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[发明专利]一种共蒸方法及共蒸设备-CN202310115529.7在审
发明人：裴泳镇;文炯敦;轩景泉;尹恩心;彭勃;池元圭;崔晶植;冯利凯 -专利权人：上海升翕光电科技有限公司
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种共蒸方法及共蒸设备，涉及真空蒸发镀膜技术领域。共蒸方法包括以下步骤：S1：分别向至少两列蒸发组件内注入不同的蒸镀材料；S2：分别调节每列蒸发组件内多个蒸发源与X方向的夹角，以使每个蒸发源均朝向基板中心，并使每个蒸发源在基板上形成对应的镀膜时，相邻的两个镀膜存在重叠部分；S3：分别调节每列蒸发组件内多个蒸发源与Y方向的夹角，以使每列蒸发组件均朝向基板的中心；S4：加热每列蒸发组件内的多个蒸发源，以使至少两种蒸镀材料在基板上凝聚成参杂层，当参杂层的厚度达到目标值时，停止加热并关闭挡板。本申请的共蒸方法可以有效提高蒸镀材料的使用效率，并且提高了参杂层的膜层厚度的均匀性。
一种方法设备

[发明专利]一种镁合金表面防腐镀层的制备方法-CN202111421755.5在审
发明人：刘秋元;刘昕;李远鹏;张杰;江社明;张启富;张子月;赵兴源 -专利权人：钢研工程设计有限公司
申请日： 2021-11-26 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种镁合金表面防腐镀层及其制备方法，属于防腐涂层领域。解决了现有技术中镁合金，尤其是航天领域应用的镁合金耐蚀能力不能满足要求的技术问题。一种镁合金表面防腐镀层，沿远离镁合金基体表面的方向依次包括第一镀层、第二镀层、第三镀层、第四镀层；第一镀层由单质Zn和Mg2Zn11组成；第二镀层主要合金相为MgZn2、Mg2Zn11；第三镀层由单质Zn和Mg2Zn11组成；第四镀层由MgZn、Mg2Zn3、MgZn2和Mg2Zn11组成。本发明的多层防腐镀层，盐雾试验96小时内表面未开始出现腐蚀产物，较镁合金基体耐盐雾腐蚀试验时间8小时大大提高，使镁合金的耐蚀性得到了一定程度的提高，满足了航天领域对于镁合金抗腐蚀性能的要求，解决了一大技术难题。
一种镁合金表面防腐镀层制备方法

[发明专利]沉积装置及沉积方法-CN201880084151.6有效
发明人：南庆勋;郑勇华;严文钟;金兑烨;高景弼;郑宇城 -专利权人：浦项股份有限公司
申请日： 2018-10-19 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供能够以规定的涂覆组成和速度连续涂覆的装置及方法，作为一个实施例，本发明提供一种沉积装置，其为在基板上涂覆2种以上的化合物或元素的沉积装置，包括：供应单元，将所述2种以上的化合物或元素以多个固体形式供应；加热单元，使从所述供应单元供应的固体熔融并蒸发，以形成蒸气；缓冲单元，与所述加热单元连接，并且所述蒸气停留在其中并，与之前生成的蒸气混合；以及喷嘴，与所述缓冲单元连接，并朝向基板形成开口。
沉积装置方法

[发明专利]一种蒸镀源供料装置及蒸镀源供料方法-CN202011459627.5有效
发明人：廖良生;黄稳;武启飞;赵平;赵鹏鹏;胡淳;冯敏强 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及蒸镀技术领域，公开一种蒸镀源供料装置及蒸镀源供料方法。其中蒸镀源供料装置包括蒸镀组件、驱动组件、预蒸探头、蒸镀探头和控制模块，蒸镀组件包括用于蒸镀的工作位和用于预蒸的等候位，工作位和等候位上均设置有加热组件，坩埚置于加热组件内，位于等候位的加热组件能对其上的坩埚内的材料预蒸至预设蒸镀速率；驱动组件用于驱动工作位和等候位上的加热组件调换位置；预蒸探头用于检测等候位上材料的蒸镀速率；蒸镀探头用于检测工作位上材料的蒸镀速率；控制模块用于根据预设指令或操作指令控制蒸镀组件、驱动组件、预蒸探头或蒸镀探头执行预设动作。本发明的蒸镀组件能连续蒸镀，提高了蒸镀效率。
一种蒸镀源供料装置方法

