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[发明专利]一种制备纳米光栅的装置和方法-CN201710253240.6有效
发明人：侯想;仇凯弘;陈峰;欧金亮 -专利权人：福建中晶科技有限公司
申请日： 2017-04-18 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备纳米光栅的装置，包括安装底座和L形安装支架，且L形安装支架固定焊接在安装底座的一侧顶部，所述安装底座的底部固定焊接有支撑架，所述安装底座的顶部固定安装有电机，所述电机的输出轴连接有第二转动连接件，所述第二转动连接件远离电机的一端设有匀胶台，所述第二转动连接件与匀胶台转动连接。本发明提出的一种制备纳米光栅的装置，结构简单，设计合理，利用匀胶台完成光刻胶旋涂工序，利用电子束曝光机、中间掩膜版、聚光透镜和反射镜完成基片的曝光工作，本发明提出的装置用于制备纳米光栅，设备投资小，制备成本低，操作简单，易于控制，制备周期短，所得纳米光栅性能好、质量高，成品合格率高，值得推广。
一种制备纳米光栅装置方法

[发明专利]一种SiO2-CN201911178505.6有效
发明人：罗荣煌;侯想;刘杨;钟梦洁;仇凯弘 -专利权人：福建中晶科技有限公司
申请日： 2019-11-27 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种SiO2蓝宝石复合衬底，涉及LED生产领域，其包括图形化蓝宝石衬底，图形化蓝宝石衬底上涂覆有SiO2涂层，其制备步骤如下：步骤1，SiO2溶胶的制备，在烧杯中将乙醇、正硅酸乙酯、去离子水、盐酸、硅烷偶联剂KH560、硅烷偶联剂KH570、N‑N二甲基甲酰胺按照一定的摩尔比依次滴入，之后密封并在磁力搅拌机上搅拌3‑6h，然后静置陈化24‑36h。本方案在现有生产用蓝宝石衬底的基础上，通过采用溶胶凝胶法制备一层SiO2涂层，形成SiO2蓝宝石复合衬底，SiO2涂层有利于增加有源区中发射的光子的全反射机会，从而进一步使LED的出光效率提高，而且该涂层制备工艺简单，成本低，易与现有生产技术结合。
一种 sio base sub

[发明专利]一种用于LCD背光的大出光角Mini LED芯片制作方法-CN201811470643.7在审
发明人： 仇凯弘 -专利权人：福建中晶科技有限公司
申请日： 2018-12-04 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于LCD背光的大出光角Mini LED芯片制作方法，包括以下步骤：S1：以正常工艺完成芯片前段制作，直至研磨前，包括在蓝宝石衬底上以MOCVD生长外延层和芯片前段各工序，直至晶圆制作完成；S2：研磨减薄蓝宝石衬底，直至较厚的厚度，mini LED的蓝宝石厚度为80‑140μm；S3：在蓝宝石表面沉积DBR光学薄膜，DBR光学薄膜由SiO2和TiO2多层堆积而成；S4：利用多重激光隐形切割对蓝宝石进行切割处理。本发明通过合理设计芯片工艺，减少芯片正面的出光，增加芯片侧面的出光，从而达到增加Mini LED的出光角度的目的，制作工艺易行，成本低，良率高。
蓝宝石光学薄膜研磨出光角制作衬底芯片蓝宝石表面芯片侧面芯片工艺芯片正面隐形切割正常工艺制作工艺外延层沉积多层减薄晶圆良率堆积切割激光

[实用新型]一种可发多种复合光及单色光LED芯片的制备装置-CN201720694127.7有效
发明人：候想;仇凯弘 -专利权人：福建中晶科技有限公司
申请日： 2017-06-15 - 公布日： 2018-02-02 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可发多种复合光及单色光LED芯片的制备装置，包括产线和自动搬运机构，所述产线包括基台、皮带机以及安装板，所述安装板设有两个，两个所述安装板均设置在基台的顶端，所述皮带机设置在安装板的内端面上，所述自动搬运机构设置在相邻产线之间，所述自动搬运机构包括电动机、不完全齿轮、盘簧管、传动齿轮、电动机械爪、直线气缸、支杆以及转轴，所述盘簧管与电动机均设置在相邻基台之间，所述电动机设置在盘簧管的右侧，所述转轴下端插入盘簧管，并与盘簧管固定连接，所述转轴上端固定在支杆的下端面右侧，所述支杆的下端面左侧设置有直线气缸。本实用新型实现了LED芯片原件在各个产线的自动搬运，提高芯片的生产效率。
一种多种复合单色光 led 芯片制备装置

