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[发明专利]吸附装置和方法、成膜装置和方法及电子器件的制造方法-CN201910889651.3有效
发明人：柏仓一史;石井博;神野纮隆 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2019-09-20 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供吸附装置和方法、成膜装置和方法及电子器件的制造方法。吸附装置的特征在于，包括：被吸附体支承单元，用于支承被吸附体；静电吸盘，设置在被吸附体支承单元的一侧，用于吸附被吸附体；距离调整部件，用于调整被吸附体支承单元与静电吸盘的距离；以及控制部，用于控制对静电吸盘的电压施加以及距离调整部件对被吸附体支承单元与静电吸盘的距离的调整，控制部控制距离调整部件，以使静电吸盘与被吸附体支承单元之间的距离成为规定的间隔，并进行控制，以在被吸附体支承单元和静电吸盘被隔开规定的间隔的状态下，对静电吸盘施加用于在朝向静电吸盘的方向上吸引由被吸附体支承单元支承的被吸附体的电压。
吸附装置方法电子器件制造

[发明专利]一种蒸镀方法及蒸镀装置-CN202310075152.7在审
发明人：裴泳镇;文炯敦;轩景泉;尹恩心;彭勃;池元圭;崔晶植;冯利凯 -专利权人：上海升翕光电科技有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种蒸镀方法及蒸镀装置，涉及真空蒸发镀膜技术领域。蒸镀方法包括以下步骤：S1：将多个蒸发源排成一列，并分别调节每个蒸发源距基板的距离；以使每个蒸发源内的镀膜材料在基板上形成对应的镀膜时，相邻的两个镀膜存在重叠区域；S2：加热多个蒸发源，并根据每个蒸发源至基板的距离，分别调节每个蒸发源内镀膜材料的蒸镀速率；进而控制重叠区域内的膜层厚度；S3：当基板上的膜层厚度达到目标值时，停止蒸镀。本申请的蒸镀方法，可以有效解决多个蒸发源同时对同一块基板蒸镀时，镀膜厚度不均的问题。
一种方法装置

[发明专利]一种蒸发镀膜机-CN202310320581.6在审
发明人：刘同林;汪秀义 -专利权人：铜陵市超越电子股份有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸发镀膜机包括镀膜室、蒸发舟、蒸发源、中央智能控制模块、真空系统、绕卷组件和柔性基膜，所述柔性基膜缠绕在绕卷组件的外壁上，所述镀膜室前端安装有蒸发舟，所述镀膜室前侧的中部上端固定安装有冂字框，且冂字框底端通过限位机构连接有连接侧杆，所述连接侧杆底端通过翻转机构连接有夹持侧板，所述柔性基膜左侧的镀膜室前端外壁设置有清洁机构。本发明在限位机构的作用下，使得完成对需要镀膜的镀件的夹持工作，保障加持稳定，以防蒸发时因夹具旋转而将镀件抛离夹具；在翻转机构的作用下，使得对需要镀膜的镀件进行正反面翻转工作，有效解决传统装置需要人为操控翻转的操作步骤，提高了装置在使用过程中的工作效率。
一种蒸发镀膜

[发明专利]真空蒸镀机架总成-CN202310124434.1在审
发明人：刘同林;汪秀义 -专利权人：铜陵市超越电子股份有限公司
申请日： 2023-02-16 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及真空镀膜技术领域，具体的说是真空蒸镀机架总成，包括壳体、蒸发源和底托，蒸发源设置于壳体底部，底托设置于蒸发源正上方，镀膜架，设置于底托上方，所述镀膜架上具有沿厚度方向贯穿的台阶状放置孔；夹持组件，设置有多组，均匀分布于放置孔侧壁，对放置孔内的基片进行夹持。本发明设置有翻转组件，能够对镀膜架进行翻转，从而在不停止机器的前提下将放置在放置孔内的基材进行翻面，实现双面镀膜；同时设置有夹持组件，能够对放入放置孔内部的基片进行夹持固定，保证基片在翻转时不会掉落；利用机器内部的本身的高温配合气体遇热膨胀的特性对夹持组件提供动力，能够对放入放置孔内部的基片进行夹持固定。
真空机架总成

[发明专利]一种基于离子轰击工艺的车灯镀膜装备-CN202310289804.7在审
发明人：段利英;张宇奇 -专利权人：丹阳市宇奇车辆配件有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于离子轰击工艺的车灯镀膜装备，涉及车灯镀膜技术领域，包括底板，所述底板的顶部固定连接有放置箱，所述放置箱的顶部固定连接有镀膜机，所述底板的顶部且位于放置箱的一侧固定连接有固定台，所述固定台的顶部固定连接有第二连接板，该基于离子轰击工艺的车灯镀膜装备，通过设置有螺纹杆、顶板与驱动轴，能够在一组车灯加工好后，将顶板与底座上的车灯均从镀膜机内部移动出，然后将未经过加工的一组车灯移动至镀膜机内部进行加工，在加工的同时，能够将已加工完成的车灯取下，然后将未加工的车灯安装在转动轴上，再对转动轴进行安装在第二安装块与底座之间，从而能够提高了车灯镀膜的效率。
一种基于离子轰击工艺车灯镀膜装备

