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- [实用新型]一种智能变电站设备状态监测装置-CN202320073549.8有效
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刘建华;张为强;陈杨
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扬州鑫鸿电子有限公司
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2023-01-10
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2023-10-13
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H02B1/56
- 本实用新型涉及监测装置技术领域,尤其为一种智能变电站设备状态监测装置,包括变电箱本体,所述变电箱本体内腔的两侧均固定连接有温度监测装置本体,所述变电箱本体的顶部固定连接有传动箱,所述传动箱内腔顶部的右侧均通过轴承转动连接有蜗杆,所述传动箱内腔的后侧通过轴承转动连接有若干个呈等间距分布的蜗轮,所述蜗轮的表面与蜗杆相啮合,所述蜗轮的表面固定连接有导风板。本实用新型具备温度监测和主动散热的优点,在实际使用过程中,不仅能够起到监测变电箱本体内部温度变化的效果,而且还能够起到均匀散热的效果,进而防止变电箱本体内部电子元气的温度过高发生短路的问题,然而还具备防尘的目的。
- 一种智能变电站设备状态监测装置
- [实用新型]一种通信电源智能配电屏-CN202223487710.0有效
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刘建华;张为强;陈杨
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扬州鑫鸿电子有限公司
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2022-12-26
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2023-08-15
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H02B15/00
- 本实用新型涉及一种通信电源智能配电屏,包括底板,所述底板的顶部外壁固定连接有柜体,所述底板的顶部外壁固定连接有升降气缸,且升降气缸的活塞杆一端固定连接有限位壳,所述限位壳上转动安装有U形杆,所述限位壳的内部设置有转动组件,且转动组件与U形杆相适配,所述U形杆的外壁转动连接有转动套,且转动套的外壁固定连接有支撑板,所述支撑板上设置有支撑组件。本实用新型,通过设置有U形杆,在不使用支撑板时,将支撑组件取下,支撑板及转动套可以沿着U形杆的外壁转动,通过转动组件带动U形杆向上翻转九十度,进而完成对支撑板和U形杆的收纳,不仅不占空间,也便于人们观看电流数显表。
- 一种通信电源智能配电
- [实用新型]一种一体化电源用配电柜-CN202223543276.3有效
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刘建华;张为强;陈杨
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扬州鑫鸿电子有限公司
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2022-12-29
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2023-08-15
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H02B1/52
- 本实用新型涉及配电柜技术领域,尤其为一种一体化电源用配电柜,包括配电柜本体,所述配电柜本体的底部固定连接有传动箱,所述传动箱底部的两侧均开设有收纳槽,所述传动箱内腔的两侧均开设有导向槽,所述导向槽的内腔滑动连接有导向块,所述导向块的一侧贯穿至导向槽的外侧并固定连接有活动块。本实用新型具备方便移动的优点,在实际使用过程中,不仅具备方便移动的效果,使得使用者无需借助外力对配电柜本体的位置进行改变或对配电柜本体进行运输,而且还具备稳定性高的优点,使用者将滑轮收缩至收纳槽的内部,通过支腿对配电柜本体起到支撑作用,然而还能够方便使用者对传动箱底部的灰尘进行清理。
- 一种一体化电源配电柜
- [发明专利]一种CMP电涡流终点检测装置-CN202111505084.0有效
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李坤;李婷;张康;张为强
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北京晶亦精微科技股份有限公司
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2021-12-10
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2023-04-07
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B24B37/005
- 本发明提供的CMP电涡流终点检测装置,包括:谐振电路、采样电路及电涡流检测通信控制器,其中,谐振电路包括电涡流传感器、电容及电涡流传感器与晶圆导电膜在电涡流传感器的线圈谐振、互感时等效的视在阻抗;电涡流检测通信控制器控制电涡流传感器产生交变磁场,使待抛光的晶圆衬底中的导电膜产生感应涡流,消耗电涡流传感器的输出功率;采样电路用于采集输入电涡流传感器的补充电流,并将采集的补充电流发送至电涡流检测通信控制器,电涡流检测通信控制器根据补充电流拟合出补充功率与视在阻抗的关系系数,进而求出待抛光的晶圆衬底中的导电膜厚度。通过实施本发明,简化了导电膜厚度测量装置,提高了导电膜厚度测量装置的可靠性。
- 一种cmp涡流终点检测装置
- [发明专利]抛光垫形貌检测方法-CN202211156954.2在审
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王嘉琪;张为强;赵磊;廉金武;郭益言;梅辰萌
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北京烁科精微电子装备有限公司
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2022-09-22
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2022-12-30
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G01B21/20
- 本发明提供一种抛光垫全局形貌检测方法,包括以下步骤:采集运动部件运行数据;所述运动部件包括抛光盘和活化器;所述运动部件运行数据分别由抛光盘电机和活化器电机以及位于所述活化器的位移传感器采集提供;坐标建模;根据所述运动部件运行数据,建立笛卡尔坐标系,定义抛光垫圆心坐标值,推导出修整头圆心坐标值,根据抛光垫圆心坐标值和修整头圆心坐标值,确定抛光垫上全部点的坐标值;由抛光垫上全部点的坐标值生成形貌数据;实时刷新形貌数据;固定间隔时间,重复采集运动部件运行数据,获取新的抛光垫上全部点的坐标值,根据新的抛光垫上全部点的坐标值生成新的形貌数据。本发明可以减少抛光垫检测时带来的污染,并全面的反映抛光垫形貌。
- 抛光形貌检测方法
- [发明专利]一种晶圆检测装置及方法-CN202210433418.6在审
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廉金武;张为强;王嘉琪;赵磊;郭益言;梅辰萌
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北京烁科精微电子装备有限公司
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2022-04-22
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2022-07-29
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G01S17/48
- 本发明涉及半导体检测技术领域,具体涉及一种晶圆检测装置及方法,装置,包括:至少一个光束发生器和信号处理单元;光束发生器安装在晶圆表面的一侧;方法包括:向晶圆表面发射至少三束测距光束,并将反射回的光信号转换为电信号,且三束测距光束与晶圆表面的交点不共线;信号处理单元接收电信号,将电信号转化为距离值,分别与对应的设定区间进行比较,当所述距离值均在对应的设定区间内时,则判定晶圆处于水平位置;当至少一个距离值超出对应的设定区间时,则判定晶圆发生倾斜;本申请采用上述技术方案检测晶圆是否水平,光束传感器安装集中,且不需要调平和对齐,不会因为光束发生器安装位置的不准确,而导致检测的准确性差。
- 一种检测装置方法
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