专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于传送衬底进行键合的装置-CN201110453629.8有效
  • 吴敏聪;林永辉;古中威 - 先进自动器材有限公司
  • 2011-12-30 - 2012-07-18 - H01L21/677
  • 本发明公开了一种用于在衬底上完成键合的键合装置,包含有:第一衬底固定部件用于在键合期间夹持第一衬底,第二衬底固定部件用于在键合期间夹持第二衬底,每一个衬底固定部件被操作来在其各自的用于接收衬底的装载位置、键合衬底的键合位置和键合后的衬底从衬底固定部件处移离的卸载位置之间顺序移动;第一驱动机构,其被操作来沿着第一进给路径从其装载位置驱动第一衬底固定部件至其键合位置,以及沿着第一返回路径从其卸载位置驱动第一衬底固定部件至其装载位置;第二驱动机构,其被操作来沿着第二进给路径从其装载位置驱动第二衬底固定部件至其键合位置,以及沿着第二返回路径从其卸载位置驱动第二衬底固定部件至其装载位置。
  • 用于传送衬底进行装置
  • [发明专利]包含有双头滴涂器的晶粒键合机-CN201110347683.4有效
  • 林钜淦;邓谚羲;黄遥欣;尹学文 - 先进自动器材有限公司
  • 2011-11-07 - 2012-07-11 - H01L21/60
  • 本发明公开了用于在衬底上完成晶粒键合的粘合剂滴注,该衬底包含有沿着第一轴线对齐的成排的键合焊盘和沿着第二轴线对齐的成列的键合焊盘,第二轴线横截于第一轴线,该键合焊盘上设置有目标滴涂位置,该方法包含有以下步骤:提供包含有第一喷嘴的第一滴注头和包含有第二喷嘴的第二滴注头;沿着第一轴线将衬底进给至设置有第一滴注头和第二滴注头的位置;通过将光学系统沿着第二轴线相对于衬底移动的方式,使用光学系统完成衬底的列向区域的图案识别,该衬底的列向区域包含有连续的一列或多列键合焊盘;其后驱动第一喷嘴和第二喷嘴,以从第一喷嘴和第二喷嘴处同时滴注粘合剂至位于衬底的相同列向区域的目标滴注位置。
  • 含有双头滴涂器晶粒键合机
  • [发明专利]用于检查光伏衬底的方法-CN201110333786.5有效
  • 邓江汶;王然石;刘仲恩 - 先进自动器材有限公司
  • 2011-10-28 - 2012-07-11 - G01N21/956
  • 本发明公开了一种用于检查具有固有的混杂图案的衬底出现裂纹的方法,该方法包含有以下步骤:在衬底的第一侧面提供有光学器件和前侧照明;在和该第一侧面相对的衬底的第二侧面提供有NIR照明,该NIR照明被操作来穿过该衬底,以便于被该光学器件通过该衬底检测;通过前侧照明和/或从第二侧面通过NIR照明照射获得一个或多个图像;其后处理该一个或多个图像,以将衬底上的混杂图案和衬底上出现的任何裂纹区分。
  • 用于检查衬底方法
  • [发明专利]激光处理装置-CN201110075464.5有效
  • 郑志华;周立基;张转运;黎思亮 - 先进自动器材有限公司
  • 2011-03-28 - 2011-10-05 - B23K26/40
  • 本发明公开了一种用于切割衬底的激光处理装置,该装置包含有:激光头,其用于产生激光束;第一工作固定器和第二工作固定器,其上安装有衬底;以及换向器,其沿着激光束的路径设置,该换向器被操作来有选择地引导激光束朝向安装在第一工作固定器的第一衬底以切割第一衬底,或者朝向安装在第二工作固定器的第二衬底以切割第二衬底,以便于在一个衬底进行切割的同时,在另一个衬底上可以执行同步的操作。
  • 激光处理装置
  • [发明专利]用于薄晶粒分离和拾取的控制与监测系统-CN201110030866.3有效
  • 叶少萍;庄智明;陈文炜;黄国威 - 先进自动器材有限公司
  • 2011-01-28 - 2011-08-10 - H01L21/02
