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[发明专利]一种三源共蒸的无机钙钛矿薄膜和太阳能电池的制备方法-CN202211097949.9在审
发明人：唐江;董翀;陈超;王亮;刘大宇 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明属于光伏器件领域，公开了一种三源共蒸的无机钙钛矿薄膜和太阳能电池的制备方法，其中，无机钙钛矿薄膜的制备方法是在真空条件下，利用三源共蒸在基底上制备CsPbI3无机钙钛矿黑相薄膜，其中，三个蒸发源分别为碘化铯、碘化铅和添加剂，控制三者的蒸发速率，使沉积薄膜对应获得的碘化铯反应组分、碘化铅反应组分和添加剂反应组分三者的摩尔比为(1.05‑1.30)：1：(0.05本发明通过引入三源共蒸，以有机铵盐作为添加剂并作为蒸发源之一，配合碘化铯蒸发源和碘化铅蒸发源，利用真空三源共蒸工艺能够在基底上制备获得无机钙钛矿薄膜，可获得室温稳定的无机钙钛矿黑相薄膜。
一种三源共蒸无机钙钛矿薄膜太阳能电池制备方法

[发明专利]一种冷阱及共蒸镀膜装置-CN201810941108.9在审
发明人：张阳;赵叶军;党志泉 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-08-17 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： B01D8/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种冷阱及共蒸镀膜装置，该冷阱应用于薄膜太阳能电池的共蒸镀膜设备中，用以解决现有技术中存在的共蒸元素的过滤效率不高的技术问题。该冷阱应用于薄膜太阳能电池的共蒸镀膜设备中，包括：密闭的壳体；冷却盘管，设置在壳体内，冷却盘管包括进口端和出口端，冷却盘管的进口端与壳体外的冷源供给装置的出口连通，冷却盘管的出口端与冷源供给装置的进口连通通过在真空泵与共蒸腔室之间加装这种冷阱，能使流经冷却盘管的冷却介质能与流经壳体内的热流体进行热交换，从而能够有效地降低热流体的温度，并能使热流体中的共蒸元素在遇冷后快速沉积在冷却盘管的表面。
冷却盘管冷阱蒸镀膜热流体薄膜太阳能电池供给装置出口端进口端壳体冷源连通热交换体内过滤效率快速沉积冷却介质有效地真空泵加装密闭蒸腔应用进口出口

[发明专利]铜铟镓硒薄膜的制备方法、光电器件的制备方法-CN202111244638.6在审
发明人：赵晨晨;李伟民;祁同庆;王伟;张琛;周鸿飞;冯叶;李文杰;马明;杨春雷 -专利权人：深圳先进技术研究院;中国科学院深圳理工大学（筹）
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： H01L21/203 文献下载
摘要：本发明提供了一种铜铟镓硒薄膜的制备方法，包括步骤：S10、将基底加热至第一温度，在基底上共蒸铟、镓和硒；S20、提高基底的温度至第二温度，在基底上共蒸铜和硒；S30、保持基底的温度为第二温度，在基底上共蒸铟本发明在三步共蒸发法制备铜铟镓硒薄膜的过程中，通过调控各个共蒸步骤的硒的蒸气压，可以使得共蒸设备的反应腔室的薄膜生长环境更加稳定从而有利于高质量薄膜的生长，并且还可以避免硒源的浪费从而能够更加准确地控制固态硒源的耗尽时间
铜铟镓硒薄膜制备方法光电器件