[发明专利]真空防污膜制备装置、制备系统及制备方法-CN202310063732.4在审
发明人：李青;李赫然;罗靖;任书明;刘晓东;张亚莉;任继阳 -专利权人：四川旭虹光电科技有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-01-11 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本公开提供一种真空防污膜制备装置，包括药液系统、加热装置、旋转机构及滑动伸缩装置，药液系统与加热装置连接，用于将药液输送到加热装置上，加热装置通过旋转机构带动进行上下反复移动，形成活动蒸发区域，能够满足3D异形或者大尺寸镀膜需求，滑动伸缩装置连接控制加热装置，以实现所述加热装置的水平移动，同时，提供对应的装置系统及制备方法，本申请的真空防污膜制备装置通过上下循环反复移动，形成活动蒸发区域，可以有效增加坩埚蒸发膜层的覆盖范围，相比固定位置的覆盖范围有明显提升；同时坩埚的90°翻转，使其正面口朝向待镀膜产品，实现最大作用的发散角，使得在镀膜制造中能有效改善膜层均匀性。
真空防污制备装置系统方法

[发明专利]一种三源共蒸的无机钙钛矿薄膜和太阳能电池的制备方法-CN202211097949.9在审
发明人：唐江;董翀;陈超;王亮;刘大宇 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明属于光伏器件领域，公开了一种三源共蒸的无机钙钛矿薄膜和太阳能电池的制备方法，其中，无机钙钛矿薄膜的制备方法是在真空条件下，利用三源共蒸在基底上制备CsPbI3无机钙钛矿黑相薄膜，其中，三个蒸发源分别为碘化铯、碘化铅和添加剂，控制三者的蒸发速率，使沉积薄膜对应获得的碘化铯反应组分、碘化铅反应组分和添加剂反应组分三者的摩尔比为(1.05‑1.30)：1：(0.05‑0.20)。本发明通过引入三源共蒸，以有机铵盐作为添加剂并作为蒸发源之一，配合碘化铯蒸发源和碘化铅蒸发源，利用真空三源共蒸工艺能够在基底上制备获得无机钙钛矿薄膜，可获得室温稳定的无机钙钛矿黑相薄膜。
一种三源共蒸无机钙钛矿薄膜太阳能电池制备方法

[发明专利]一种分料器、真空蒸镀设备和分料器的工作方法-CN202211093368.8在审
发明人：臧世伟 -专利权人：重庆金美新材料科技有限公司
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种分料器、真空蒸镀设备和分料器的工作方法，该分料器包括：分料器主体；若干通孔设置在分料器主体的中间位置；若干上料通道设置在分料器主体的两侧，每个上料通道与每个通孔相互连通；滑块倾斜的设置在每个上料通道的底部；滑板分别设置在若干上料通道所在的分料器主体的两侧侧壁上，每个滑块成一定角度地连接在滑板上。本发明通过将在将待蒸镀材料放入若干上料通道中，对待蒸镀材料进行均匀分料，然后通孔同时将上料通道中的待蒸镀材料导入每个坩埚中，保证了每个坩埚中的蒸镀材料的量均一致。
一种料器真空设备工作方法

[发明专利]供应布置、真空处理系统和在真空处理系统中向移动装置进行供应的方法-CN202080106409.5在审
发明人：诺伯特·施帕茨;斯蒂芬·班格特;马蒂亚斯·克雷布斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-10-19 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：描述了一种用于在真空处理系统中向可移动装置(10)进行供应的供应布置(100)。所述供应布置(100)包括关节臂馈通系统(105)，所述关节臂馈通系统用于向所述可移动装置(10)提供供应线。附加地，所述供应布置(100)包括力补偿单元(140)，所述力补偿单元用于补偿绕设置在所述关节臂馈通系统(105)的第一端(101)处的第一接头(131)的第一旋转轴线(R1)的力矩(M)。所述力矩(M)由所述关节臂馈通系统(105)的重力引起。另外，描述了一种真空处理系统和一种在真空处理系统中向可移动装置进行供应的方法。
供应布置真空处理系统移动装置进行方法

[发明专利]一种CIGS柔性太阳能电池片硒源的线性源装置-CN202110727129.2有效
发明人：罗明新;张卫彪;任宇航;任宇珂 -专利权人：浙江尚越新能源开发有限公司
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种CIGS柔性太阳能电池硒源的线性源装置，解决以下镀膜不均匀问题：传统CIGS共蒸法的硒源为点状硒源，硒源到基底属于点状蒸发到基底表面，在点状喷口形成高斯分布，存在横向镀膜不均匀的现象。本装置包括圆柱壳状的线性硒源容器，线性硒源容器的侧面沿圆柱法线方向开设有一条直线型的硒蒸汽喷口，线性硒源容器连接有盒状硒源，盒状硒源内部装有待蒸发的硒金属，盒状硒源设有进料口和点状喷口，盒状硒源在硒金属上方设置加热源。本发明圆柱壳状的线性硒源容器，形成硒蒸汽线性源，减少硒蒸汽输出后的横向扩散，降低盒状硒源供气波动对硒蒸汽输出的影响，提高硒蒸汽的稳定性；同时可以在线性硒源容器进行二次加热，增强硒源二次激发活性。
一种 cigs 柔性太阳能电池片硒源线性装置