[发明专利]一种有机-无机杂化钙钛矿材料的制备方法及应用-CN202111267623.1有效
发明人：王磊;郭闰达;彭陈程 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种有机‑无机杂化钙钛矿材料的制备方法及应用，属于光电材料与器件领域，包括：将包括一种或多种碱金属卤化物、包含钙钛矿材料A位一价阳离子的卤化物以及包含钙钛矿材料B位二价阳离子的卤化物在低于预设真空度的条件下进行三源共蒸，原位生长钙钛矿薄膜，得到钙钛矿材料；本发明通过真空蒸镀法制备钙钛矿材料，碱金属卤化物引入的碱金属离子能在钙钛矿材料中以离子键的成键方式与卤素成键，形成不易脱落的金属配体，增强铅‑卤素键能，可以抑制钙钛矿材料中卤素空位的产生，钝化卤素空位，同时赋予钙钛矿材料高稳定性；且碱金属离子的加入对钙钛矿材料的电学传输性能影响较小，能够兼顾钙钛矿材料的稳定性和电学传输特性。
一种有机无机杂化钙钛矿材料制备方法应用

[发明专利]成膜装置及脚手架单元-CN202111417147.7有效
发明人：涩谷孝史;加势翔也;佐藤功康;泷田裕一 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2021-11-26 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种提高维护时的作业效率的成膜装置及脚手架单元。一边输送基板一边对基板进行成膜的直列式的成膜装置具备：输送单元，其对基板进行输送；以及成膜源单元，其包括成膜源，能够在输送单元的下方的第1位置和相对于第1位置在横向上位移的第2位置之间移动。成膜装置具备脚手架单元，所述脚手架单元随着成膜源单元从第1位置向第2位置移动，在输送单元的下方展开脚手架。
装置脚手架单元

[发明专利]棱镜镀膜方法及镀膜卡具-CN202111516029.1有效
发明人：王磊;李东东 -专利权人：北京创思工贸有限公司
申请日： 2021-12-06 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种棱镜镀膜方法及镀膜卡具，涉及光学镀膜技术领域，所述棱镜包括位于底部的入光面和靠近顶部设置的反射面，所述方法包括：在棱镜的反射面镀反射膜，所述反射膜为金属加强膜，所述金属加强膜包括在所述反射面上顺次镀制的金属膜和介质膜。而镀膜卡具包括左右对称设置的第一卡体和第二卡体，第一卡体和第二卡体相对的一侧设有贯通孔，第一卡体和第二卡体受到作用力时，两者发生相对移动。采用本发明的镀膜方法，减少入射光线发生的偏振态变化。
棱镜镀膜方法卡具

[实用新型]一种防脱落手机摄像头镜片镀AR膜装置-CN202223555831.4有效
发明人：张梓丰 -专利权人：东莞市鸿瀚电子材料有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防脱落手机摄像头镜片镀AR膜装置，包括桶体和镀膜防脱机构，所述镀膜防脱机构设置于桶体内腔的下部，所述镀膜防脱机构中的第一连接板安装于桶体内腔的下部；本实用新型通过镀膜防脱机构的设置，使其具备防脱效果好的优点，预先缩短镜片和喷射端之间的间距，随后采用小口径直喷式，并且再由补氧过程中的氧气带动下使其喷射在镜片表面即可，以便于提高所需的效果，经安放机构的设置，使其具备便于对镜片进行放置防脱，同时还可带动其进行旋转以便于达到均匀镀膜的效果，同时利于提高其镀膜的效率，而固定机构则用于对安放机构起到有效的固定锁止，从而保证安放机构和桶体之间的密封效果。
一种脱落手机摄像头镜片 ar 装置

[实用新型]一种焊接用真空镀膜腔室-CN202222462551.2有效
发明人：谭凌宇;戴永丰;谭明 -专利权人：浙江德弘机电科技股份有限公司
申请日： 2022-09-17 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种焊接用真空镀膜腔室，包括镀膜腔室主体，还包括冷却机构，所述镀膜腔室主体的腔室底部安装有冷却机构，所述冷却机构由凹形架、电动液压杆、风机、进料槽、密封垫、支撑板和镀膜板组合构成，所述镀膜腔室主体的腔室底部焊接由凹形架，所述凹形架的凹槽处通过螺栓固定安装有电动液压杆，所述电动液压杆的移动输出端安装有支撑板，所述支撑板的板顶处焊接有用来放置镀膜件的镀膜板，所述支撑板的板顶处通过螺栓固定安装有用来密封进料槽的密封垫，所述镀膜腔室主体的底部开设有进料槽，所述凹形架的架壁处通过螺栓固定安装有用来冷却镀膜件的风机。通过冷却机构能够将镀膜后的工件进行冷却，避免人员拿取时烫伤。
一种焊接真空镀膜

[实用新型]一种除尘加料装置-CN202320056114.2有效
发明人：臧世伟 -专利权人：重庆金美新材料科技有限公司
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种除尘加料装置，涉及真空镀膜领域，装置包括：除尘机构(10)和与除尘机构(10)活动连接的加料机构(20)；除尘机构(10)包括开口朝下的除尘腔体(11)、设于除尘腔体(11)内的吸尘头(12)，吸尘头(12)的端部低于除尘腔体(11)的开口；加料机构(20)具有放于除尘机构(10)上方的第一状态，以及加料机构(20)具有放于除尘腔体(11)一侧的第二状态，除尘腔体(11)一侧是指除尘腔体(11)处于滑动部(400)的滑动方向的除尘腔体(11)的侧壁。通过除尘机构和加料机构依次对蒸发源内的区域的灰尘进行除尘，然后对多个容器进行加料，实现自动除尘和加料。
一种除尘加料装置

