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- [发明专利]SONOS器件的制造方法-CN201910211373.6有效
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单园园;郭振强;陈瑜;胡君
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上海华虹宏力半导体制造有限公司
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2019-03-20
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2022-03-04
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H01L27/1157
- 本发明公开了一种SONOS器件的制造方法,包括步骤:在半导体衬底上形成浅沟槽;光刻打开存储区的形成区域并进行深阱注入;在浅沟槽中填充氧化层;形成第一牺牲氧化层;光刻形成第一光刻胶图形来打开存储管的形成区域并注入形成存储管的沟道区;将存储管形成区域的第一牺牲氧化层去除然后去除光刻胶;生长ONO层;光刻打开P型器件的形成区域,去除打开区域的ONO层并注入形成P型器件的沟道区;光刻打开N型器件的形成区域,去除打开区域的ONO层并注入形成N型器件的沟道区;去除第一牺牲氧化层,形成存储管外的栅介质层;形成多晶硅栅。本发明能节省一块用于单独定义ONO层的光刻板,从而能降低工艺成本且不会改变器件的性能。
- sonos器件制造方法
- [发明专利]曲轴箱及发动机-CN201410091195.5有效
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石中嘉;刘志强;单园园;李帅;钱增奎;刘永进;马海真
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内蒙古欧意德发动机有限公司
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2014-03-13
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2019-06-25
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F02F7/00
- 本发明提供一种曲轴箱及发动机,曲轴箱包括箱体,箱体内壁具有主轴承止推挡以及位于主轴承止推挡两侧的辅轴承止推挡,主轴承止推挡的侧面具有用于当止推片磨损后仍能保证曲轴箱与曲轴之间具有间隙的第一曲面;辅轴承止推挡的侧面具有用于当止推片磨损后仍能保证曲轴箱与曲轴之间具有间隙的第二曲面。当刹车时,离合器拨叉推动分离轴承压缩离合器盘的推力导致曲轴出现轴向窜动时,通过上述第一曲面确保了曲轴平衡重与曲轴箱主轴承止推挡之间的间隙,通过第二曲面确保了曲轴主轴颈轴肩与曲轴箱之间的间隙,从而避免曲轴与曲轴箱的碰撞,解决了发动机怠速运转时的异响声,进而缓解了曲轴及曲轴箱的磨损,提高了曲轴箱的耐久性和使用寿命。
- 曲轴发动机
- [实用新型]曲轴箱及发动机-CN201420113692.6有效
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石中嘉;刘志强;单园园;李帅;钱增奎;刘永进;马海真
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内蒙古欧意德发动机有限公司
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2014-03-13
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2014-08-27
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F02F7/00
- 本实用新型提供一种曲轴箱及发动机,曲轴箱包括箱体,箱体内壁具有主轴承止推挡以及位于主轴承止推挡两侧的辅轴承止推挡,主轴承止推挡的侧面具有用于当止推片磨损后仍能保证曲轴箱与曲轴之间具有间隙的第一曲面;辅轴承止推挡的侧面具有用于当止推片磨损后仍能保证曲轴箱与曲轴之间具有间隙的第二曲面。当刹车时,离合器拨叉推动分离轴承压缩离合器盘的推力导致曲轴出现轴向窜动时,通过上述第一曲面确保了曲轴平衡重与曲轴箱主轴承止推挡之间的间隙,通过第二曲面确保了曲轴主轴颈轴肩与曲轴箱之间的间隙,从而避免曲轴与曲轴箱的碰撞,解决了发动机怠速运转时的异响声,进而缓解了曲轴及曲轴箱的磨损,提高了曲轴箱的耐久性和使用寿命。
- 曲轴发动机
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