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[发明专利]双层可见光红外混合成像探测器像元结构及其制备方法-CN201510546375.2有效
发明人： 康晓旭 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2015-08-31 - 公布日： 2018-05-29 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：本发明提供了双层可见光红外混合成像探测器像元结构及其制备方法，包括：衬底；位于衬底下表面的可见光感应区域、金属互连以及位于衬底上表面的红外感应区域；红外感应区域包括：第一、第二红外感应结构、接触沟槽结构、支撑部件、介质层；第一红外感应结构位于介质层上；第一红外感应结构与第二红外感应结构都与接触沟槽结构相连，接触沟槽结构与金属互连相连，通过接触沟槽结构将第一红外感应结构和第二红外感应结构所形成的电信号传输到金属互连；第一红外感应结构下方的衬底中具有第一空腔，第二红外感应结构与第一红外感应结构之间具有第二空腔；支撑部件与第二红外感应结构之间具有第三空腔；具有第四释放孔的介质层下方的衬底中具有第四空腔。
红外感应接触沟槽金属互连介质层衬底红外感应区域探测器像元可见光混合成像支撑部件空腔制备衬底上表面衬底下表面电信号传输可见光感应第二空腔第一空腔释放孔

[发明专利]电容式硅麦克风的制备方法-CN201310312152.0有效
发明人：王伟军;康晓旭;陈燕 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2013-07-23 - 公布日： 2018-05-29 - 主分类号： H04R31/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种电容式硅麦克风的制备方法，包括：提供一衬底，其上设有一电路区域，电路区域至少包括垂直分布的一钝化层、一器件组和一介质层，钝化层为电路区域表面层，介质层设置于钝化层下方，器件组埋设于钝化层底部，其包括第一器件和第二器件；在电路区域沉积一牺牲层；对牺牲层图案化以定义出空气隙区域；在电路区域之上沉积一金属层，并使金属层与第二器件相连；以图案化方法形成至少一释放孔，释放孔贯通金属层；以金属层为掩膜，刻蚀牺牲层、钝化层与介质层形成与释放孔位置一一对应的通气孔；对电路区域进行刻蚀，去除牺牲层以形成空气隙，并继续刻蚀至衬底中以形成气腔。其工艺流程简单，生产成本低。
电路区域钝化层金属层介质层释放孔电容式硅麦克风器件组牺牲层沉积衬底刻蚀制备刻蚀牺牲层空气隙区域生产成本低牺牲层图案垂直分布工艺流程表面层空气隙通气孔图案化气腔掩膜埋设去除贯通

[发明专利]增强透射性的双层混合成像探测器像元结构及其制备方法-CN201510546243.X有效
发明人： 康晓旭 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2015-08-31 - 公布日： 2018-05-29 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：本发明提供了增强透射性的双层混合成像探测器像元结构及其制备方法，包括：衬底；位于衬底下表面的可见光感应区域、金属互连以及位于衬底上表面的红外感应区域；红外感应区域包括：第一、第二红外感应结构、接触沟槽结构、支撑部件、介质层；第一红外感应结构与第二红外感应结构都与接触沟槽结构相连，接触沟槽结构与金属互连相连，通过接触沟槽结构将第一红外感应结构和第二红外感应结构所形成的电信号传输到金属互连；第一红外感应结构下方的衬底中具有第一空腔，第二红外感应结构与第一红外感应结构之间具有第二空腔；支撑部件与第二红外感应结构之间具有第三空腔；第一红外感应结构中具有第一释放孔；支撑部件顶部具有第二释放孔。
红外感应接触沟槽金属互连支撑部件红外感应区域探测器像元混合成像释放孔透射性衬底制备衬底上表面衬底下表面电信号传输可见光感应第二空腔第一空腔介质层空腔

