专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种基板传送方法及装置-CN202311092261.6在审
  • 周庆亚;张为强;杨元元;王嘉琪;田洪涛 - 北京晶亦精微科技股份有限公司
  • 2023-08-28 - 2023-10-24 - B65G47/24
  • 本申请涉及基板传送技术领域,具体涉及一种基板传送方法及装置,包括:获取基板的当前运动状态以及该基板在当前运动状态下的变速;根据该基板的倾斜角度和该基板的变速二者之间的比例关系,获取该基板在当前运动状态下的变速所对应的倾斜角度,并控制该基板以该倾斜角度进行传送;该比例关系为当变速越大时,倾斜角度越大;当变速越小时,倾斜角度越小;上述方案根据基板在各个运动状态下的变速,把基板的倾斜角度和基板的变速二者之间建立比例关系,通过调节基板的倾斜角度,实现基板的快速传送,进而提高传送效率。
  • 一种传送方法装置
  • [发明专利]具液膜厚度调节装置的干燥腔室及液膜厚度调节方法-CN202311054392.5在审
  • 张为强;王嘉琪;刘福强;张博;张康 - 北京晶亦精微科技股份有限公司
  • 2023-08-21 - 2023-10-24 - F26B11/18
  • 本发明公开了一种具液膜厚度调节装置的干燥腔室及液膜厚度调节方法,具液膜厚度调节装置的干燥腔室包括干燥腔、主动模块、以及装设于干燥腔内的从动模块;主动模块包括电机以及主磁性转子组件,主磁性转子组件与干燥腔的底壁间隙设置;从动模块包括转动装设于干燥腔的底壁上的副磁性转子组件,副磁性转子组件与主磁性转子组件相对设置,副磁性转子组件上远离主磁性转子组件的一端固定连接有锁紧装置,锁紧装置适于锁紧待干燥元件,主动模块包括工作状态和非工作状态,在工作状态,电机驱动主磁性转子组件转动,转动的主磁性转子组件驱动副磁性转子组件转动,以带动锁紧装置、待干燥元件转动。可提高待干燥元件上液膜厚度一致性和干燥效果。
  • 具液膜厚度调节装置干燥方法
  • [实用新型]一种智能变电站设备状态监测装置-CN202320073549.8有效
  • 刘建华;张为强;陈杨 - 扬州鑫鸿电子有限公司
  • 2023-01-10 - 2023-10-13 - H02B1/56
  • 本实用新型涉及监测装置技术领域,尤其为一种智能变电站设备状态监测装置,包括变电箱本体,所述变电箱本体内腔的两侧均固定连接有温度监测装置本体,所述变电箱本体的顶部固定连接有传动箱,所述传动箱内腔顶部的右侧均通过轴承转动连接有蜗杆,所述传动箱内腔的后侧通过轴承转动连接有若干个呈等间距分布的蜗轮,所述蜗轮的表面与蜗杆相啮合,所述蜗轮的表面固定连接有导风板。本实用新型具备温度监测和主动散热的优点,在实际使用过程中,不仅能够起到监测变电箱本体内部温度变化的效果,而且还能够起到均匀散热的效果,进而防止变电箱本体内部电子元气的温度过高发生短路的问题,然而还具备防尘的目的。
  • 一种智能变电站设备状态监测装置
  • [实用新型]一种通信电源智能配电屏-CN202223487710.0有效
  • 刘建华;张为强;陈杨 - 扬州鑫鸿电子有限公司
  • 2022-12-26 - 2023-08-15 - H02B15/00
  • 本实用新型涉及一种通信电源智能配电屏,包括底板,所述底板的顶部外壁固定连接有柜体,所述底板的顶部外壁固定连接有升降气缸,且升降气缸的活塞杆一端固定连接有限位壳,所述限位壳上转动安装有U形杆,所述限位壳的内部设置有转动组件,且转动组件与U形杆相适配,所述U形杆的外壁转动连接有转动套,且转动套的外壁固定连接有支撑板,所述支撑板上设置有支撑组件。本实用新型,通过设置有U形杆,在不使用支撑板时,将支撑组件取下,支撑板及转动套可以沿着U形杆的外壁转动,通过转动组件带动U形杆向上翻转九十度,进而完成对支撑板和U形杆的收纳,不仅不占空间,也便于人们观看电流数显表。
  • 一种通信电源智能配电
  • [实用新型]一种一体化电源用配电柜-CN202223543276.3有效
  • 刘建华;张为强;陈杨 - 扬州鑫鸿电子有限公司
  • 2022-12-29 - 2023-08-15 - H02B1/52
