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[发明专利]一种真空匀料填料蒸发设备及其使用方法-CN202111235292.3有效
发明人：彭寿;潘锦功;罗润;周冬;赵雷;樊建平;青汉森;东冬冬;王磊;余柯良;蒋猛;傅干华 -专利权人：成都中建材光电材料有限公司
申请日： 2021-10-22 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明属于薄膜制备技术领域，尤其涉及一种真空匀料填料蒸发设备，包括填料仓、沉积仓和计料机构；所述填料仓设有抽空阀，所述填料仓内设有储料箱；所述沉积仓设置于填料仓的下方，并与填料仓连通；所述计料机构位于填料仓内，所述计料机构可活动的设置在填料仓或沉积仓内；所述计料机构和储料箱之间设有第一阀门。本发明能够在原料用尽后，可实现密闭式填料，避免设备内器件在空气中的长时间暴露，大幅降低烘烤和抽真空时间，相应的减少整个填料周期，同时提高设备的稼动率，提高生产效率和产量。本发明还公开了一种应用于上述设备的使用方法。
一种真空填料蒸发设备及其使用方法

[发明专利]蒸镀装置、成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法-CN202111365775.5有效
发明人：砂川贵宏;佐藤功康 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2021-11-18 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种能够对蒸镀源的监视装置进行冷却的技术。一种蒸镀装置，具备：蒸镀源，向基板放出蒸镀物质；以及监视部件，监视蒸镀物质从所述蒸镀源的放出状态，其中，所述蒸镀装置具备搭载所述监视部件的台座构件，所述台座构件具有供冷却介质流动的流路。
装置方法电子器件制造

[实用新型]一种蒸发镀膜仪用循环水冷装置-CN202320890740.1有效
发明人：吴宏荣;汤文慧;赵军华 -专利权人：江南大学
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蒸发镀膜仪用循环水冷装置，包括蒸发镀膜仪的外壳和基台，外壳的外部安装有驱动电机，驱动电机的输出端通过伸缩轴连接主动轮，主动轮与从动轮配合安装，从动轮通过紧固件与内部中空的升降旋转机构配合安装，升降旋转机构的底部通过螺纹与基台配合安装，基台的底部贴合安装有呈圆盘状的冷却机构，冷却机构的内部通过进水管与水泵的出水端连接，冷却机构的内部通过出水管与水箱的内部连通；水箱的内部通过连接管与水泵的进水端连接。通过在基台底部安装冷却机构，增大基台与冷却机构间的接触面积，从而提高冷却效果；同时，基台与升降旋转机构采用螺纹连接方式，拆卸更换方便。
一种蒸发镀膜循环水冷装置

[实用新型]一种挂零件便利的真空镀膜机-CN202320802166.X有效
发明人：张国军 -专利权人：广东东华光电科技有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种挂零件便利的真空镀膜机，涉及真空镀膜机技术领域，包括机体，所述机体的侧面设置有柜门，所述机体的侧面固定安装有真空泵，所述机体的内表面固装有挂板，所述挂板之间设置有挂杆，所述挂杆的外表面固装有固定钩，所述机体的内表面固定安装有加热器，所述机体的内表面设置有托板，所述托板的上端设置有存放盒，通过设置机体、柜门、真空泵、挂板、挂杆、固定钩、加热器、托板、存放盒和卡槽板，使用托板可用来支撑存放盒，并利用卡槽板，可以将托板安装在设备内部，使存放盒可以处于工件的下方，如果发生镀膜材料脱落的情况，可由存放盒去收集镀膜材料，以防止镀膜材料残留在设备内部，使人们后续维护设备不麻烦。
一种挂零便利真空镀膜

[发明专利]一种导电薄膜的制备方法和导电薄膜-CN202310443804.8在审
发明人：臧世伟;刘文卿 -专利权人：重庆金美新材料科技有限公司
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种导电薄膜的制备方法和导电薄膜，该制备方法包括：取薄膜基材；将薄膜基材放卷于第一镀膜设备中进行第一次蒸镀，在薄膜基材的表面蒸镀上第一金属层；对蒸镀有第一金属层的薄膜基材的表面进行粗糙化处理；将粗糙化处理后的薄膜基材放卷于第二镀膜设备进行第二次蒸镀，在第一金属层上蒸镀第二金属层。本发明实施例中，通过将第一次蒸镀后的薄膜进行粗糙化处理，当镀有第一金属层的薄膜基材进入到第二镀膜设备后，可以避免第一金属层与钢棍接触打滑，导致薄膜起皱且容易导致薄膜穿孔出现孔洞。
一种导电薄膜制备方法

