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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]缓冲室及具备缓冲室的AM系统-CN202180070756.1在审
发明人：篠崎弘行;浅井润树;向山佳孝 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2021-09-14 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B33Y10/00 文献下载
摘要：在AM系统中，构建粉末材料等微粒不会从能够存在微粒的区域飞散到其他区域的环境。根据一个实施方式，提供一种用于制造造型物的AM系统，该AM系统具有：造型室，该造型室配置有AM装置；以及缓冲室，该缓冲室与所述造型室相连，所述缓冲室具有：入口，该入口与周围环境相连；出口，该出口与所述造型室相连；格栅地板；以及排气口，所述AM系统具有：第一门，该第一门能够对所述缓冲室的所述入口进行开闭；以及第二门，该第二门能够对所述缓冲室的所述出口进行开闭。
缓冲具备 am 系统

[发明专利]基板保持架、镀覆装置、以及基板保持架的制造方法-CN202210014651.0在审
发明人：宫本松太郎;向山佳孝 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2017-09-07 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明的基板保持架具备夹持基板的第一保持部件及第二保持部件，所述第一保持部件具有：第一保持部件主体；一端部除去了被覆的至少一条线缆；以能够与所述基板电接触的方式构成的至少一个第一导电部件；和夹持部件，其设于所述第一保持部件主体上，构成为将所述线缆的所述一端部、同所述第一导电部件或与所述第一导电部件电导通的第二导电部件一起夹持。
保持镀覆装置以及制造方法

[发明专利]基板保持架、镀覆装置以及基板保持方法-CN201780054837.6有效
发明人：宫本松太郎;向山佳孝 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2017-09-07 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： C25D17/08 文献下载
摘要：本发明的基板保持架具备用于将基板夹持固定的第一保持部件及第二保持部件，所述第一保持部件具有第一保持部件主体和夹具，该夹具设于所述第一保持部件主体上，能够绕着与所述第一保持部件主体的面平行的轴旋转或者能够在与所述第一保持部件主体的面交叉的方向上往复移动，所述第二保持部件具有第二保持部件主体，所述夹具构成为能够在所述第一保持部件主体及所述第二保持部件主体彼此抵接的状态下与所述第二保持部件卡合，而将所述第二保持部件固定于所述第一保持部件。
保持镀覆装置以及方法

[发明专利]搅拌器、具备该搅拌器的处理装置、该搅拌器的制造方法-CN202110188860.2在审
发明人：增田泰之;张绍华;向山佳孝;下山正;藤方淳平 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2021-02-19 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： C25D21/10 文献下载
摘要：本发明提供搅拌器、具备该搅拌器的处理装置以及该搅拌器的制造方法。该搅拌器能够降低电场遮蔽的影响，并且能够提高机械强度。用于通过在处理槽(1)内移动来搅拌该处理槽(1)内的处理液的搅拌器(16)具备形成蜂窝构造(40)的多个搅拌梁(45)。蜂窝构造(40)具有由多个搅拌梁(45)形成的多个六边形的通孔(50)。
搅拌器具备处理装置制造方法

[发明专利]基板装卸装置及其控制装置、镀覆装置、存储介质-CN201711332926.0有效
发明人：横山俊夫;向山佳孝;对马拓也 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2017-12-07 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： C25D7/12 文献下载
摘要：本发明提供基板装卸装置及其控制装置、镀覆装置、存储介质。本发明的基板装卸装置是利用基板保持器的第一及第二保持部件对基板进行夹持来保持该基板的基板装卸装置，具备第一保持器保持装置以及第二保持器保持装置，该第一保持器保持装置以第一姿势对所述第一保持部件进行支承，该第二保持器保持装置能够相对于第一保持器保持装置接近和离开地直行移动，能够以所述第一姿势和第二姿势对所述第二保持部件进行保持，该第二姿势与所述第一姿势大致正交，以所述第一姿势将所述第二保持部件按压于所述第一保持部件而使所述第一保持部件和所述第二保持部件彼此固定。
装卸装置及其控制镀覆存储介质

[发明专利]电镀装置及电镀方法-CN201710240576.9有效
发明人： 向山佳孝;藤方淳平;青山英治 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2017-04-13 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明提供一种电镀装置和电镀方法，在将储料器从电镀装置拉出来的期间也能够连续运转。该电镀装置具有：电镀处理部，其对基板进行电镀；以及多个储料器，其构成能够收纳保持件，该保持件构成为保持基板或阳极，多个上述储料器中的至少一个构成为能够向上述电镀装置的内外移动。
电镀装置方法

[发明专利]基板保持架及镀覆装置-CN201780019492.0有效
发明人： 向山佳孝;横山俊夫;山川纯逸;对马拓也;平尾智则;田村翔;大桥弘尭 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2017-03-07 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： C25D17/08 文献下载
摘要：本发明提供一种可容易进行基板定位的基板保持架及镀覆装置。基板保持架具有：保持基板的基板保持体；及夹着所述基板保持体而保持的第一保持部件及第二保持部件；所述第一保持部件具有：使所述基板的被镀覆面露出的开口部；及以与所述基板的被镀覆面接触的方式而构成的供电部件。
保持镀覆装置

[发明专利]电镀装置及电镀方法-CN201510612420.X有效
发明人：藤方淳平;下山正;中川洋一;向山佳孝;南吉夫 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2015-09-23 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明提供一种电镀装置及电镀方法，对特征及处理条件不同的多个基板，能够抑制因终端效应的影响引起的面内均匀性的降低。本发明的电镀装置具备：阳极支架，该阳极支架构成为保持阳极；基板支架，该基板支架构成为与阳极支架相对配置，且保持基板；阳极罩，该阳极罩设置于阳极支架的前表面，且具有使在阳极与基板之间流动的电流通过的第1开口。阳极罩构成为能够调节第1开口的直径。在电镀第1基板时，调节第1开口的直径为第1直径。在电镀第2基板时，调节第1开口的直径为比第1直径小的第2直径。
电镀装置方法

[发明专利]用于向电镀槽供给电镀液的装置和方法、电镀系统、粉体容器以及电镀方法-CN201710069755.0在审
发明人：窦春晖;向山佳孝;荒木裕二;下山正;藤方淳平 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2017-02-08 - 公布日： 2017-08-18 - 主分类号： C25D21/12 文献下载
摘要：本发明提供一种用于向电镀槽供给电镀液的装置和方法、电镀系统、粉体容器以及电镀方法。改良后的该装置用于将氧化铜粉体向电镀液添加，将该电镀液向电镀槽供给。用于向电镀槽(2)供给使至少含有铜的粉体溶解后的电镀液的装置(20)具备料斗(27)，其具有可连结于收容有粉体的粉体容器(21)的粉体导管(46)的投入口(26)；送料器(30)，其与料斗(27)的下部开口连通；电动机(31)，其与送料器(30)连结；电镀液箱(35)，其与送料器(30)的出口(30b)连结，使粉体溶解于电镀液。
用于电镀供给装置方法系统容器以及

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