  • 本实用新型涉及配电柜技术领域,尤其为一种一体化电源用配电柜,包括配电柜本体,所述配电柜本体的底部固定连接有传动箱,所述传动箱底部的两侧均开设有收纳槽,所述传动箱内腔的两侧均开设有导向槽,所述导向槽的内腔滑动连接有导向块,所述导向块的一侧贯穿至导向槽的外侧并固定连接有活动块。本实用新型具备方便移动的优点,在实际使用过程中,不仅具备方便移动的效果,使得使用者无需借助外力对配电柜本体的位置进行改变或对配电柜本体进行运输,而且还具备稳定性高的优点,使用者将滑轮收缩至收纳槽的内部,通过支腿对配电柜本体起到支撑作用,然而还能够方便使用者对传动箱底部的灰尘进行清理。
  • 一种一体化电源配电柜
  • [实用新型]一种可逆变交直流电源屏-CN202223507641.5有效
  • 刘建华;张为强;陈杨 - 扬州鑫鸿电子有限公司
  • 2022-12-27 - 2023-06-23 - H02B1/26
  • 本实用新型公开了一种可逆变交直流电源屏,涉及电源屏技术领域,其技术方案要点是:包括:门板、侧板以及背板,所述侧板设置有一对且分别转动安装在电源屏长度方向上的两端处,所述电源屏固定安装在底板上,所述门板转动设置在电源屏宽度方向上的一端处,所述背板的底端转动安装在电源屏宽度方向上的另一端处,所述侧板宽度方向上的一端与所述背板之间设置有连接件,该连接件用于将背板与侧板固定连接,效果是可以快速的将电源屏露出并进行维修,有利于提高电源屏的维修效率。
  • 一种可逆直流电源
  • [发明专利]一种CMP电涡流终点检测装置-CN202111505084.0有效
  • 李坤;李婷;张康;张为强 - 北京晶亦精微科技股份有限公司
  • 2021-12-10 - 2023-04-07 - B24B37/005
  • 本发明提供的CMP电涡流终点检测装置,包括:谐振电路、采样电路及电涡流检测通信控制器,其中,谐振电路包括电涡流传感器、电容及电涡流传感器与晶圆导电膜在电涡流传感器的线圈谐振、互感时等效的视在阻抗;电涡流检测通信控制器控制电涡流传感器产生交变磁场,使待抛光的晶圆衬底中的导电膜产生感应涡流,消耗电涡流传感器的输出功率;采样电路用于采集输入电涡流传感器的补充电流,并将采集的补充电流发送至电涡流检测通信控制器,电涡流检测通信控制器根据补充电流拟合出补充功率与视在阻抗的关系系数,进而求出待抛光的晶圆衬底中的导电膜厚度。通过实施本发明,简化了导电膜厚度测量装置,提高了导电膜厚度测量装置的可靠性。
  • 一种cmp涡流终点检测装置
  • [发明专利]一种压力控制装置、抛光头装置及化学机械抛光设备-CN202111428674.8有效
  • 张为强;王嘉琪 - 北京晶亦精微科技股份有限公司
  • 2021-11-26 - 2023-03-28 - B24B37/00
  • 本发明提供了一种压力控制装置、抛光头装置及化学机械抛光设备,属于其中,压力控制装置包括:底座,第一管路和第二管路;第一进口,第一出口;第二进口,第二出口;支路;第一阀门;第二阀门和第三阀门。本发明提供的压力控制装置,在需对使用设备进行压力调节时,只需控制第一阀门、第二阀门和第三阀门的开启和关闭即可,如开启第一阀门、关闭第二阀门和第三阀门,此时气源通过第一管路进入使用设备中,为使用设备提供压力;开启第二阀门、关闭第一阀门和第三阀门,此时,真空设备通过部分第二管路、支路及部分第一管路对使用设备进行抽真空。故此压力控制装置可实现四种状态的切换,更好的满足使用需求。
  • 一种压力控制装置抛光化学机械抛光设备
  • [发明专利]抛光垫形貌检测方法-CN202211156954.2在审
  • 王嘉琪;张为强;赵磊;廉金武;郭益言;梅辰萌 - 北京烁科精微电子装备有限公司
  • 2022-09-22 - 2022-12-30 - G01B21/20
  • 本发明提供一种抛光垫全局形貌检测方法,包括以下步骤:采集运动部件运行数据;所述运动部件包括抛光盘和活化器;所述运动部件运行数据分别由抛光盘电机和活化器电机以及位于所述活化器的位移传感器采集提供;坐标建模;根据所述运动部件运行数据,建立笛卡尔坐标系,定义抛光垫圆心坐标值,推导出修整头圆心坐标值,根据抛光垫圆心坐标值和修整头圆心坐标值,确定抛光垫上全部点的坐标值;由抛光垫上全部点的坐标值生成形貌数据;实时刷新形貌数据;固定间隔时间,重复采集运动部件运行数据,获取新的抛光垫上全部点的坐标值,根据新的抛光垫上全部点的坐标值生成新的形貌数据。本发明可以减少抛光垫检测时带来的污染,并全面的反映抛光垫形貌。