[实用新型]一种冷阱及共蒸镀膜装置-CN201821338067.6有效
发明人：张阳;赵叶军;党志泉 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-08-17 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： B01D8/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种冷阱及共蒸镀膜装置，该冷阱应用于薄膜太阳能电池的共蒸镀膜设备中，用以解决现有技术中存在的共蒸元素的过滤效率不高的技术问题。该冷阱应用于薄膜太阳能电池的共蒸镀膜设备中，包括：密闭的壳体；冷却盘管，设置在壳体内，冷却盘管包括进口端和出口端，冷却盘管的进口端与壳体外的冷源供给装置的出口连通，冷却盘管的出口端与冷源供给装置的进口连通通过在真空泵与共蒸腔室之间加装这种冷阱，能使流经冷却盘管的冷却介质能与流经壳体内的热流体进行热交换，从而能够有效地降低热流体的温度，并能使热流体中的共蒸元素在遇冷后快速沉积在冷却盘管的表面。
冷却盘管冷阱蒸镀膜热流体薄膜太阳能电池供给装置出口端进口端壳体冷源连通热交换体内本实用新型过滤效率快速沉积冷却介质有效地真空泵加装密闭蒸腔应用进口出口

[发明专利]一种白光OLED的制备方法-CN201010198948.4无效
发明人：马颖;张方辉;牟强;张麦丽;蒋谦;刘丁菡 -专利权人：陕西科技大学
申请日： 2010-06-12 - 公布日： 2010-11-03 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：首先将ITO玻璃清洗并烘干后进行等离子轰击预处理，随后，将处理后的ITO玻璃移转至镀膜机中，同时，依次将电子阻挡层用材料、空穴传输层用材料、发光层用材料、电子传输层用材料和阴极层用材料移转至镀膜机中进行蒸镀蒸镀发光层时，首先将主体材料和蓝色掺杂剂进行双源共蒸，其中蓝色掺杂剂的比例为2％，最后，再将主体材料、蓝色掺杂剂和红色掺杂剂进行三源共蒸，其中，蓝色掺杂剂的比例为2％，红色掺杂剂的比例为6％。
一种白光 oled 制备方法

[发明专利]蒸镀粒子射出装置及蒸镀装置、以及蒸镀膜制造方法-CN201780095302.3有效
发明人：西口昌男 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2017-09-28 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：蒸镀粒子射出装置(1)具备：第二蒸镀源(20)、及在Y轴方向上夹着第二蒸镀源的第一蒸镀源(10)和第三蒸镀源(30)。在第一蒸镀源及第三蒸镀源中，在X轴方向上排列着朝向第二蒸镀源倾斜的多个喷嘴(12、31)。在第二蒸镀源中，在X轴方向上排列着朝向第一蒸镀源倾斜的多个喷嘴(23)和朝向第三蒸镀源倾斜的多个喷嘴(22)。
粒子射出装置以及镀膜制造方法

[发明专利]一种超高温蒸煮食品包装薄膜及其制备方法-CN201910922492.2有效
发明人：苏壮;盛金华 -专利权人：珠海市德燊环保包装有限公司
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： B32B27/32 文献下载
摘要：本发明提供一种超高温蒸煮食品包装薄膜及其制备方法，包括由不同物理性能的聚丙烯和含辛烯共聚单体金属线性聚乙烯塑胶原料颗粒共混、并采用三层共挤吹膜机上吹风冷法吹制成膜形成三层共挤层，三层共挤层由内层基膜、中层基膜、外层基膜组成，内层基膜为热封层，外层基膜为电晕处理层或复合层；制备时，首先，通过三层共挤吹膜机对各层料筒温度、风冷温度、吹胀比和冷凝线参数进行设置，然后采用三层共挤上吹法制备内层基膜、中层基膜和外层基膜，得到多层结构复合且综合性能优异的食品包装薄膜，有效的达到超高温蒸煮级别，在超高温蒸煮条件下，包装的食品能耐135℃蒸煮1小时和145℃可蒸煮10分钟，可应用于各种肉类、禽类的135℃/60min和145℃/10min蒸煮。
一种超高温食品包装薄膜及其制备方法