[实用新型]一种图形化蓝宝石衬底曝光横向拼接装置-CN201720694085.7有效
发明人：候想;仇凯弘;徐明金;詹益荷 -专利权人：福建中晶科技有限公司
申请日： 2017-06-15 - 公布日： 2018-02-02 - 主分类号： G03F7/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种图形化蓝宝石衬底曝光横向拼接装置，包括装置本体，所述装置本体的一侧固定安装有固定块，固定块上开设有通孔，通孔内螺纹安装有水平设置的齿条，齿条的一端贯穿通孔延伸至装置本体的内部，齿条的底部固定安装有滑轮，滑轮为两个且与装置本体的底部内壁滑动连接，装置本体内壁上固定安装有转动轴，转动轴垂直设置于装置本体的内壁，且转动轴位于齿条的上方，转动轴上转动安装有齿轮，齿轮套设于转动轴，齿轮与齿条啮合，齿轮上铰接有倾斜设置的铰接杆，所述装置本体的顶部固定安装有水平设置的第一滑杆。本实用新型既实现的衬底拼接在空间上的任意调节，又大大提到了拼接的精确度，结构简单，使用方便，易于推广。
一种图形蓝宝石衬底曝光横向拼接装置

[实用新型]一种用于图形化蓝宝石衬底的加工装置-CN201720694138.5有效
发明人：候想;仇凯弘 -专利权人：福建中晶科技有限公司
申请日： 2017-06-15 - 公布日： 2018-02-02 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于图形化蓝宝石衬底的加工装置，包括装置外壳，所述装置外壳为长方体结构，装置外壳的底端内壁上固定连接有固定块，装置外壳的一侧内壁上固定安装有第一推杆电机，所述固定块的顶端滑动连接有滑动块，所述滑动块的顶端固定连接有放置块，所述滑动块的一侧与第一推杆电机的输出轴固定连接，所述装置外壳的一侧开设有开口，且装置外壳靠经开口的一侧转动连接有隔离板。本实用新型通过将放置块安装在滑动块上，可通过第一推杆电机的推动将隔离板打开到第一状态，通过第二推杆电机可进一步打开到第二状态，整个过程均为电机推动，更加方便快捷，由于蓝宝石在切割过程中由隔离板隔离，更加安全。
一种用于图形蓝宝石衬底加工装置

[实用新型]一种图形化蓝宝石衬底的加工装置-CN201621419747.1有效
发明人： 仇凯弘;侯想 -专利权人：福建中晶科技有限公司
申请日： 2016-12-23 - 公布日： 2017-07-21 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种图形化蓝宝石衬底的加工装置，包括底座，所述底座安装有第一气缸和第一连接柱，第一气缸位于第一连接柱的一侧，第一气缸远离第一连接柱的一侧设有第一凹槽，第一凹槽内滑动连接有夹持固定装置，第一气缸的活塞杆焊接有夹持固定装置装置，所述夹持固定装置包括固定块，固定块上开有第二凹槽，第二凹槽内设有第一夹持块和第二夹持块，第一夹持块和第二夹持块的截面均为L形，第一夹持块的侧壁底端开有第三凹槽，第三凹槽内设有第二气缸，第二气缸的输出轴连接有第二夹持块，第二夹持块的底端侧壁与第三凹槽的侧壁滑动连接。本实用新型结构简单，稳固性高，蓝宝石衬底的抛光效果好。
一种图形蓝宝石衬底加工装置