[发明专利]基板载体、基板剥离装置、成膜装置以及基板剥离方法-CN202211464332.6在审
发明人：户枝由也 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2022-11-22 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种能够减轻在剥离基板时所需的力的基板载体、基板剥离装置、成膜装置以及基板剥离方法。通过具备具有吸附基板的吸附面的吸附垫(211)和使吸附垫(211)以所述吸附面的法线为中心轴线正反旋转的旋转机构中的一部分结构或全部结构，能够减轻在从吸附垫(211)剥离基板时所需的力。
载体剥离装置以及方法

[实用新型]一种真空蒸镀批量加料装置-CN202320051457.X有效
发明人：臧伟 -专利权人：深圳市镭煜科技有限公司
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种真空蒸镀批量加料装置，包括存料板、左侧板、右侧板和前侧板，所述存料板可抽拉地卡接在所述左侧板和所述右侧板之间，所述存料板从下到上依次重叠放置，所述存料板上设有若干存料孔，相邻的两块存料板上的存料孔在前后方向上错位分布，当抽动某一存料板后，与其相邻的两块存料板上的存料孔能够相互连通。本实用新型能够快捷方便且精准的往摆放规律的坩埚内进行加料，提高加料效率，避免浪费镀料，降低生产成本。
一种真空批量加料装置

[实用新型]疏通组件及蒸镀装置-CN202223137969.2有效
发明人：张成杰 -专利权人： TCL科技集团股份有限公司;广东聚华新型显示研究院
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请提供一种疏通组件及蒸镀装置。通过为线性蒸发源的喷嘴设置清除棒，其中清除棒的进气口与气源模块的输气口连通，使得气源模块可以向清除棒输送气体并从出气口排出，由于出气口靠近喷嘴设置，使得清除棒吹出的气流可以快速清除喷嘴内凝结堵塞的蒸镀材料；另外，驱动模块可以驱动清除棒运动至抵近喷嘴或伸入喷嘴内，使得出气口吹出的绝大部分或全部气流会进入喷嘴，有效避免了出气口的附近的气流耗散现象，增大了进入喷嘴内的气流量，还提高了进入到喷嘴内的气流速度，从而提高了喷嘴的疏通效率；此外，当喷嘴畅通时，驱动模块还可以驱动清除棒远离喷嘴，有效避免了清除棒对喷嘴的遮挡，提高了线性蒸发源的蒸镀效率。
疏通组件装置

[实用新型]沉积室供气装置及蒸镀设备-CN202223291209.7有效
发明人：杨贤烁 -专利权人：乐金显示光电科技（中国）有限公司
申请日： 2022-12-08 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开一种沉积室供气装置及蒸镀设备，包括进气座、连接座、输气管道和连接件，进气座内设置有进气流道，进气流道具有清洁气进口、反应气进口和出气口，清洁气进口用于通入清洁气体，反应气进口用于通入反应气体，连接座设置在进气座的外壁，连接座背离进气座的一侧开设有连接槽，连接槽与出气口连通，输气管道上套设有磁铁，输气管道的一端密封插设于连接槽中并与出气口连通，另一端连通沉积室内部，连接槽的槽壁开设有第一连接孔，输气管道的管壁开设有第二连接孔，连接件穿过第一连接孔和第二连接孔。蒸镀设备包括上述的沉积室供气装置。通过设置连接座和连接件，实现快速拆装，节省作业时间，降低人工成本，延长磁铁的使用寿命。
沉积供气装置设备

[发明专利]一种蒸镀装置-CN202310180467.8在审
发明人：郭宝康;张国辉;胡永岚;陈旭 -专利权人：固安翌光科技有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括：设置有蒸镀气体出口的蒸镀源存储装置；蒸镀气流导向装置包括导向通道；蒸镀气体出口的所在平面和待蒸镀基板的所在平面的高度差为第一距离，蒸镀气体出口的中心在待蒸镀基板的所在平面的正投影点和待蒸镀基板的中心之间的距离为第二距离；导向通道中的蒸镀气体的气流方向和蒸镀气体出口的所在平面的夹角大于等于第一距离和第二距离比值的反正切函数值，小于等于预设角度，预设角度的补角为第一距离与第三距离比值的反正切函数值，第三距离等于待蒸镀基板的中心到边缘的距离与第二距离的差值，第二距离和第三距离在同一直线，且位于待蒸镀基板的中心的同一侧。上述技术方案提高了蒸镀材料的利用率。
一种装置