[实用新型]一种蒸镀结构及蒸镀装置-CN202320826711.9有效
发明人：韦寅帆;郝力强;王勇波;王强;孙鹏举 -专利权人：苏州清越光电科技股份有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸镀结构及蒸镀装置，蒸镀结构包括蒸镀源、掩膜板和至少一个导热板，所述掩膜板相对设置在所述蒸镀源的上方，所述导热板上设置有平面，所述导热板内设置有加热元件，所述导热板可旋转地设置在所述蒸镀源和所述掩膜板之间，以使所述平面能够在朝向所述蒸镀源或所述掩膜板进行切换，蒸镀装置包括蒸镀结构。该蒸镀结构及蒸镀装置通过增设导热板，将蒸镀源转化为面蒸镀源，提高了蒸镀均匀性；缩小了蒸镀材料与基板间距离，减小材料发散角度影响，从而减轻了shadow效应；双面蒸镀设计可同时蒸镀两种材料，大幅提高了产品的生产效率。
一种结构装置

[实用新型]一种预热装置-CN202320807210.6有效
发明人：秦晓强;李姗姗;朱杰;刘英英 -专利权人：苏州清越光电科技股份有限公司
申请日： 2023-04-12 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种预热装置，包括镀膜机本体，还包括预热室、器皿和加热源，镀膜机本体连接有真空系统，预热室可移动的设置在镀膜机本体的外部，预热室通过管道连接镀膜机本体，以共享真空系统，器皿设置在预热室的内部，器皿用于盛装待蒸镀的材料，加热源围设在器皿的外周，加热源用于稳固器皿并对其盛装的材料进行加热。该预热装置中，材料预热通过预热室独立进行，预热参数可以更好的优化，通过延长预热周期可提高材料的预热效果；预热不占用镀膜机本体使用，从而可避免材料污染、提高蒸镀效率及产能；预热室与镀膜机本体共用真空系统，减小装置的体积重量并降低了构建成本。
一种预热装置

[发明专利]沉积装置和沉积方法-CN202211608227.5在审
发明人：成始珍;朴一秀 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：提供了根据实施例的沉积装置，所述沉积装置包括：第一沉积源、第二沉积源和第三沉积源，在第一方向上顺序地布置；第一角度限制板，设置在第一沉积源外侧；第二角度限制板，设置在第一沉积源与第二沉积源之间；第三角度限制板，设置在第二沉积源与第三沉积源之间；以及第四角度限制板，设置在第三沉积源外侧。第一沉积源的沉积材料和第三沉积源的沉积材料包括相同的掺杂剂材料。第二沉积源的沉积材料包括主体材料。
沉积装置方法

[发明专利]一种用于眼镜片的控温真空蒸镀设备-CN202210363784.9有效
发明人：王风华;张锐;田水红;叶全标 -专利权人：温州市瓯海眼镜有限公司
申请日： 2022-04-08 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于眼镜片的控温真空蒸镀设备，包括蒸镀室，所述蒸镀室设有承载架、蒸镀源、排气通道以及降温机构，所述承载架以及蒸镀源分别对应设置在蒸镀室内的顶部以及底部，所述排气通道设置在蒸镀室的一侧，所述降温机构包括蛇形管，所述蛇形管覆盖蒸镀室外侧壁；所述蒸镀源的一侧还设有可活动的盖板，盖板设有连接降温机构的触发电极；实现了盖板打开蒸镀源时降温机构停止工作，蒸镀室升温蒸镀，结束后盖板隔绝蒸镀源，降温机构自动启动并配合排气通道灌入冷空气，内外同步加速蒸镀室降温，节省了等待时间，增加单位时间内的加工批次，提高眼镜片整体的镀膜效率。
一种用于眼镜片真空设备

[实用新型]一种金属化薄膜双面蒸镀装置-CN202320205564.3有效
发明人：林卫良 -专利权人：温岭市华航电子科技有限公司
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种金属化薄膜双面蒸镀装置，包括：调节座、薄膜定位机构和蒸镀器，调节座的内侧设有第一驱动齿和第二驱动齿，且调节座的内侧固定安装有定轴销，定轴销的表面转动套接有第一偏转杆、第二偏转杆、第一传动齿和第二传动齿，第一传动齿与第二驱动齿传动啮合且固定于第一偏转杆的底面，第二传动齿与第一驱动齿传动啮合且固定于第二偏转杆的底面。本实用新型中，通过设置薄膜定位机构结构，利用绷张架和锁止压条将薄膜平铺固定于绷张架表面，在抽吸嘴的负压抽吸下使薄膜一侧与密封凹板贴合呈球面凹面结构，拉扯消除薄膜表面褶皱等，并通过球面凹面结构与蒸镀器表面相对进行蒸镀作用，实现均匀蒸镀。
一种金属化薄膜双面装置