[发明专利]可调节的混合成像探测器像元结构及其制备方法-CN201510547857.X有效
发明人： 康晓旭 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2015-08-31 - 公布日： 2018-05-29 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：本发明提供了一种可调节的混合成像探测器像元结构及其制备方法，包括将可见光感应区域和红外感应区域集成在芯片中，红外感应区域包括：位于半导体衬底上表面的红外窗口材料，用于选择性透过所需波段的红外光；位于红外窗口材料两侧的半导体衬底上表面的互连层；位于红外窗口材料和互连层的上表面的介质层；在红外窗口材料上方两侧的介质层中具有接触沟槽结构；红外感应结构，其具有第一中间拱起部分和第一端部支撑部分，第一中间拱起部分位于红外窗口材料的正上方对应位置，且与介质层之间构成第一空腔；第一端部支撑部分的电极层与接触沟槽结构相接触；以及位于红外感应结构的外围且的支撑部件。
红外窗口材料介质层红外感应区域衬底上表面探测器像元第一端部红外感应混合成像接触沟槽互连层可调节拱起制备半导体红外光可见光感应选择性透过第一空腔支撑部件电极层上表面波段支撑外围芯片

[发明专利]增强红外透过性的混合成像探测器像元结构及其制备方法-CN201510547799.0有效
发明人： 康晓旭 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2015-08-31 - 公布日： 2018-05-01 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：本发明提供了增强红外透过性的混合成像探测器像元结构及其制备方法，将可见光感应区域和红外感应区域集成在芯片中，通过在红外感应部件下方且在可见光感应部件上方的晶圆表面形成具有光滑凸起表面的红外增透材料，再加上晶圆本身对可见光的过滤，可以提高红外光进入微桥结构的比率，进而提高了红外感应部件的成像质量，而且使可见光红外混合成像微型化、芯片化成为可能。
增强红外透过混合成像探测器结构及其制备方法

[发明专利]单芯片可见光红外混合成像探测器像元结构及制备方法-CN201510546636.0有效
发明人： 康晓旭 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2015-08-31 - 公布日： 2018-05-01 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：本发明提供了一种单芯片可见光红外混合成像探测器像元结构及其制备方法，包括位于一半导体衬底上表面的互连层；位于互连层上的红外感应部分；位于互连层上表面且在红外感应部分之外区域的可见光感应部分；或者红外感应部分下方之外区域的互连层中具有深沟槽，可见光感应部分位于半导体衬底中且暴露于深沟槽底部，以及转换单元；红外感应部分包括位于互连层上表面的介质层和接触沟槽结构；顶部具有第一释放孔和边缘具有第一支撑孔的红外感应结构，红外感应结构与介质层上表面之间具有第一空腔；位于红外感应结构外围的具有第二支撑孔支撑部件，其顶部具有第一释放孔，支撑部件与红外感应结构之间具有第二空腔；红外增透材料，覆盖于支撑部件表面；以及第二引出极。
芯片可见光红外混合成像探测器结构制备方法

[发明专利]一种晶圆级真空封装的MEMS晶振及其制备方法-CN201510337112.0有效
发明人：左青云;康晓旭;李铭 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2015-06-17 - 公布日： 2018-04-06 - 主分类号： H01L21/56 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆级真空封装的MEMS晶振结构和制备方法，包含衬底，衬底支撑层，由固定结构、活动结构、金属互连组成的晶振主体结构以及盖帽材料，固定结构位于衬底支撑层上方，活动结构通过桥臂连接至衬底支撑层上的锚点处，能与固定结构发生相对运动，金属互连由金属连线和压焊点组成，金属连线分别将锚点和固定结构连到对应的压焊点，晶振固定和活动结构区域围有围柱，盖帽材料以围柱为键合点实现与衬底整体真空封装；在衬底上定义MEMS晶振固定和活动结构，形成围柱，释放活动结构，最后用盖帽材料与围柱真空键合完成MEMS晶振晶圆级真空封装。本发明的结构和方法与CMOS工艺完全兼容，充分利用全自动化的优势，真空封装工艺简单，有利于推广应用。
一种晶圆级真空封装 mems 及其制备方法

