[发明专利]一种改善散热的芯片封装结构及其制备方法在审
| 申请号: | 202310428769.2 | 申请日: | 2023-04-20 |
| 公开(公告)号: | CN116469849A | 公开(公告)日: | 2023-07-21 |
| 发明(设计)人: | 陈一杲;苏玉燕;唐登锋;张玲燕 | 申请(专利权)人: | 天芯电子科技(江阴)有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/367 | 分类号: | H01L23/367;H01L23/473;H01L23/42;H01L21/50 |
| 代理公司: | 南京理工信达知识产权代理有限公司 32542 | 代理人: | 刘莎 |
| 地址: | 214429 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 改善 散热 芯片 封装 结构 及其 制备 方法 | ||
1.一种改善散热的芯片封装结构,包括基板(1)和芯片(2),所述芯片(2)和所述基板(1)的顶壁电连接,其特征在于:还包括设置在所述芯片(2)顶壁的第一散热组件(3)、设置在所述芯片(2)侧壁的第二散热组件(4)、总进液管(5)以及包封层(6),所述总进液管(5)用于对所述第一散热组件(3)和所述第二散热组件(4)供给冷却液,所述包封层(6)用于包裹所述芯片(2)。
2.根据权利要求1所述的一种改善散热的芯片封装结构,其特征在于:所述第一散热组件(3)包括若干散热条(31)、第一散热管(32)、第一进液管(33)以及第一出液管(34),若干所述散热条(31)设置在所述芯片(2)的顶壁上,若干所述散热条(31)均中空设置,相邻的两个所述散热条(31)通过第一散热管(32)首尾相连形成第一通路,所述第一进液管(33)和位于第一通路首端的所述散热条(31)连通设置,所述第一出液管(34)和位于第一通路末端的所述散热条(31)连通设置,所述总进液管(5)和所述第一进液管(33)连通设置。
3.根据权利要求2所述的一种改善散热的芯片封装结构,其特征在于:若干所述散热条(31)内均设置有若干凸块(7),若干所述凸块(7)交错设置在所述散热条(31)内腔的相对侧壁上。
4.根据权利要求2所述的一种改善散热的芯片封装结构,其特征在于:所述第一散热管(32)的外壁上设置有若干第一散热鳍片(8)。
5.根据权利要求1所述的一种改善散热的芯片封装结构,其特征在于:所述第二散热组件(4)包括若干换热柱(41)、第二散热管(42)、第二进液管(43)以及第二出液管(44),所述若干换热柱(41)的一端与所述芯片(2)的侧壁连接,若干所述换热柱(41)均中空设置,相邻两个所述换热柱(41)通过所述第二散热管(42)首尾相连形成第二通路,所述第二进液管(43)和位于第二通路首端的所述换热柱(41)连通设置,所述第二出液管(44)和位于第二通路末端的所述换热柱(41)连通设置,所述总进液管(5)和所述第二进液管(43)连通设置。
6.根据权利要求5所述的一种改善散热的芯片封装结构,其特征在于:所述第二散热管(42)的外壁上设置有若干第二散热鳍片(9)。
7.根据权利要求2所述的一种改善散热的芯片封装结构,其特征在于:所述散热条(31)通过导热胶(10)和所述芯片(2)固定连接。
8.根据权利要求5所述的一种改善散热的芯片封装结构,其特征在于:所述换热柱(41)通过导热胶(10)和所述芯片(2)固定连接。
9.根据权利要求5所述的一种改善散热的芯片封装结构,其特征在于:所述第一进液管(33)的直径是所述第二进液管(43)直径的两倍。
10.一种如权利要求1至8所述的改善散热的芯片封装结构的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
准备基板(1)和芯片(2),所述芯片(2)的底部通过装片胶贴合至所述基板的焊盘上;
利用导热胶(10)将若干散热条(31)粘接在所述芯片(2)顶壁上;
利用导热胶(10)将若干换热柱(41)粘接在所述芯片(2)侧壁上;
准备包封料和遮挡模具,所述遮挡模具为底部开口的非封闭结构,且封闭的侧壁以及顶部上开有供所述换热柱(41)以及所述散热条(31)伸出遮挡模具的通孔;
利用所述遮挡模具罩在所述芯片(2)外侧,并确保所述换热柱(41)以及所述散热条(31)伸出遮挡模具之外,将所述包封料注入遮挡模具内以覆盖所述芯片未被遮挡的上表面,形成包封层(6);
利用第一散热管(32)连接相邻两个所述散热条(31),形成第一通道;
利用第二散热管(42)连接相邻两个所述换热柱(41),形成第二通道;
所述第一通道和第二通道的首尾端分别连接冷却液的总进液管(5)和出液管。
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