  • 本发明公开了一种用于从粘性带体处分离晶粒的方法,该晶粒装配在粘性带体上,该方法包含有以下步骤:使用支撑表面支撑晶粒和粘性带体相接触的第一侧面的内部和外部;使用夹体接触晶粒的和第一侧面相对的第二侧面的内部和外部;在支撑表面仅仅支撑晶粒的内部的同时,从晶粒的外部撤去支撑,以便于晶粒的第二侧面的外部弯曲离开夹体;施加来自夹体的真空吸附以朝向夹体吸引晶粒的外部,并监测真空吸附压力直到达到表明晶粒的外部正与夹体接触的临界压力;其后在夹体使用真空吸附固定晶粒的同时提升夹体,以将晶粒从粘性带体处完全脱离。
  • 用于晶粒分离拾取控制监测系统
  • [发明专利]用于多种胶粘剂的传送装置-CN201010537945.9有效
  • 周强;林永辉;吴敏聪 - 先进自动器材有限公司
  • 2010-11-09 - 2011-05-25 - B05C5/00
  • 本发明公开了一种用于从胶粘剂供应处传送多种容纳于各个容器中的胶粘剂到衬底的方法和装置,首先将第一戳印销移动至第一容器的位置,该第一容器容纳有第一胶粘剂;使用第一戳印销从第一容器处传送第一胶粘剂到衬底,其后将第一晶粒键合到第一胶粘剂上;然后将第二戳印销移动到第二容器的位置,该第二容器容纳有第二胶粘剂;使用第二戳印销从第二容器处传送第二胶粘剂到衬底,其后将第二晶粒键合到第二胶粘剂上。
  • 用于多种胶粘剂传送装置
  • [发明专利]提供大键合力的旋转键合工具-CN201010254087.7有效
  • 吴贤欢;湋多森盖瑞彼得;许汉超 - 先进自动器材有限公司
  • 2010-08-16 - 2011-04-06 - H01L21/603
  • 本发明公开了一种晶粒键合机,其包含有:键合头,其包含有负荷轴和夹体,该负荷轴穿过键合头,该夹体设置在该负荷轴的一端以用于固定待键合的晶粒;键合力马达,其用于沿着移动轴线在朝向和背离晶粒键合位置的方向上驱动负荷轴;旋转马达,其用于围绕平行于移动轴线的旋转轴线旋转负荷轴;耦合器,其用于将负荷轴耦接到键合力马达;其中,该耦合器还包含有轴承,该轴承被配置来使得负荷轴实现围绕旋转轴线相对于该键合力马达旋转。
  • 提供合力旋转工具
  • [发明专利]用于提供大键合力的晶粒键合机-CN201010183265.1有效
  • 黄新雚;许汉超;吴贤欢 - 先进自动器材有限公司
  • 2010-05-26 - 2010-12-22 - H01L21/603
  • 本发明公开了一种晶粒键合机,其包含有:键合头,其包含有夹体,以用于拾取晶粒和在键合位置处键合晶粒;第一马达,其通过转轴和夹体相连,以在朝向和背离键合位置的驱动方向上驱动夹体;第二马达,其和键合头相连,以在平行于第一马达的驱动方向的方向上驱动键合头;旋转马达,其有效地和夹体相连,以围绕平行于第一马达的驱动方向的旋转轴线转动夹体;其中,该转轴可滑动地连接到旋转马达上,以便于当转轴被第一马达驱动而移动时,该转轴可相对于旋转马达滑动。
  • 用于提供合力晶粒键合机
  • [发明专利]用于薄晶粒分离和拾取的设备-CN201010137588.7有效
  • 陈文炜;欧玉璋;黄国威;庄智明 - 先进自动器材有限公司
  • 2010-04-01 - 2010-12-01 - H01L21/00
  • 一种用于薄晶粒分离和拾取的设备。本发明公开了一种用于剥离晶粒的晶粒分离设备,该晶粒装配在粘性膜上的一位置处,该晶粒分离设备包含有:多个活动板,其具有四边形的接触表面,该活动板相互相邻设置,该活动板还包含有中间活动板和外部活动板,该外部活动板位于该中间活动板的两侧;其中,该活动板的接触表面一起形成有联合接触表面,以在晶粒所在的该位置处支撑该粘性膜,每个活动板可相对于另一个活动板朝向和背离该晶粒移动。
  • 用于晶粒分离拾取设备

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