[发明专利]一种高导热金属基复合材料连续制备设备及方法-CN202310519415.9在审
发明人：李新中;刘仕超;雷定中;王帆;朱明 -专利权人：苏州思萃热控材料科技有限公司
申请日： 2023-05-10 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及复合材料加工设备领域，具体是涉及一种高导热金属基复合材料连续制备设备及方法，制备设备包括机架，以及安装在机架上的塔式加工筒，塔式加工筒内部自上而下依次设置第一混合腔、第二混合腔和烧结腔；第一混合腔、第二混合腔和烧结腔底部同轴设置有下料口，下料口下方设置有旋转开合门，塔式加工筒顶部的进料口上滑动安装滑盖，机架上设置有控制单元，本技术方案通过控制单元自下而上依次开启旋转开合门，旋转开合门可以保持对各个下料口的封堵，从而保证第一混合腔、第二混合腔和烧结腔中多个工序同时进行加工，每道工序加工完成后无需人工进行转移，提高了效率和制备过程的连续性。
一种导热金属复合材料连续制备设备方法

[发明专利]一种银纳米螺旋阵列结构的宽光谱圆二色性基底及其制备方法-CN202310562963.X在审
发明人：韩彩芹;刘正淋;闫长春;段培同 -专利权人：江苏师范大学
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种银纳米螺旋阵列结构的宽光谱圆二色性基底及其制备方法，包括以下步骤：将理论计算与实验条件相结合，完善方案并给出设计公式；利用Auto CAD对设计参数进行三维建模，分析确认制备参数对AgNH结构阵列的影响；利用FDTD模拟软件，对三维结构宽光谱圆二色性进行三维空间结构的模拟仿真并计算圆二色性；通过掠射角沉积和液氮冷却技术制备相应的AgNH结构的宽光谱圆二色性基底。本发明制备成本低，能同时实现人工手性纳米结构的性能精确可控和大规模生产要求；所制得的基底表现出良好且可调节的圆二色性，在可见光、近红外波段具有明显的宽光谱圆二色性，可广泛应用于对映体分子的SERS检测和圆偏振态识别的手性功能器件。
一种纳米螺旋阵列结构光谱圆二色性基底及其制备方法

[发明专利]一种蒸镀设备和坩埚-CN202310566229.0在审
发明人：刘佳宁;白珊珊;李彦松;刘华猛;王宇钊;郑伟业;吴海东 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请公开了一种蒸镀设备和坩埚，蒸镀设备包括：腔室底座；加热源，加热源设置在腔室底座上；至少一个坩埚存放位，坩埚存放位与热源呈中心对称地设置在腔室底座上；以及，坩埚更换装置，坩埚更换装置包括设置在腔室底座上的升降旋转组件和设置在升降旋转组件上的坩埚移位支架；其中，升降旋转组件位于加热源与坩埚存放位的对称中心处；坩埚移位支架包括与坩埚存放位和加热源的数量之和相对应的支臂，支臂呈中心对称地设置在升降旋转组件上，每个支臂设有与加热源或坩埚存放位位置相对应的移位固定部。通过坩埚更换装置使坩埚存放位的坩埚可以依次被移动至加热源中用于蒸镀，在更换蒸镀材料时可以避免需要开腔操作。
一种设备坩埚

[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀装置-CN202310320574.6在审
发明人：刘同林;汪秀义 -专利权人：铜陵市超越电子股份有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了蒸镀坩埚及蒸镀装置，蒸镀坩埚，包括颈筒、凹槽和坩埚主体，所述颈筒中部开设有凹槽，所述颈筒底端通过可拆卸装置连接在坩埚主体顶端外壁上；所述可拆卸装置包括固定安装在颈筒左侧底端的侧对接板，所述颈筒右侧底端固定安装有侧引导板，所述侧对接板和侧引导板底端皆插设在侧对接槽内侧，所述侧对接槽开设在坩埚主体顶端外壁上。本发明将颈筒与坩埚主体设置成可拆卸连接，这样当该坩埚主体在完成一次蒸镀后，可以将颈筒从坩埚主体中拆卸取下，方便对颈筒的内壁冷却附着的液态蒸镀材料进行清洗，使该坩埚主体在下次使用时气态蒸镀材料依旧能够顺畅地通过颈筒。
坩埚装置

[发明专利]成膜装置、电子器件的制造装置、成膜方法及电子器件的制造方法-CN202011543228.7有效
发明人：松本荣一;鹈泽繁行 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：提供成膜精度高的成膜装置、电子器件的制造装置、成膜方法及电子器件的制造方法。本发明的成膜装置经由掩模在具有多个单位成膜区域的基板上将成膜材料成膜，掩模具有与单位成膜区域对应的开口，其特征在于，具备：真空容器；基板吸附部件，设置在真空容器内，具有吸附基板的基板吸附面；掩模支承单元，设置在真空容器内并支承掩模；升降部件，使基板吸附部件和掩模支承单元沿与基板吸附面垂直的第一方向移动；位置移动机构，使基板吸附部件和掩模支承单元中的至少一个在与基板吸附面平行的面内移动；以及控制部，利用位置移动机构使掩模的开口与基板的多个单位成膜区域中的每一个对应，按各单位成膜区域依次进行将成膜材料成膜的成膜动作。
装置电子器件制造方法