[发明专利]一种三源共蒸制备CsPbBr3-CN202310109324.8在审
发明人：唐江;牛广达;巫皓迪;陈旭 -专利权人：华中科技大学鄂州工业技术研究院;华中科技大学
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明公开了一种三源共蒸制备CsPbBr3膜的方法。并通过三源共蒸制备低缺陷浓度的CsPbBr3膜，通过引入PEABr，利用其钝化缺陷作用，填补Br空位缺陷，并且能够形成二维RP型钙钛矿，可以有效减少缺陷浓度，显著减少暗电流浓度
一种三源共蒸制备 cspbbr base sub

[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法、有机发光二极管器件和显示面板-CN202310092346.8在审
发明人：贾克飞;李坚;张金中;王艳;朱伍权;杨正宇;廖先江 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司
申请日： 2023-01-28 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本公开实施例提供蒸镀装置、蒸镀方法、有机发光二极管器件和显示面板。蒸镀装置包括：蒸镀源，蒸镀源包括沿第一方向间隔排列的第二蒸镀源、第一蒸镀源及第三蒸镀源，第一蒸镀源蒸镀主体材料，第二蒸镀源和第三蒸镀源蒸镀客体材料，第二蒸镀区和第三蒸镀区位于第一蒸镀区内；待蒸镀基板被配置为相对于蒸镀源沿第一方向往复移动，发光材料层包括多个层叠的子发光材料层，子发光材料层包括层叠的第一子发光层、第二子发光层以及第三子发光层，第二子发光层位于第一子发光层和第三子发光层之间，第一子发光层的客体材料掺杂率和第三子发光层的客体材料掺杂率均大于第二子发光层的客体材料掺杂率本公开的蒸镀装置制备发光材料层可以提升发光效率。
装置方法有机发光二极管器件显示面板

[发明专利]镀膜装置及镀膜方法-CN201410211636.0有效
发明人：邹忠哲 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2014-05-19 - 公布日： 2014-08-20 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种向被处理基板进行共蒸镀的镀膜装置和镀膜方法，该镀膜装置包括：第一蒸镀源，设置于所述被处理基板的下方；第二蒸镀源，设置于所述被处理基板的下方；以及第一开孔遮板，设置于所述第一蒸镀源与所述被处理基板之间，所述第一开孔遮板包括多个开孔密度不同的开孔区域，可通过旋转，以使开孔密度不同的开孔区域对准所述第一蒸镀源。本发明的镀膜装置和镀膜方法可在蒸镀的过程中方便地调整不同蒸镀材料的比例，不会影响镀膜质量，且成本较低，适用于工业生产应用。
镀膜装置方法

[发明专利]蒸镀装置及其控制方法、使用了蒸镀装置的蒸镀方法、以及器件的制造方法-CN201580013126.5有效
发明人：泷口明 -专利权人：株式会社日本有机雷特显示器
申请日： 2015-02-23 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种共蒸镀不同的蒸镀材料的蒸镀装置，包括：腔室，蒸镀对象物设于腔室内；向蒸镀对象物吐出第1蒸镀材料的蒸气的第1蒸镀源；向蒸镀对象物吐出第2蒸镀材料的蒸气的第2蒸镀源；对第1蒸镀材料进行加热的第1加热部；对第2蒸镀材料进行加热的第2加热部；和控制第1加热部及第2加热部的加热控制部；加热控制部构成为能够将第1及第2加热部控制成第2蒸镀材料的升温比第1蒸镀材料的升温滞后预定时间而开始。
装置及其控制方法使用以及器件制造

[实用新型]一种点源蒸镀装置及共蒸镀膜层点源蒸镀结构-CN202220135977.4有效
发明人：庄丹丹;孙玉俊 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开一种点源蒸镀装置及共蒸镀膜层点源蒸镀结构，其包括点源系统和晶振系统，点源系统包括第一点源滑轨，所述第一点源滑轨上滑动连接有至少两个点源；所述晶振系统包括第一晶振滑轨，所述第一晶振滑轨上滑动连接有至少两个晶振；所述第一点源滑轨上的工作位和第一晶振滑轨上的工作位对应设置；进行蒸镀时，将其中一个点源推送至第一点源滑轨的工作位上，同时将配套的晶振推送至第一晶振滑轨的工作位上。本实用新型采用轮替式点源蒸镀的设计，保持蒸镀角不变，膜厚均匀的部分可完好地叠加到一起，降低精细金属掩膜板的蒸镀补充调整难度，同一个器件或面板中的光电性能分布均匀，降低器件或面板的损害风险，提高器件或面板的寿命
一种点源蒸镀装置镀膜层点源蒸镀结构

