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[发明专利]具有惰性气体环境的模片键合装置-CN201610341324.0有效
发明人：刘少荣;洪健益;欧玉璋;黎永钊;李敏;吴世源 -专利权人：先进科技新加坡有限公司
申请日： 2016-05-20 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种模片键合装置包括：第一惰性气体容器，该第一惰性气体容器具有第一惰性气体浓度；以及封闭在所述第一惰性气体容器内的第二惰性气体容器，该第二惰性气体容器具有第二惰性气体浓度。第二惰性气体浓度比第一惰性气体浓度高。该模片键合装置还包括：键合头，该键合头位于所述第二惰性气体容器中用于接收待键合模片；以及第三惰性气体容器，该第三惰性气体容器具有与所述第一惰性气体容器和所述第二惰性气体容器分离并且能够定位基板以键合模片的惰性气体环境。所述键合头操作成在所述第二惰性气体容器内的第一位置和所述第三惰性气体容器内的第二位置之间移动所述模片，以将所述模片键合到位于所述第三惰性气体容器中的所述基板上。
具有惰性气体环境模片键合装置

[发明专利]具有双进气口的太阳能电池烘干机-CN201710312131.7在审
发明人： 欧玉璋;张青龙;贾广利;欧钢 -专利权人：先进科技新加坡有限公司
申请日： 2017-05-05 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：一种用于烘干半导体装置的烘干机，具有：包括进口、出口和传输机的处理区，所述传输机在所述进口和所述出口之间延伸，用来传输半导体装置，使其从所述进口到所述出口穿过所述处理区；位于所述处理区的加热器模块，用于加热穿过所述处理区输送来的半导体装置；进口入口，靠近将热风引入所述处理区来加热穿过所述处理区输送来的半导体装置的进口；以及出口入口，靠近将热风引入所述处理区来加热穿过所述处理区输送来的所述半导体装置的出口。
处理区半导体装置穿过加热进口传输机烘干机热风出口加热器模块太阳能电池出口入口双进气口引入烘干传输延伸

[发明专利]用于薄晶粒分离和拾取的设备-CN201010137588.7有效
发明人：陈文炜;欧玉璋;黄国威;庄智明 -专利权人：先进自动器材有限公司
申请日： 2010-04-01 - 公布日： 2010-12-01 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种用于薄晶粒分离和拾取的设备。本发明公开了一种用于剥离晶粒的晶粒分离设备，该晶粒装配在粘性膜上的一位置处，该晶粒分离设备包含有：多个活动板，其具有四边形的接触表面，该活动板相互相邻设置，该活动板还包含有中间活动板和外部活动板，该外部活动板位于该中间活动板的两侧；其中，该活动板的接触表面一起形成有联合接触表面，以在晶粒所在的该位置处支撑该粘性膜，每个活动板可相对于另一个活动板朝向和背离该晶粒移动。
用于晶粒分离拾取设备

[发明专利]用于接合工具定位的装置和方法-CN200510002381.8有效
发明人：陈丽华;蔡少康;廖秋棋;吴铭伟;欧玉璋 -专利权人：先进自动器材有限公司
申请日： 2005-01-19 - 公布日： 2005-07-27 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于定位接合工具的装置和方法。一个包含有多个压力感测部位的压力式传感器，其被配置来测量由该接合工具在该压力式传感器上所产生的压力。每个感测部位被用来分别检测来自该接合工具的一部分的、作用于该感测部位的大量压力，以致于可以确定该接合工具的定位。
用于接合工具定位装置方法