[实用新型]一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置有效
申请号: | 202220524563.0 | 申请日: | 2022-03-11 |
公开(公告)号: | CN217026145U | 公开(公告)日: | 2022-07-22 |
发明(设计)人: | 贺贤汉;张城;陈有生;赖章田 | 申请(专利权)人: | 上海申和投资有限公司 |
主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B23/00 |
代理公司: | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人: | 李坤 |
地址: | 201900 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 消除 碳化硅 晶体 边缘 环形 形貌 保温 装置 | ||
本实用新型属于碳化硅晶体制备技术领域,尤其为一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置,包括外壳、螺纹杆、盖板、手摇杆、导向杆、密封活塞和保温筒,所述外壳外侧设置有外螺纹,所述外螺纹外侧螺纹连接有与盖板固定连接的内螺纹,所述盖板下端固定连接有密封圈,所述盖板上端固定连接有与手摇杆转动连接的第一限位块,以使得手摇杆可通过在第一限位块内侧转动来带动手摇杆下方固定连接的螺纹杆转动。该用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置,方便在保温过程中进行完善的密封措施,方便压缩内部气体进行短暂的内部升温和长时间的保温措施。
技术领域
本实用新型涉及碳化硅晶体制备技术领域,具体为一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置。
背景技术
碳化硅晶体是碳和硅的稳定化合物,碳化硅的特性使它成为高频、大功率、耐高温、抗辐射的半导体器材的优选材料,碳化硅的晶体工厂采用物理气象法进行生产,但是这种方法会使碳化硅的晶体边缘出现环形形貌,容易产生数量较多且较为集中的缺陷,所以现阶段开始逐渐使用特定的保温装置进行消除碳化硅晶体边缘环形形貌,但是现存的碳化硅保温装置存在着以下的问题:
1.现存的碳化硅保温装置不方便在保温过程中进行完善的密封措施,导致气密性差容易产生较多缺陷;
2.现存的碳化硅保温装置不方便压缩内部气体进行短暂的内部升温和长时间的保温措施,导致使用具有局限性。
针对上述问题,急需在原有用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置的基础上进行创新设计。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置,以解决上述背景技术中提出现有的用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置,不方便在保温过程中进行完善的密封措施,不方便压缩内部气体进行短暂的内部升温和长时间的保温措施的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置,包括外壳、螺纹杆、盖板、手摇杆、导向杆、密封活塞和保温筒,所述外壳外侧设置有外螺纹,所述外螺纹外侧螺纹连接有与盖板固定连接的内螺纹,所述盖板下端固定连接有密封圈,所述盖板上端固定连接有与手摇杆转动连接的第一限位块,以使得手摇杆可通过在第一限位块内侧转动来带动手摇杆下方固定连接的螺纹杆转动。
优选的,所述螺纹杆外侧固定连接有第二限位块,所述螺纹杆外侧螺纹连接有与导向杆可滑动连接的伸缩导杆,以使得伸缩导杆可通过螺纹杆的转动带动密封活塞竖直下移,所述导向杆与盖板为固定连接。
优选的,所述外壳与盖板采用紧密贴合设置,并且盖板与密封圈采用胶水连接设置。
优选的,所述手摇杆与第一限位块采用相互垂直设置,且第一限位块与盖板采用焊接连接设置,并且手摇杆与螺纹杆采用固定连接设置。
优选的,所述螺纹杆与伸缩导杆采用同一直线上设置,且伸缩导杆与导向杆采用套设连接设置,并且导向杆与第三限位块采用焊接连接设置。
优选的,所述密封活塞与保温筒采用紧密贴合设置,且保温筒与外壳采用嵌套连接设置。
优选的,所述所述密封活塞中心处设置有透视薄板,所述盖板中心处设置有透视薄板。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置,方便在保温过程中进行完善的密封措施,方便压缩内部气体进行短暂的内部升温和长时间的保温措施;
1.在使用该用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置时,首先将加热后的碳化硅籽料和碳化硅粉料放置在保温筒内,随后利用盖板通过内侧的内螺纹旋入外壳外侧设置的外螺纹后拧紧时,密封圈可对外壳与盖板的连接缝处进行气密性保护;
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