211154781.0在审
发明人：侯煜;文志东;张昆鹏;李曼;石海燕;张喆;宋琦;许子业;岳嵩;王然;薛美;张紫辰 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： B23K26/082 文献下载
摘要：本发明提供一种制备黑硅的方法，包括：将待处理材料设置在空气氛围中；在待处理材料的表面依据第一间距设置多个加工行；采用方形平顶光斑对所述多个加工行依次进行诱导加工；其中，相邻两个加工行诱导加工过程中，具有方形平顶光斑边长十分之一以下的重复加工区域。本发明提供的制备黑硅的方法，能够在空气氛围中以高效率制备出黑硅。
制备方法装置

[发明专利]制备黑硅的晶圆调平方法-CN202211154764.7在审
发明人：张紫辰;文志东;侯煜;张昆鹏;石海燕;李曼;张喆;王然;岳嵩;薛美;李朋 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供一种制备黑硅的晶圆调平方法，包括：获取晶圆上三个测量点在三维直角坐标系中的坐标；所述三维直角坐标系的其中两个坐标轴水平设置；依据所述三个测量点的三维坐标，计算所述晶圆与三维直角坐标系的至少一条水平坐标轴的夹角；依据所述夹角，控制承载晶圆的承载平台的对应的旋转轴旋转，以使所述晶圆与所述至少一条水平坐标轴平行。本发明提供的制备黑硅的晶圆调平方法，能够将硅片调节至至少与其中一个水平坐标轴平行，从而，至少在单条加工路径的加工过程中无需进行随动即可保持相同的能量密度。
制备晶圆调平方

[发明专利]一种适用于多款座椅的吸塑盘结构-CN202210984275.8在审
发明人： 张昆鹏 -专利权人：苏州昆承工业设备有限公司
申请日： 2022-08-17 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： B65D19/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于多款座椅的吸塑盘结构，其包括吸塑盘主体，所述吸塑盘主体内设置有安装槽，所述安装槽内设置有多个定位凸起，多个所述定位凸起之均布置在所述安装槽内，多个所述定位凸起之间形成安装腔，所述定位凸起包括基座和定位面板，所述基座连接在所述吸塑盘主体上，所述定位面板可拆卸连接在所述基座上，所述定位面板上设置有多个第一定位卡槽。本发明通过设置可更换的定位面板，从而可以在吸塑盘内放置不同型号的汽车座椅，进而可以解决吸塑盘开模费用高的问题。
一种适用于座椅盘结