[发明专利]一种纯无机钙钛矿发光二极管器件的制备方法-CN201710442771.X在审
发明人：廖良生;王强;胡云;王照奎 -专利权人：苏州大学
申请日： 2017-06-13 - 公布日： 2017-10-20 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供了一种纯无机钙钛矿发光二极管器件的制备方法，该方法包括如下步骤（1）将ITO透明导电玻璃基片进行标准化清洗烘干后进行预处理；（2）将ITO转移至真空腔，进行空穴注入层和传输层蒸镀；（3）采用双源共蒸镀的方法，蒸镀形成纯无机的CsPbX3钙钛矿发光层薄膜；（4）使用红外热辐射装置，对CsPbX3钙钛矿膜热处理；（5）热蒸镀形成电子传输层、电子注入层和金属阴极电极。本发明的制作工艺简单便捷，制备难度低，采用全真空蒸镀的方法制备器件，易于制作，重复性好，器件性能稳定；通过双源共蒸镀制备方法，提高了薄膜的平整性和均一性，并且便于更换主体和客体材料或者改变两者比例，实现发光峰位置的调控
一种无机钙钛矿发光二极管器件制备方法

[发明专利]一种柔性太阳能电池片铜铟镓硒共蒸法的硒源加热系统-CN201911206355.5有效
发明人：罗明新;王培双;任宇航 -专利权人：尚越光电科技股份有限公司;浙江尚越新能源开发有限公司
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种柔性太阳能电池片铜铟镓硒共蒸法的硒源加热系统，解决了目前铜铟镓硒共蒸法的硒源加热的热场不均匀，硒蒸气不稳定，膜层均匀性不佳、成分偏差，甚至无法用于制造电池问题。本装置包括内部装有硒源的硒盒，硒盒顶面开设有硒蒸气喷口，硒盒的顶面或者侧面顶部设有可开合的硒源加料口，其特征在于：所述硒盒的顶面上方贴设有加热器，环绕硒盒底面和所有侧面设有温控系统，温控系统的温度低于加热器温度本发明对硒源采用上加热、下冷却的温控方法，硒蒸气从硒源上表面蒸发生成，生成的硒蒸气平稳，气压稳定、线性可控，大大提高了硒源蒸发的稳定性，提升产品质量。
一种柔性太阳能电池片铜铟镓硒共蒸法加热系统

[发明专利]一种CIGS共蒸法的硒源外置式结构-CN202011592347.1在审
发明人：朱路路;罗明新;徐彩军;任宇航 -专利权人：尚越光电科技股份有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种CIGS共蒸法的硒源外置式结构，解决CIGS共蒸法的各元素蒸发源蒸发温度高低差异大，铜源、铟镓合金源的高温辐射对硒源相邻侧的温度产生影响，会导致硒源蒸发不稳定，影响产品质量的问题。本装置包括真空腔，真空腔内设有待镀膜的基底，其特征在于：所述基底下方设置有硒源、铜源、铟源、镓源，所述硒源为设置在真空腔下方外侧的外置硒源，真空腔下壁通过硒蒸气导向管连接外置硒源，所述硒蒸气导向管沿输送方向设置若干加热电极本发明外置硒源不会受到铜源、铟源、镓源的辐射热影响，可以精准控温，蒸汽羽流稳定，同时，外置硒源方便硒源的添加和用量控制，也方便未用完的硒源回收。
一种 cigs 共蒸法外置结构

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