  • 抛光形貌检测方法
  • [发明专利]切边晶圆定位系统、切边晶圆定位方法及晶圆清洗机-CN202211157673.9在审
  • 王嘉琪;张为强;史霄;廉金武;赵磊 - 北京烁科精微电子装备有限公司
  • 2022-09-22 - 2022-12-02 - H01L21/67
  • 本发明提供一种切边晶圆定位系统、切边晶圆定位方法和晶圆清洗机。晶圆定位系统包括:旋转支撑单元,用于支撑切边晶圆以及驱动切边晶圆转动;检测单元,用于检测切边位置,包括发射端和接收端,发射端适于发射连续的直线形检测束;接收端适于接收检测束,检测检测束的检测参数;控制单元,电连接旋转支撑单元和检测单元,用于驱动旋转支撑单元转动切边晶圆,驱动发射端发射检测束,驱动接收端接收并检测检测束,以及根据检测参数是否变化,确定检测束所在位置处是否为切边位置,并根据切边位置,控制旋转支撑单元将切边晶圆的切边转动至预设位置。本发明的晶圆定位系统可以准确的检测晶圆的切边位置,并将切边晶圆的切边固定在预设位置。
  • 切边定位系统方法清洗
  • [发明专利]一种CMP终点检测装置及方法-CN202210611911.2在审
  • 李坤;张为强;张康;李婷;王嘉琪;赵磊;廉金武 - 北京烁科精微电子装备有限公司
  • 2022-05-31 - 2022-08-19 - B24B37/013
  • 本发明提供了一种CMP终点检测装置及方法,该装置包括:第一涡流传感器设置于研磨平台上远离待抛光晶圆导电膜的一侧;第二涡流传感器设置于研磨平台上贴近待抛光晶圆导电膜的一侧,第一涡流传感器的电气参数与第一涡流传感器的电气参数相同;控制器的输出端分别与第一涡流传感器和第二涡流传感器连接,向第一涡流传感器和第二涡流传感器加载工作频率,工作频率为第一涡流传感器和第二涡流传感器的谐振频率,使待抛光晶圆导电膜在第二涡流传感器处产生涡流效应;控制器的输入端分别与第一涡流传感器和第二涡流传感器的输出端连接,根据第一涡流传感器和第二涡流传感器输出电压的差值计算待抛光晶圆导电膜当前厚度。提高了检测的准确性和稳定性。
  • 一种cmp终点检测装置方法
  • [发明专利]一种晶圆检测装置及方法-CN202210433418.6在审
  • 廉金武;张为强;王嘉琪;赵磊;郭益言;梅辰萌 - 北京烁科精微电子装备有限公司
  • 2022-04-22 - 2022-07-29 - G01S17/48
  • 本发明涉及半导体检测技术领域,具体涉及一种晶圆检测装置及方法,装置,包括:至少一个光束发生器和信号处理单元;光束发生器安装在晶圆表面的一侧;方法包括:向晶圆表面发射至少三束测距光束,并将反射回的光信号转换为电信号,且三束测距光束与晶圆表面的交点不共线;信号处理单元接收电信号,将电信号转化为距离值,分别与对应的设定区间进行比较,当所述距离值均在对应的设定区间内时,则判定晶圆处于水平位置;当至少一个距离值超出对应的设定区间时,则判定晶圆发生倾斜;本申请采用上述技术方案检测晶圆是否水平,光束传感器安装集中,且不需要调平和对齐,不会因为光束发生器安装位置的不准确,而导致检测的准确性差。
  • 一种检测装置方法
  • [发明专利]一种涡流传感器-CN202210447738.7在审
  • 李坤;张康;李婷;张为强;尹影;田知玲;张杰 - 北京烁科精微电子装备有限公司
  • 2022-04-26 - 2022-07-05 - G01B7/06
  • 本发明公开了一种涡流传感器,控制模块触发波形生成模块产生使线圈模块谐振的正弦波形,线圈模块谐振生成电流信号;信号传输模块基于电流信号得到采样电压信号,信号传输模块对采样电压信号进行处理后发送至控制模块;控制模块根据接收处理后的采样电压信号,计算晶圆表面导电膜厚度值;线圈模块内部包括多个不同测量截面的线圈,在被测晶圆抛光过程中,对于抛光过程的每个阶段,将对应的测量截面的线圈切换至检测回路中,从而实现针对不同的测量过程进行时间分割,每个过程精确匹配电涡流传感器的最佳线性、分辨率参数。
  • 一种涡流传感器

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