[发明专利]一种湿度传感器及制造方法-CN201510621575.X有效
发明人：左青云;康晓旭;李铭 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2015-09-25 - 公布日： 2018-04-06 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种湿度传感器及制造方法，通过在湿度传感器的叉指电极下面形成开口空腔，使湿敏材料层的底部与外界环境连通，可增加湿敏材料与外界环境之间的接触面积，缩短水分子运动的路径，从而可有效提高湿度传感器的响应速度，提升湿度传感器的性能。
一种湿度传感器制造方法

[发明专利]高填充红外探测器像元结构及其制备方法-CN201610605284.6有效
发明人： 康晓旭 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2016-07-28 - 公布日： 2018-04-03 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种高填充红外探测器像元结构及其制备方法，包括在硅衬底上形成导电梁结构和导电梁结构上形成红外探测结构；每一层导电沟槽的底部与其下方相邻层的导电沟槽的顶部分别接触连接于一导电梁的两端；其中一层导电沟槽的底部与导电金属区相接触；导电梁结构的最顶层中具有顶层导电沟槽和顶层导电梁；顶层导电梁与红外探测结构相接触连接，使微桥结构位于导电梁结构之上，每一层的导电沟槽和导电梁构成了迂回阶梯状的结构，从而使微桥结构产生的电信号的传输路径呈迂回阶梯状；微桥结构产生的电信号从顶层导电梁传输到顶层导电沟槽的顶部，再传输到顶层导电沟槽的底部，经过多层导电沟槽和导电梁之间的传输，最后传输到导电金属区。
填充红外探测器结构及其制备方法

[实用新型]防尘的耐火材料破碎装置-CN201720871373.5有效
发明人：康世豪;康涵笑;康晓旭 -专利权人：巩义市宏宇耐火材料有限公司
申请日： 2017-07-18 - 公布日： 2018-04-03 - 主分类号： B02C21/00 文献下载
摘要：本实用新型属于耐火材料生产设备技术领域，具体涉及一种防尘的耐火材料破碎装置，包括破碎机、输送带、风扇、吸尘罩和除尘器，所述破碎机固定设置在车间地面上，破碎机下方通过滑道连接至输送带，所述破碎机与输送带的一侧设有风扇，风扇风向指向破碎机与输送带，破碎机与输送带的另一侧设有吸尘罩，所述吸尘罩呈漏斗形，吸尘罩通过吸尘管连接至除尘器进风口，除尘器出风口设有风机。本实用新型通过在破碎机及输送带等产生扬尘的地点，加设风扇，在风扇吹风的作用下，控制扬尘的扩散方向，将扬尘吹向除尘设备的吸尘口，有效吸尘。
防尘耐火材料破碎装置

[实用新型]防尘的耐火材料磨粉装置-CN201720872008.6有效
发明人：康世豪;康涵笑;康晓旭 -专利权人：巩义市宏宇耐火材料有限公司
申请日： 2017-07-18 - 公布日： 2018-04-03 - 主分类号： B02C23/00 文献下载
摘要：本实用新型属于耐火材料生产设备技术领域，具体涉及一种防尘的耐火材料磨粉装置，包括磨粉车间、磨粉机、输送带、风扇、吸尘罩和除尘器，所述磨粉机和输送带固定设置在磨粉车间地面上，所述风扇和吸尘罩分别固定设于磨粉车间两对侧的墙壁，磨粉机下方出料口设有输送带，风扇风向指向吸尘罩所处墙壁，所述吸尘罩呈漏斗形，吸尘罩通过管道连接至除尘器进风口，除尘器出风口设有风机。本实用新型通过在磨粉机及输送带等产生扬尘的地点，加设风扇，在风扇吹风的作用下，控制扬尘的扩散方向，将扬尘吹向除尘设备的吸尘口，有效吸尘。
防尘耐火材料磨粉装置