[实用新型]沉积源-CN202320190741.5有效
发明人：朴盛锺;朴简永;韩种馩;姜贤圭;金大容;徐东均 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2023-02-10 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型一实施例公开了一种沉积源，所述沉积源包括：壳体，沉积物质容纳在所述壳体的内部；多个第一喷嘴，朝向掩模组件喷射所述沉积物质；第二喷嘴，布置在所述多个第一喷嘴中的至少一部分第一喷嘴的外侧，并且在第一方向和与所述第一方向垂直的第二方向上与所述第一喷嘴间隔开并围绕所述第一喷嘴。
沉积

[实用新型]一种具备加热功能的真空镀膜设备-CN202320220899.2有效
发明人：肖顺东;蒲龙翔;王曦 -专利权人：邵阳腾创精密科技有限公司
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型属于镀膜技术领域，具体涉及一种具备加热功能的真空镀膜设备，包括箱体，所述箱体的上接触有连接板，所述连接板上固定安装有发热管，所述连接板内开设有卡槽，所述箱体内固定连接有导杆，所述导杆的外侧滑动套接有卡板，所述卡板与箱体滑动连接，所述卡板与卡槽滑动连接，所述导杆上固定连接有端盘，所述导杆的外侧设置有弹簧一，所述箱体内固定连接有滑杆，所述滑杆的外侧滑动套接有两个支撑杆，所述支撑杆与箱体滑动连接。本实用新型通过推动卡板向外侧移动，使得弹簧一受力形变，最终使得卡板脱离卡槽，从而拉动连接板带动发热管脱离箱体，便于作业人员对发热管进行检修。
一种具备加热功能真空镀膜设备

[实用新型]一种膜层厚度测试用镀膜机-CN202320921035.3有效
发明人：臧伟 -专利权人：深圳市镭煜科技有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种膜层厚度测试用镀膜机，包括密封舱体、密封门、支撑台和样品台，样品台通过升降调节组件设置在密封门的内侧壁上，并且样品台位于蒸发舟的上方；样品台和蒸发舟之间设有可水平移动调节的挡板，使得挡板或位于蒸发舟的正上方，或与蒸发舟左右错开。本实用新型的样品台通过升降调节组件，实现改变样品台与蒸发舟之间的相对距离，从而实现调节蒸镀距离；还能利用可调节的挡板，在蒸发舟输出稳定的金属粒子之前以及结束镀膜温度缓慢下降阶段，将挡板移动至蒸发舟的正上方进行遮挡，防止这两个时段蒸发出的少量粒子对膜层厚度进行影响；而在蒸发舟输出稳定后，将挡板移动开，使得蒸发舟稳定输出高密度且均匀的粒子对薄膜进行蒸镀。
一种厚度测试镀膜

[实用新型]一种可控制镀钛厚度的真空不锈钢板镀钛装置-CN202320664872.2有效
发明人：吴晨;章良;周洁 -专利权人：苏州虹尔德金属制品有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可控制镀钛厚度的真空不锈钢板镀钛装置，包括壳体以及设置在壳体内的电镀设备和检测设备，内腔设置在壳体内部，若干钛靶固定设置在内腔内壁，固定柱设置在内腔内部，若干夹持件分别焊接在内腔内壁和固定柱外壁；夹持件为相对布置；壳体内壁固定设置有若干加热器；若干红外线灯设置在固定柱外壁，若干光敏电阻设置在内腔内壁，第一标尺设置在内腔顶部，以及第二标尺设置在固定柱顶部。本实用新型提供了一种可控制镀钛厚度的真空不锈钢板镀钛装置，通过设置的电镀设备和检测设备对不锈钢板同时进行多角度的均匀地镀钛，并且可以控制镀钛的厚度，增加了装置的功能性与实用性，提高了不锈钢板的镀钛效率。
一种控制厚度真空不锈钢板装置

[实用新型]蒸镀送丝管、送丝机构及蒸镀设备-CN202321156482.0有效
发明人：张如成;王伟;雷克武;张仁进;罗军;梅胜江 -专利权人：宁德时代新能源科技股份有限公司
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请提供了一种蒸镀送丝管、送丝机构及蒸镀设备。蒸镀送丝管包括进丝端、出丝端和沿进丝端至出丝端贯穿蒸镀送丝管的送丝通道。送丝通道包括主体段和连通于主体段的扩口段，扩口段设于送丝通道靠近出丝端的端部，沿远离主体段的方向，扩口段的径向尺寸逐渐增大。根据本申请能够有效提高蒸镀送丝管的使用寿命，降低成本。
蒸镀送丝管机构设备