[发明专利]一种复合图形化衬底的制备方法-CN201710253271.1在审
发明人： 仇凯弘;侯想 -专利权人： 仇凯弘
申请日： 2017-04-18 - 公布日： 2017-07-18 - 主分类号： H01L33/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种复合图形化衬底的制备方法，包括以下步骤S1制备蓝宝石基础衬底；S2在S1步骤中制备的蓝宝石基础衬底表面固定支撑体，再在支撑体表面镀金属合金层，去除氧化膜，去除支撑体，即得空腔结构的蓝宝石衬底；S3在蓝宝石衬底的空腔中填充纳米复合材料，同时在金属合金层外表面形成AlN层；S4在AlN层上进行光刻胶、坚膜以及两次ICP刻蚀处理；S5清洗掉剩下的光刻胶，即得复合图形化衬底。本发明提出的制备方法简单、易操作，制得的复合图形化衬底晶体质量高，光的出射强，衬底整体的重量轻，生产成本低，基础衬底与GaN材料的温差小，晶体的性能稳定，晶格失配率低，MOCVD的使用效率高。
一种复合图形衬底制备方法

[实用新型]在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置-CN201621418517.3有效
发明人：侯想;仇凯弘 -专利权人：福建中晶科技有限公司
申请日： 2016-12-22 - 公布日： 2017-06-16 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，包括第一箱体和第二箱体，第二箱体位于第一箱体的内部，且第一箱体和第二箱体之间连接有支架，第一箱体和第二箱体之间构成冷却腔，所述第一箱体的外侧壁上设有冷却液存储箱和液泵，冷却液存储箱位于液泵的下方，液泵的输出端通过导管延伸至冷却腔的内部，液泵的输入端通过导管连接有冷却液存储箱，冷却液存储箱的底端连接有导液管，导液管与冷却腔相连通。本实用新型通过第一箱体、第二箱体、加热管、液泵和冷却液存储箱的设置，能够在蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层时提供合适的温度环境，实现高温加热和快速冷却，满足不同的温度需求，提高其生长工作效率。
图形蓝宝石衬底生长氮化外延加工装置

[实用新型]一种图形化蓝宝石衬底的酸碱清洗装置-CN201621417113.2有效
发明人：侯想;仇凯弘 -专利权人：福建中晶科技有限公司
申请日： 2016-12-22 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种图形化蓝宝石衬底的酸碱清洗装置，包括壳体，所述壳体为空腔结构，壳体的顶端设有进料口，所述进料口的一侧内壁铰接有顶盖，所述壳体的顶端内壁上安装有引料架，所述壳体的底端内壁滑动连接有支撑板，所述支撑板的顶端通过定位销安装有清洗座，所述清洗座上设有第一通孔，所述清洗座的顶端分别设有弧形的放置槽和挡板，所述清洗座的一侧开设有滑槽，所述支撑板靠近清洗座的一侧设有凹槽，所述凹槽内设有导流板，所述导流板上设有第二通孔，所述支撑板的底端和壳体的底端均设有相互连通的出料口，所述壳体内还设有滑动杆。本实用新型设计布局合理，减轻对蓝宝石衬底的损伤，清洁效果显著，同时有效提高清洗质量。
一种图形蓝宝石衬底酸碱清洗装置

[发明专利]一种图形化蓝宝石衬底的光刻方法-CN201710065512.X在审
发明人： 仇凯弘 -专利权人：福建中晶科技有限公司
申请日： 2017-02-06 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明公开了一种图形化蓝宝石衬底的光刻方法，包括以下步骤在图形化蓝宝石衬底上沉积一层薄膜，并对其进行微粒清除及低温烘干处理；在旋转加速度不变的情况下，将液态光刻胶和增粘剂滴加到衬底薄膜层面中间，将液体光刻胶均匀覆盖在晶片表面，并进行烘烤，形成光刻胶膜；将掩膜版上的图形文件投影到衬底光刻胶膜上，设定曝光条件，进行曝光处理；在旋转加速度不变的情况下，将显影液喷涂在衬底光刻胶膜表面进行显影处理，显影完成后对其进行显影检查。本发明具有曝光精度级别高，工艺重复性好，线位错密度低、内量子密度高、分辨率高，成品合格率与成品率高的特点，所得成品图形尺寸准确、且完整性好，性能稳定，应用前景广阔。
一种图形蓝宝石衬底光刻方法

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