[实用新型]环保型结合剂存储罐加热系统-CN201720749391.6有效
发明人：康世豪;康涵笑;康晓旭 -专利权人：巩义市宏宇耐火材料有限公司
申请日： 2017-06-26 - 公布日： 2018-04-03 - 主分类号： B65D88/74 文献下载
摘要：本实用新型属于耐火材料生产设备技术领域，具体涉及一种环保型结合剂存储罐加热系统，包括存储罐、保温水箱、控制器、加热丝和温度传感器，所述存储罐包括三层结构，分别为主罐体、保温水罐和隔热层，隔热层、保温水罐和主罐体三层结构由外而内依次包裹，所述主罐体内设有第一温度传感器和第一加热丝，所述保温水箱内设有第二温度传感器和第二加热丝，第一温度传感器、第一加热丝、第二温度传感器和第二加热丝均连接至控制器，所述保温水罐与保温水箱通过循环管路连接。本实用新型通过传感器来实时监控结合剂和保温水温度，温度不在适宜范围或者即将超出适宜范围时，通过加热结合剂或者保温水的方式在提供温度稳定，保证结合剂质量。
环保结合存储加热系统

[实用新型]无水炮泥结合剂存储罐-CN201720740834.5有效
发明人：康世豪;康涵笑;康晓旭 -专利权人：巩义市宏宇耐火材料有限公司
申请日： 2017-06-23 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： B65D81/34 文献下载
摘要：本实用新型属于耐火材料生产设备技术领域，具体涉及一种无水炮泥结合剂存储罐，包括主罐体、保温水罐、隔热层、加热丝、进料口和出料口，隔热层、保温水罐和主罐体三层结构由外而内依次包裹，保温水罐与主罐体之间设有腔体，腔体顶部封闭连接，腔体内填充保温水，隔热层密贴于保温水罐外壁，加热丝呈螺旋环状，设于主罐体内部下侧，加热丝设有接线头，主罐体上部设有透气孔，加热丝接线头通过透气孔延伸至主罐体外部。本实用新型结构简单，使用安全、方便，电加热丝置于加热罐本体下部，保证了结合剂存储过程中的加热，免于搅拌；通过悬浮式传感器来实时监控结合剂顶部温度，避免结合剂温度过低而造成结合剂发生固化。
水炮结合存储

[实用新型]全自动炮泥装料机-CN201720741476.X有效
发明人：康世豪;康涵笑;康晓旭 -专利权人：巩义市宏宇耐火材料有限公司
申请日： 2017-06-23 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： F42D1/18 文献下载
摘要：本实用新型属于耐火材料生产设备技术领域，具体涉及一种全自动炮泥装料机，包括动力机、变速箱、主轴、成型机构、切割机构和传送带，所述动力机输出端通过传动系统连接至变速箱的输入端，变速箱输出端连接有主轴、并与主轴联动，成型机构呈腔状结构、并设有进料口和出料口，主轴从成型机构的动力输入侧伸入腔体中，主轴后半部设有螺旋叶片，出料口外侧设有切割机构和传送带，切割机构为方框型、且与主轴轴线垂直，传送带水平设置，一端设于出料口正下方、且从切割机构方框中穿过，实现无水炮泥生产过程中的自动捏泥工作，操作工人只需在装料机的末端放置装料袋即可实现炮泥生产过程中的自动装料。
全自动装料

[实用新型]半自动炮泥装料机-CN201720740068.2有效
发明人：康世豪;康涵笑;康晓旭 -专利权人：巩义市宏宇耐火材料有限公司
申请日： 2017-06-23 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： B28B3/22 文献下载
摘要：本实用新型属于耐火材料生产设备技术领域，具体涉及一种半自动炮泥装料机，包括动力机、变速箱、主轴、成型机、储料罐和滑道，所述动力机输出端通过传动系统连接至变速箱的输入端，变速箱输出端连接有主轴、并与主轴联动，成型机设有进料口和出料口，主轴从成型机的动力输入侧伸入腔体中，主轴后半部设有螺旋叶片，所述储料罐通过支架固定设置，储料罐下方设有圆柱型开口，开口下方固定设有滑道，滑道方向斜向下，滑到末端处于进料口上方，储料罐开口处设有封口机构，可以通过在传统成型机上添加其余附件得到，并在无水炮泥进入端设置封口装置，对无水炮泥的进入量进行手动控制，同时设有吸尘罩，吸取生产及装料过程中的易挥发有毒物质。
半自动装料